單晶制絨設(shè)備培訓(xùn).ppt

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1、2011-9-10單晶清洗設(shè)備培訓(xùn)概述第一部分：單晶清洗設(shè)備的組成第二部分：單晶清洗設(shè)備的開機第三部分：單晶清洗設(shè)備操作第四部分：單晶清洗設(shè)備的關(guān)機單晶清洗設(shè)備的組成一、單晶制絨機1、單晶制絨槽式主體/一臺2、上下料臺/各一個3、NaOH、IPA補液系統(tǒng)/一套4、純水預(yù)熱槽/一個5、電控柜/一個二、酸洗機1、酸洗槽式主體/一臺2、上下料臺/各一個3、電控柜/一個三、去PSG機1、去PSG槽式主體/一臺2、上下料臺/各一個3、電控柜/一個四、甩干機單晶清洗設(shè)備功能介紹單晶槽式制絨機：用堿性溶液（NAOH）清洗硅片表面的污損，并在硅片表面刻蝕出金字塔形的絨面。酸洗機：用HCL、HF去除硅片表面的

2、金屬離子。去PSG機：用HF去除硅片表面的磷硅玻璃。甩干機：先用水清洗硅片，再用熱氮氣去除硅片表面殘留的液體。單晶制絨設(shè)備主體上下料臺上料臺下料臺NAOH、IPA自動補液系統(tǒng)純水預(yù)熱槽電控柜內(nèi)部圖壓縮空氣、氮氣和純水供應(yīng)管工作流程NAHO預(yù)處理60S上料臺DI水噴淋25SDI水漂洗10SHF酸洗10SDI水漂洗10SNAOH、IPA、輔助劑制絨1100SDI水漂洗10SDI水漂洗30SNAOH、H2O2去損傷180S下料臺單晶制絨工作流程HCL酸洗120S上料臺甩干下料臺DI水噴淋120SDI水漂洗60SDI水噴淋60SHCL、HF酸洗120SDI水漂洗60S酸洗工作流程HF酸洗120S上料

3、臺甩干下料臺DI水噴淋120SDI水噴淋60SDI水漂洗60SDI水漂洗60S去PSGDI水低速噴淋30S上料高速吹N2180S卸料甩干機制絨設(shè)備開機前檢查壓縮空氣、氮氣、純水：閥門處于打開狀態(tài)，壓縮空氣、氮氣壓力4-6barDI水CDAN2CDA調(diào)壓閥N2調(diào)壓閥制絨設(shè)備開機前檢查化學(xué)品補液槽按要求配液純水預(yù)熱槽溫度達到設(shè)定值刻度標(biāo)尺單晶制絨設(shè)備運行及操作第一步：打開設(shè)備電控柜總電源，依次打開各功能電源開關(guān)電控柜內(nèi)各電源開關(guān)單晶制絨設(shè)備運行及操作第二步：等待觸摸屏顯示后，進入主界面進行工藝參數(shù)設(shè)置參數(shù)設(shè)置按鈕單晶制絨設(shè)備運行及操作點擊“參數(shù)設(shè)置進入”按鈕后，彈出密碼框，輸入密碼后，按“確認”

4、按鈕即可進入?yún)?shù)設(shè)置項。進入?yún)?shù)設(shè)置畫面，由工藝員對工藝參數(shù)（清洗時間、各槽溫度、自動配液參數(shù)、排液時間）進行設(shè)置。單晶制絨設(shè)備運行及操作點擊“自動補液參數(shù)設(shè)置”按鈕后，進入畫面，對各槽DI水、NAOH、IPA自動補液量進行設(shè)置自動補液畫面單晶制絨設(shè)備運行及操作點擊“時間溫速度設(shè)置”按鈕后，進入畫面，對各槽清洗時間、及各加熱槽的溫度進行設(shè)置，機械臂速度設(shè)置為500MM/S，除設(shè)備調(diào)試外，一般不作改動。時間、溫度、速度設(shè)置單晶制絨設(shè)備運行及操作第三步：設(shè)置好工藝參數(shù)后，點擊“返回”按鈕，即可返回主菜單，然后點擊“報警畫面”，確認是否有報警。報警按鈕彈出報警框，報警項顯示為綠色，則是報警已解除，

5、若顯示為紅色，則需要對報警進行手動處理。單晶制絨設(shè)備運行及操作進行手動處理時，在主菜單中點擊手動按鈕即可進入各手動畫面：點擊“上升”“下降”“左移”“右移”按鈕即可對機械臂進行移動操作。點擊“循環(huán)泵ON”按鈕即可打開或關(guān)閉各循環(huán)泵，當(dāng)標(biāo)識顯示為綠色時，即標(biāo)識泵已打開。機械臂手動畫面循環(huán)泵手動畫面單晶制絨設(shè)備運行及操作點擊“左蓋開”“右蓋開”按鈕即可打開蓋板，標(biāo)識顯示為綠色即為打開狀態(tài)，點擊“左蓋關(guān)”“右蓋關(guān)”按鈕即可關(guān)閉蓋板。點擊各對應(yīng)槽體的“閥ON”，打開閥門排液，在排液前需對排液時間進行設(shè)置。槽蓋手動畫面排水手動畫面單晶制絨設(shè)備運行及操作排水時間設(shè)置畫面手動加熱畫面點擊時間設(shè)置按鈕進行各

6、槽的排液時間設(shè)置，以S為單位。點擊“加熱ON”按鈕，對所對應(yīng)槽進行加熱，加熱時“加熱”標(biāo)識顯示為綠色。單晶制絨設(shè)備運行及操作鼓泡加水手動畫面手動補液設(shè)置點擊“鼓泡閥ON”或“加水閥ON可對所需槽進行鼓泡或加水。設(shè)置好補液量，手動按“ON”按鈕對所需工藝槽DI水、NAHO、IPA進行補液單晶制絨設(shè)備運行及操作第四步：確認無報警后，再點擊“監(jiān)控畫面”檢查設(shè)備槽體的溫度、液位是否達到標(biāo)準(zhǔn)，監(jiān)控顯示的花籃要與槽體里的一致。監(jiān)控1監(jiān)控2單晶制絨設(shè)備運行及操作若畫面顯示的花籃與槽體實際花籃不一致，可進入主菜單，點擊“籃料強制”按鈕，進入籃料設(shè)置畫面。點擊畫面中的“有”按鈕，則會顯示有籃，點擊“無”顯示無

7、籃。單晶制絨設(shè)備運行及操作第五步：進入“主菜單”，點擊“系統(tǒng)啟動畫面”在手動狀態(tài)下按“回原點”，當(dāng)出現(xiàn)OK后，將觸摸屏下方的自動手動開關(guān)切換到自動狀態(tài)，按“自動啟動”按鈕，設(shè)備開始運行系統(tǒng)啟動畫面單晶制絨設(shè)備運行及操作第六步：將裝好硅片的料籃放于上料臺后，按開始按鈕，即進行生產(chǎn)。開始按鈕單晶制絨設(shè)備的關(guān)機1.確保槽內(nèi)無花籃；2.將設(shè)備切換到手動狀態(tài)，通過觸摸屏排掉槽內(nèi)液體，并加DI水清洗干凈；3.關(guān)閉電控柜