臺階儀測試薄膜厚度實驗.doc

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1、臺階儀測試薄膜厚度實驗一、實驗?zāi)康模赫莆諟y試薄膜厚度原理和方法，了解臺階儀操作技術(shù)。二、實驗原理：LVDT是線性差動變壓器的縮寫，為機電轉(zhuǎn)換器的一種。利用細探針掃描樣品表面，當(dāng)檢測到一個高度差別則探針做上下起伏之變化，此變化在儀器內(nèi)部的螺旋管先圈內(nèi)造成磁通量的變化，再有內(nèi)部電子電路轉(zhuǎn)換成電壓訊號，進而求出膜厚。LVDT線性位置感應(yīng)器，可測量的位移量小到幾萬分之一英寸至幾英寸。LVDT的工作原理是由振蕩器產(chǎn)生一高頻的參考電磁場，并內(nèi)建一支可動的鐵磁主軸以及兩組感應(yīng)線圈，當(dāng)主軸移動造成強度改變由感應(yīng)線圈感應(yīng)出兩電壓值，相比較后即可推算出移動量。三、操作流程1打開電腦，開臺階儀電源，等待1

2、0秒后打開操作軟件。2打開臺階儀保護蓋，小心放入樣品。3點擊Engage,觀察樣品與探針?biāo)谖恢谩?點擊Z+將探針升起，將樣品調(diào)到適當(dāng)位置。5點擊Scan，進行掃描。6分析數(shù)據(jù)。7點擊Z+將探針升到頂端。8取出樣品，關(guān)閉保護蓋。9關(guān)閉操作軟件，關(guān)閉臺階儀電源，關(guān)閉電腦。四、注意事項1待測樣品要經(jīng)過嚴格的送樣登記、測試、記錄程序，不明樣品不得測試。2測試前，用洗耳球吹掃樣品表面，把灰塵等東西從樣品表面吹掃干凈，保證樣品的潔凈度；吹掃時，洗耳球的尖端不能接觸樣品表面，防止破壞樣品。3接通電源，依次打開電腦開機按鈕，顯示器按鈕，臺階儀電源按鈕，要等待一定時間（約10秒）后，待數(shù)據(jù)信息接通后

3、，將電腦桌面上的操作軟件XP打開，不應(yīng)馬上打開軟件進行測試。4樣品放置時，要保證樣品在樣品臺上平穩(wěn)放置，放置時要橫平豎直，所要測試的臺階的位置靠近探針針尖的垂直位置。5在探針降落到樣品表面的過程中，先使用Engage按鈕落針，此過程盡量不使用Z-。如探針距離樣品很遠，Engage使用彈出警告的情況下才使用Z-按鈕；具體操作時，點擊1-2下Z-鍵，再使用Engage按鈕讓探針下落。如果再次出現(xiàn)警告，則再點擊Z-按鈕，再使用Engage按鈕落針，確保針尖安全。6測試時，顯示屏幕如果發(fā)現(xiàn)針尖位置的表面比較臟，如表面有很多不明的顆粒存在于樣品表面，停止測試，待送樣者把樣品處理干凈后再作測試。

4、7斷電時，UPS自動啟動，此時將探針升到頂端，取出樣品，關(guān)上保護蓋，關(guān)閉臺階儀電源，關(guān)閉電腦。8臺階儀在使用的過程中，需作定期校準(zhǔn)，為保證測試的準(zhǔn)確性，暫時定為一周校準(zhǔn)一次。9清潔樣品臺無異物、贓物。10擦拭臺階儀外殼表面無灰塵，用洗耳球?qū)μ结樳M行吹掃。11探針針頭是否完整，有無歪斜、探針脫落。12臺階儀主機與電腦連接是否完好，各連接線是否處在連接位置。13樣品臺是否整潔，有無明顯異物。14臺階儀的校準(zhǔn)。(1)正常開機打開臺階儀拿出校樣標(biāo)準(zhǔn)件。(2)對做出的數(shù)據(jù)對照標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)是否一致。六、實驗結(jié)果與分析：七、思考題：1、對于用臺階儀對非完美薄膜的厚度測量，StepHight的M和RCu

5、rsor點的選擇？兩個點分別選在圖線中的拐點處，這樣傾斜的曲線會水平，比較容易得到薄膜的厚度2、怎么樣才能得到一個比較shape的臺階？在制備時在襯底上覆蓋一個形狀規(guī)則比如長方形的陪片，且覆蓋片要盡量薄，邊緣應(yīng)整齊，這樣產(chǎn)生的臺階才會陡峭，方便測量