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《朗兆---泡生法LED藍寶石長晶爐.pdf》由會員上傳分享,免費在線閱讀,更多相關內容在行業(yè)資料-天天文庫。
1、LZ80藍寶石單晶爐介紹上海朗兆機電設備有限公司?Allrightsreserved目錄公司背景介紹LZ80爐子的特點LZ80爐子技術參數(shù)各級別掏棒方案LZ80爐子的能耗指標LZ80爐子耗品特點售后服務和交貨周期公司背景介紹:n上海朗兆機電設備有限公司是一家低碳節(jié)能裝備制造企業(yè),公司主要從事改良泡生法(KY)藍寶石單晶爐設計、制造;同時掌握了藍寶石爐的鎢鉬熱場設計制造、藍寶石晶體生長工藝等多項技術。n公司注冊地:上海公司背景介紹:公司位于上海松江具備年產(chǎn)200臺KY法藍寶石爐子廠房和成熟的研發(fā)、生產(chǎn)、管
2、理團隊4上海朗兆的主要產(chǎn)品:n藍寶石單晶爐系列:LZ80-35A(裝料量30-35KG)LZ80-70A(裝料量60-70KG)LZ80-90A(裝料量80-90KG)LZ80-120A(裝料量110-120KG)大尺寸藍寶石晶體生長技術發(fā)展上海朗兆單晶爐的特點n朗兆LZ80系列藍寶石單晶爐,是基于改良泡生法SAPMAC單晶爐,具有下列優(yōu)點:上海朗兆單晶爐的特點1n自動化程度高,操作簡便,對人員依賴性小1.生長過程,除了引晶以外,其他工序是全自動控制2.采用友好的人機界面,生長過程中的溫度、水流、晶重等
3、各項參數(shù)一目了然,便于用戶操作3.采用溫度和重力雙閉環(huán)控制,自動控制長晶速率,和爐內溫度,對各類故障進行報警,處理4.采用美國先進的生長工藝,有效的減少了晶體生長過程中的氣泡,云紋等缺陷5.多項國家專利,設計先進,安全可靠上海朗兆單晶爐的特點2n先進的設計,掏棒率高,后期營運成本低廉1.熱場采用最先進的俄羅斯技術;溫場穩(wěn)定、可靠,使用壽命長,后期耗品成本低廉2.優(yōu)化的坩堝尺寸,晶體在掏棒過程中利用率高,便于生產(chǎn)大尺寸晶棒3.采用IGBT高頻電源,電源精度高,效率高,功率因數(shù)高達0.92,節(jié)能環(huán)保4.熱場
4、中引入經(jīng)特別處理的保溫材料氧化鋯,不影響晶體性能的前提下,相應降低能耗,增加了安全性能。上海朗兆單晶爐的特點3晶體成本構成熱場消耗電力消耗氧化鋁材料籽晶設備折舊其他電力消耗>20%上海朗兆LZ80系列單晶爐LZ80系列藍寶石爐參數(shù)1:LZ80-35ALZ80-70ALZ80-90ALZ80-120A爐室直徑mmΦ680Φ680Φ800Φ800爐室高度mm88099010601060爐室內層材料316L316L316L316L實際裝料量KG30-3560-7080-90110-120冷卻方式水冷循環(huán)水消耗
5、m3/h7121517進水溫度25252525最高耐溫2200真空度Pa極限真空10-5Pa,工作狀態(tài)10-3PaLZ80系列藍寶石爐參數(shù)2:LZ80-35ALZ80-70ALZ80-90ALZ80-120A坩堝直徑mmΦ250Φ330Φ350Φ380坩堝高度mm370450495525電源功率KW70/高頻100/高頻100/高頻140/高頻輸出電壓V12121214功率因數(shù)0.920.920.920.92電源精度0.05%0.05%0.05%0.05%控制方式PLC,觸摸屏,功率控制、溫度控制稱重方
6、式雙稱重結構總水路檢測壓力/流量/溫度晶升快速:75mm/min,慢速:0.06-20mm/h晶轉1-20r/min70KG掏棒方案外徑330X450高的坩堝,大尺寸晶棒的掏棒方案坩堝高度450的意義:能同時掏6支4寸棒能掏2支6寸棒,能掏6支4寸棒,2支2寸棒90KG掏棒方案外徑350X495高的坩堝,大尺寸晶棒的掏棒方案坩堝高度495的意義:掏6支4寸棒同時,掏3支2寸棒能掏6支4寸棒,能掏2支6寸棒,3支2寸棒4支2寸棒各個級別掏棒率比較30KG級別65KG級別85KG級別120KG級理論掏棒率比
7、較2英寸棒12002800400045004英寸棒10001000+400(2寸)6英寸棒420+650(2寸)實際掏棒率=理論掏棒率*(0.5-0.7)朗兆藍寶石爐,坩堝尺寸最適合生產(chǎn)大尺寸晶棒LZ80系列藍寶石爐能耗指標LZ80-35ALZ80-70ALZ80-90ALZ80-120A生長工藝10162025周期(天)單爐能耗9500210002900043000(KW)晶體生長工藝周期取決于每個客戶實際的長晶工藝LZ80系列藍寶石耗品特點n在兼顧熱場壽命,能耗,晶體質量,引晶的便易性同時,采用了優(yōu)
8、化熱場方案,極大的降低了生產(chǎn)過程中的耗品成本n合理的坩堝尺寸,最適合生產(chǎn)大尺寸晶棒,經(jīng)濟效益良好n分體的熱屏設計,便于維護,減少營運成本,保證了熱場本身的長壽命消耗品:序號耗品名稱使用壽命(年)備注1鎢坩堝22加熱器0.53隔熱屏1-2可分開更換4上保溫屏0.55其他3生產(chǎn)周期和售后服務n晶體設備以及相關配套系統(tǒng)的調試、試生產(chǎn)工作;n藍寶石晶體生長工藝、操作規(guī)程等相關資料;n相關人員的培訓,半年左右使其能夠獨立完成藍寶石晶體生長工作;n毛坯