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《純水應(yīng)用中五種脫氣裝置的比較》由會員上傳分享，免費在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在學(xué)術(shù)論文-天天文庫。
1、維普資訊http://www.cqvip.com第4卷，第2期電子與封裝總笫I6期VOl4．N(J．2ELECTRONICS&PlACKAGING2004年3月支撐技術(shù)純水應(yīng)用中五種脫氣裝置的比較劉新慶(阿斯利康制藥有限公司，江蘇無錫214028)摘要：在7K*,l造過程中，以前常常使用鼓風(fēng)脫氣和真空脫氣裝置，近年來，膜脫氣工藝發(fā)展非常迅猛，在高純水領(lǐng)域已經(jīng)開始有了廣泛應(yīng)用，同時也有不少純水工藝采用了樹脂催化法除氧。本文分別對五種不同的脫氣裝置作了介紹和對比。關(guān)鍵詞：脫氣器；脫氣塔；純水；溶解氧；樹脂中圖分類號：TN305文獻標(biāo)識碼：AThe
2、ComparisonofFiveKindsofDegasifiersinPurewaterApplicationLiuXinqinq(AstrazenecapharmaceuticalCo．，Ltd．WuxiJiangsu．214028)Abstract：Theforceddraftdecarbonatorandthevacuumdegasificationcolumnareoftenusedtodeaerateinpurewaterprocessbefore．Butthemembranedeaerationprocessdevelopsve
3、ryfastrecently．Andithasbeenusedinultrapurewaterarea．However，catalystcolumnisusedtodeoxygeninmanypurewaterprocess．Theintroductionandcomparisionaboutthemarediscussedhere’in．Keywords：Deaeration；Degasifier；Purewater；DissolvedOxygen；Resin；產(chǎn)生氯仿、三鹵甲烷(THM)等鹵代烴。有些氣體的存在對集成電路的生產(chǎn)有著嚴重的影
4、響，有些氣1引言體影響著其他后續(xù)設(shè)備的運行周期和產(chǎn)品水質(zhì)。從在當(dāng)今信息化時代，微電子的產(chǎn)品周期每兩年而，形形色色的脫氣工藝產(chǎn)生了。翻一番，對高純水的要求也變得越來越高(見表1)，在鍋爐、電廠等行業(yè)，溶解氧的存在是造成熱從而促進了純水處理技術(shù)的一次又一次的變革，水力設(shè)備(如汽輪機等)腐蝕的主要原因，導(dǎo)致鍋爐處理工藝越來越先進，脫氣裝置也不例外。在運行或停用期間的氧腐蝕，所以國家對鍋爐的補自然界中的水除了含有鹽分、膠體、顆粒、微給水溶解氧也作出了相應(yīng)規(guī)定，比如：鍋爐額定蒸生物外，還溶解有很多氣體，比如氧氣，二氧化碳、發(fā)量大于6m／h的鍋爐均要除氧
5、，額定蒸發(fā)量小于氮氣、甲烷等，由于一般水廠采用氯氣消毒，從而6m／h的鍋爐應(yīng)盡量除氧，而且16MPa以下的鍋爐給收稿日期：2003-05—12維普資訊http://www.cqvip.com第2期劉新慶：純水應(yīng)用中扛沖脫氣裝置的比較水溶解氧含量必須小于100ppb，1．6-2．5MPa的鍋爐和以看出，鍋爐電力行業(yè)中，溶解氧含量已接近微電供汽輪機用汽的鍋爐給水含氧量必須小于50ppb，而子行業(yè)的要求，脫氣也成了其補給水處理的一項重一般高壓鍋爐的溶解氧含量需要小于7ppb。由此可要工藝。表1DRAM集成度與超純水水質(zhì)要求值的代表例DRAM集成度(
6、b)256klM4Ml6M64M256M(推測)G(推測)特征尺寸(IXm)1．21．00．80．50．25～0．350．180．15電阻率(Mn·cm)≥l7．0≥l7．5≥l8．0≥l8．1≥l8．2≥l8．2≥l8．2顆粒(IXm)≥0．2≤l00(顆／m1)≥0．1≤lO≤5≥0．05≤5≤l≤l≥0．03≤l0≥0．02≤l0≤l活菌(cfu／1)≤10o≤5O≤IO≤I≤O．I≤O．I≤0．ITOC(IXgC／1)≤l00≤5O≤l0≤2≤l≤l≤0．1Si(ixgSi／1)≤lO≤5≤5≤l≤0．1≤O．1≤0．1Na(IXgN
7、a／1)≤0．5≤0．05≤0．0l≤0．005≤0．00l≤0．Ooo5C1(ixgC1／1)≤0．5≤0．o5≤0．0l≤0．005≤0．005≤0．005重金屬(IXg,a)≤l≤O．5≤0．1≤0．0l≤0．005≤0．00l≤0．Ooo5DO(IXgO／1)≤l00≤l00≤50≤l0≤5≤2≤l方氣體的分壓，就能計算出水中溶解的氣體的含量。2技術(shù)背景表2空氣中氣體的含量(體積比)氣體含量％2．1道爾頓分壓定律氮氣78．O3混合氣體中氣體的總壓力和每種氣體的分壓遵氧氣20．99循道爾頓分壓定律，其具體含義是，氣體的總壓P氬氣0．93
8、3等于組成該混合氣體的分壓的總和，混合氣體中各二氧化碳0．030種組份的分壓又與其所占的摩爾分數(shù)成正比，所以氫氣O．Ol道爾頓分壓定律可以用以下兩個方程式來表示：氖
