單晶硅片單晶爐設(shè)備工藝流程.ppt

《單晶硅片單晶爐設(shè)備工藝流程.ppt》由會員上傳分享，免費在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在教育資源-天天文庫。

1、單晶硅設(shè)備培訓目錄1.硅料的提煉2.單晶硅片工藝流程3.單晶爐展示4.產(chǎn)品展示5.單晶爐種類6.單晶爐結(jié)構(gòu)7.各個部件的作用8.單晶工藝流程9.晶升，堝升介紹10.加熱部分硅的提煉：硅，Si,地球上含硅的東西多的很好像90%以上都是晶硅的，也就是單晶硅。太陽能級別的硅純度6N以上就可以了。開始是石頭，（石頭都含硅），把石頭加熱，變成液態(tài)，在加熱變成氣態(tài)，把氣體通過一個密封的大箱子，箱子里有N多的子晶加熱，兩頭用石墨夾住的，氣體通過這個箱子，子晶會把氣體中的一種吸符到子晶上，子晶慢慢就變粗了，因為是氣體變固體，所以很慢，一個月左右，箱子里有就很多長長的原

2、生多晶硅。1.硅料的提煉2.單晶硅片生產(chǎn)流程3.單晶爐展示4.產(chǎn)品展示5.單晶爐種類6.單晶爐結(jié)構(gòu)7.各個部件的作用8.單晶工藝流程9.晶升，堝升介紹10.加熱部分目錄單晶硅片工藝流程：1.酸洗：使用稀硝酸HNO3,進行清洗，去除表面雜質(zhì)及提煉時產(chǎn)生的四氯化硅。2.清洗：清洗硅料經(jīng)過酸洗后的殘留雜質(zhì)。3.單晶硅料烘干：去除水分。4.挑料：區(qū)分P型，N型硅料。5.配料：對拉晶的硅料型號進行匹配。6.單晶爐拉晶：7.硅棒檢測：檢查有無位錯，棱線斷等現(xiàn)象。8.開斷：將單晶硅棒用帶鋸條切割成四方體。9.包裝：將開斷后的單晶硅棒進行包裝，送至下一道工序10.磨圓

3、：將單晶硅棒四個直角進行磨圓。11.多線切割：瑞士的264，265。日本的PV800,MDM442DM設(shè)備進行切割。0.33mm。線切割原理：12.清洗：13.單晶硅片檢測：1.硅料的提煉2.單晶硅片生產(chǎn)流程3.單晶爐展示4.產(chǎn)品展示5.單晶爐種類6.單晶爐結(jié)構(gòu)7.各個部件的作用8.單晶工藝流程9.晶升，堝升介紹10.加熱部分目錄目錄1.硅料的提煉2.單晶硅片生產(chǎn)流程3.單晶爐展示4.產(chǎn)品展示5.單晶爐種類6.單晶爐結(jié)構(gòu)7.各個部件的作用8.單晶工藝流程9.晶升，堝升介紹10.加熱部分目錄1.硅料的提煉2.單晶硅片生產(chǎn)流程3.單晶爐展示4.產(chǎn)品展示5.

4、單晶爐種類6.單晶爐結(jié)構(gòu)7.各個部件的作用8.單晶工藝流程9.晶升，堝升介紹10.加熱部分單晶爐種類：單晶爐，目前可以分為：小松爐；642爐；70爐；萊寶爐；80爐；85爐；90爐；95爐；97爐。目前現(xiàn)在國內(nèi)普遍使用的單晶爐型號為80爐；85爐；90爐。各個單晶爐的工作原理相同，都是根據(jù)4的速度進行晶體直徑控制及可控硅整流提供50V直流電源，進行加熱。小松爐；642爐；70爐，電氣控制部分為按鈕式；萊寶爐產(chǎn)生后，以后的單晶爐都采用觸摸屏式。目錄1.Si的介紹2.單晶硅片生產(chǎn)流程3.單晶爐展示4.產(chǎn)品展示5.單晶爐種類6.單晶爐結(jié)構(gòu)7.各個部件的作用8

5、.單晶工藝流程9.晶升，堝升介紹10.加熱部分目錄1.Si的介紹2.單晶硅片生產(chǎn)流程3.單晶爐展示4.產(chǎn)品展示5.單晶爐種類6.單晶爐結(jié)構(gòu)7.各個部件的作用8.單晶工藝流程9.晶升，堝升介紹10.加熱部分1.提拉頭：提拉頭：晶升電機，晶轉(zhuǎn)電機，離合器，鋼絲繩，光感限位，磁流體等部件組成。作用：在拉晶過程中，提供晶升與晶轉(zhuǎn)速度，通過PCC控制模塊的開關(guān)量變化，來控制晶體直徑。2.副室，翻板閥，主室：翻板閥作用：在拉晶過程中，對于提純，拉ABCD段時，用于隔離主室與副室，使主室溫度，壓力一定。副室作用：拉晶過程中，已拉出的單晶棒存放的位置。主室作用：容納加

6、熱器，石英坩堝，導流罩等，用于硅料融化的容器。爐蓋：CCD測徑儀觀察窗水路接頭整體鍛造，超低碳不銹鋼法蘭主室內(nèi)部：籽晶夾籽晶石英坩堝加熱器單晶棒石棉碳粘三瓣堝目錄：1.硅料的提煉2.單晶硅片生產(chǎn)流程3.單晶爐展示4.產(chǎn)品展示5.單晶爐種類6.單晶爐結(jié)構(gòu)7.各個部件的作用8.單晶工藝流程9.晶升，堝升介紹10.加熱部分單晶爐工藝流程：準備作業(yè)熱態(tài)檢漏取單晶和籽晶石墨件取出冷卻真空過濾器清洗真空泵油檢查更換石墨件清洗單晶爐室清洗石墨件安裝石英坩堝安裝裝硅料籽晶安裝抽空，檢漏充氬氣，升功率，融料引晶，放大，放肩，轉(zhuǎn)肩等徑生長收尾降功率停爐冷卻詳細介紹：1.準

7、備作業(yè)：穿戴好潔凈工作服，鞋，帶好一次性手套，耐高溫手套，研磨巾，酒精，吸塵器，防塵口罩。準備好扳手等各類工具。準備好取晶和放石墨件的小車。并確認水，電，氣等正常。2.熱態(tài)檢漏：檢查上一爐功率關(guān)閉時間，在停爐冷卻2小時后，關(guān)閉氬氣總閥，開始愁高空，并記錄時間。爐壓到3帕以下，關(guān)閉主室球閥和真空泵電源。如0.5小時不到3帕，需通知維修人員處理。3.取單晶和籽晶：關(guān)閉2個速度，關(guān)閉氬氣。打開翻板閥，將單晶替升至副室，慢慢旋轉(zhuǎn)出副室，用晶快降下降單晶，在地面放木板，使單晶尖頭垂直接觸到木板，剪短籽晶連接，將單晶放入專用小車上。4.石墨件取出冷卻：升爐蓋，取出

8、導流罩，保溫蓋。石英坩堝等放在指定位置。5.真空過濾器清洗：用洗塵管清理各個真空管道，并將真空