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《退火處理對玻璃表面沉積的ZnO薄膜微觀形貌與性能的影響-論文.pdf》由會員上傳分享，免費在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在應(yīng)用文檔-天天文庫。
1、硅酸鹽學(xué)報第41卷第6期Vo1．41，NO．62013年6月J0URNALOFTHECHINESECERAMICS0CIETYJune，2013DOh10．7521~．issn．0454-5648．2013．06．17退火處理對玻璃表面沉積的ZnO薄膜微觀形貌與性能的影響阮鑫棟，姜妍彥，杜興科，劉貴山，胡志強，劉敬肖(大連工業(yè)大學(xué)紡織與材料工程學(xué)院，遼寧大連116034)摘要：以ZnfNO~．)2·6H2O為前驅(qū)體，采用超聲噴霧熱解法在500℃下、在鈉鈣硅浮法玻璃襯底上制備了ZnO薄膜。分別在不同溫度(500、550、600℃)和不同時間
2、(30、60、120min)對制備的ZnO薄膜進行了退火處理。研究退火條件對ZnO薄膜微觀結(jié)構(gòu)、形貌以及光學(xué)性能的影響。結(jié)果表明：退火處理能提高ZnO薄膜的c軸取向；隨著退火時間的延長，ZnO薄膜附著強度隨之增加，但c軸取向度呈先增強，至120min時又開始呈下降的趨勢；隨著退火溫度的升高，ZnO薄膜的C軸取向亦出現(xiàn)先顯著增強，之后又開始下降的趨勢，同時可見光透過率亦呈相同的變化趨勢。最佳退火條件為500℃溫度保溫60min，此時薄膜不僅c軸取向生長優(yōu)勢明顯，結(jié)晶質(zhì)量良好，表面顆粒大小均勻，致密平滑，同時薄膜的可見光透過率由退火前的70％
3、提高到90％。關(guān)鍵詞：氧化鋅薄膜；超聲噴霧法；退火處理；微觀形貌中圖分類號：TQ171．7文獻標志碼：A文章編號：0454-5648(2013)06~0820-05網(wǎng)絡(luò)出版時間：2013-05-2116：36：22網(wǎng)絡(luò)出版地址：htp：／／www．cnki．net／kcms／detail／11．2310．TQ．20130521．1636．017．htmlEfectofAnnealingonMierostructureandPropertiesofZnOThinFilmsDepositedonGlassSurfaceRUANXindong，
4、JIANGYanyan，DUXingke，LIUGuishan，HUZhiqiang，LIUJingxiao(SchoolofTextileandMaterialEngineering，DalianPolytechnicUniversity,Dalian116034，Liaoning，China)Abstract：ZnOthinfilmswerepreparedbyaultrasonicspraypyrolysisfUSP)methodonsoda．1ime．silicafloatglasssubstrateatthedeposition
5、temperatureof500℃withzincnitrateasaprecursor．TheZnOthinfilmswereannealedatdiferenttemperatures(500．550，600℃)anddurations(30，60，120min)，respectively．Influenceofannealingconditiononthemicrostructure，morphologyandopticalpropertiesofthefilmsWaSinvestigated．Tlleresultsindicate
6、thattheannealingtreatmentimprovesthequalityoftheZnOfilmandincreasestheC．a(chǎn)xisorientation．TheadhesionstrengthoftheZnOfilmincreaseswiththeextensionoftheannealingduration．however,theC．a(chǎn)xisorientationdegreefirstincreasesandthendecreasesat120min．TheC—axisorientationandthevisibl
7、e1ighttrans．mittancefirstlyincreaseandthendecreasewiththeincreaseofannealingtemperature．The丘lmobtainedattheoptimumannealingtemperatureof500℃andthedurationof60minhasagoodcrystallizacionquality,uniformcrystalsizeanddensesmoothsurface．givingtheimprovedopticalproperties．Thevi
8、siblelighttransmittanceincreasesfrom70％t090％afterannealingtreatment．Keywords：zincoxidethinfilm；u
