光電成像系統(tǒng).doc

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1、光電成像系統(tǒng)[教學(xué)目的]1、掌握CCD的結(jié)構(gòu)和工作原理、光電成像原理、光電成像光學(xué)系統(tǒng);2、了解微光像增強(qiáng)器件和纖維光學(xué)成像原理。[教學(xué)重點(diǎn)與難點(diǎn)]重點(diǎn):CCD的結(jié)構(gòu)和工作原理、光電成像原理、光電成像光學(xué)系統(tǒng)的組成。難點(diǎn):CCD的結(jié)構(gòu)和工作原理、調(diào)制傳遞函數(shù)的分析。成像轉(zhuǎn)換過程有四個(gè)方面的問題需要研究:能量方面——物體、光學(xué)系統(tǒng)和接收器的光度學(xué)、輻射度學(xué)性質(zhì),解決能否探測到目標(biāo)的問題成像特性——能分辨的光信號在空間和時(shí)間方面的細(xì)致程度,對多光譜成像還包括它的光譜分辨率噪聲方面——決定接收到的信號不穩(wěn)定的程

2、度或可靠性信息傳遞速率方面(成像特性、噪聲——信息傳遞問題,決定能被傳遞的信息量大?。┕怆姵上衿骷枪怆姵上裣到y(tǒng)的核心。§1固體攝像器件固體攝像器件的功能:把入射到傳感器光敏面上按空間分布的光強(qiáng)信息(可見光、紅外輻射等),轉(zhuǎn)換為按時(shí)序串行輸出的電信號——視頻信號,而視頻信號能再現(xiàn)入射的光輻射圖像。固體攝像器件主要有三大類:電荷耦合器件(ChargeCoupledDevice,即CCD)互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體圖像傳感器(即CMOS)電荷注入器件(ChargeInjenctionDevice,即CID)一、電荷

3、耦合攝像器件電荷耦合器件(CCD)特點(diǎn))——以電荷作為信號CCD的基本功能——電荷存儲和電荷轉(zhuǎn)移CCD工作過程——信號電荷的產(chǎn)生、存儲、傳輸和檢測的過程1.電荷耦合器件的基本原理(1)電荷存儲構(gòu)成CCD的基本單元是MOS(金屬-氧化物-半導(dǎo)體)電容器電荷耦合器件必須工作在瞬態(tài)和深度耗盡狀態(tài)(2)電荷轉(zhuǎn)移以三相表面溝道CCD為例表面溝道器件,即SCCD(SurfaceChannelCCD)——轉(zhuǎn)移溝道在界面的CCD器件體內(nèi)溝道(或埋溝道CCD)即BCCD(BulkorBuriedChannelCCD)——用

4、離子注入方法改變轉(zhuǎn)移溝道的結(jié)構(gòu),從而使勢能極小值脫離界面而進(jìn)入襯底內(nèi)部,形成體內(nèi)的轉(zhuǎn)移溝道,避免了表面態(tài)的影響,使得該種器件的轉(zhuǎn)移效率高達(dá)99.999%以上,工作頻率可高達(dá)100MHz,且能做成大規(guī)模器件(3)電荷檢測浮置擴(kuò)散輸出CCD輸出信號的特點(diǎn)是:信號電壓是在浮置電平基礎(chǔ)上的負(fù)電壓;每個(gè)電荷包的輸出占有一定的時(shí)間長度T。;在輸出信號中疊加有復(fù)位期間的高電平脈沖。對CCD的輸出信號進(jìn)行處理時(shí),較多地采用了取樣技術(shù),以去除浮置電平、復(fù)位高脈沖及抑制噪聲。1.電荷耦合攝像器件的工作原理CCD的電荷存儲、轉(zhuǎn)

5、移的概念+半導(dǎo)體的光電性質(zhì)——CCD攝像器件按結(jié)構(gòu)可分為線陣CCD和面陣CCD按光譜可分為可見光CCD、紅外CCD、X光CCD和紫外CCD可見光CCD又可分為黑白CCD、彩色CCD和微光CCD(1)線陣CCD線陣CCD可分為雙溝道傳輸與單溝道傳輸兩種結(jié)構(gòu)(2)面陣CCD常見的面陣CCD攝像器件有兩種:行間轉(zhuǎn)移結(jié)構(gòu)與幀轉(zhuǎn)移結(jié)構(gòu)。二、電荷耦合攝像器件的特性參數(shù)1.轉(zhuǎn)移效率電荷包從一個(gè)柵轉(zhuǎn)移到下一個(gè)柵時(shí),有部分的電荷轉(zhuǎn)移過去,余下部分沒有被轉(zhuǎn)移,稱轉(zhuǎn)移損失率。一個(gè)電荷量為的電荷包,經(jīng)過n次轉(zhuǎn)移后的輸出電荷量應(yīng)為

6、:總效率為:2.不均勻度光敏元的不均勻與CCD的不均勻。本節(jié)討論光敏元的不均勻性,認(rèn)為CCD是近似均勻的,即每次轉(zhuǎn)移的效率是一樣的。光敏元響應(yīng)的不均勻是由于工藝過程及材料不均勻引起的,越是大規(guī)模的器件,均勻性問題越是突出,這往往是成品率下降的重要原因。定義光敏元響應(yīng)的均方根偏差對平均響應(yīng)的比值為CCD的不均勻度:式中為第n?個(gè)光敏元原始響應(yīng)的等效電壓,為平均原始響應(yīng)等效電壓;N為線列CCD的總位數(shù)。由于轉(zhuǎn)移損失的存在,CCD的輸出信號與它所對應(yīng)的光敏元的原始響應(yīng)并不相等。根據(jù)總損失公式,在測得后,可求出:

7、式中P是CCD的相數(shù)3.暗電流CCD成像器件在既無光注入又無電注入情況下的輸出信號稱暗信號,即暗電流。暗電流的根本起因在于耗盡區(qū)產(chǎn)生復(fù)合中心的熱激發(fā)。由于工藝過程不完善及材料不均勻等因素的影響,CCD中暗電流密度的分布是不均勻的。暗電流的危害有兩個(gè)方面:限制器件的低頻限、引起固定圖像噪聲4.靈敏度(響應(yīng)度)它是指在一定光譜范圍內(nèi),單位曝光量的輸出信號電壓(電流)。5.光譜響應(yīng)CCD的光譜響應(yīng)是指等能量相對光譜響應(yīng),最大響應(yīng)值歸一化為100%所對應(yīng)的波長,稱峰值波長,通常將10%(或更低)的響應(yīng)點(diǎn)所對應(yīng)的波

8、長稱截止波長。有長波端的截止波長與短波端的截止波長,兩截止波長之間所包括的波長范圍稱光譜響應(yīng)范圍。6.噪聲CCD的噪聲可歸納為三類:散粒噪聲、轉(zhuǎn)移噪聲和熱噪聲。7.分辨率分辨率是攝像器件最重要的參數(shù)之一,它是指攝像器件對物像中明暗細(xì)節(jié)的分辨能力。測試時(shí)用專門的測試卡。目前國際上一般用MTF(調(diào)制傳遞函數(shù))來表示分辨率。8.動態(tài)范圍與線性度動態(tài)范圍=線性度是指在動態(tài)范圍內(nèi),輸出信號與曝光量的關(guān)系是否成直線關(guān)系。三、CMOS攝像器

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