晶圓處理工程用語(yǔ).doc

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1、晶圓處理工程用語(yǔ)D．1基本、共同用語(yǔ)編號(hào)用語(yǔ)（英文/中文）用語(yǔ)說明D1001unloader卸載機(jī)、卸貨機(jī)是將被加工對(duì)象（work）從所定位置取出之機(jī)構(gòu)D1002Indexer指針器，索引器是指發(fā)送機(jī)（sender）與接收機(jī)（receiver）之總稱。在處理之前后，亦有使用同一匣盒使遮光罩(mask),晶圓等基板收納位置不會(huì)變化之單面匣式（uni-cassette）方式。D1003Waferautomatictransfersystem晶圓自動(dòng)傳送系統(tǒng)是指將晶圓每次一片或每次多片，從匣盒自動(dòng)轉(zhuǎn)移至各處理裝置之裝置。此一裝置是由匣盒載物臺(tái)(cassettestage)、晶圓搬運(yùn)機(jī)器人，

2、以及該接口所構(gòu)成，大都與匣盒搬運(yùn)機(jī)械人搭配使用。D1004Waferhoist晶圓交接升降裝置系指有關(guān)晶圓輸送機(jī)構(gòu)之晶圓交接升降機(jī)構(gòu)。大都與附屬在輸送機(jī)構(gòu)先端之晶圓承接臂成對(duì)搭配使用，位在交接之制程位置，由晶圓承接部分與驅(qū)動(dòng)該部分之上下機(jī)構(gòu)所組成。D1005Waferholder晶圓保持器系指有關(guān)形成薄膜之半導(dǎo)體制造裝置，在各種處理或晶圓輸送時(shí)，用來保持晶圓之裝置部分。D1006X-Ystage/X-Ytable從橫移動(dòng)載物臺(tái)/從橫移動(dòng)載物盤是指可將被加工對(duì)象(work)加以從橫方向移動(dòng)，且可決定其精確位置之機(jī)構(gòu)。D1007materialsafetydatasheet材料安全數(shù)據(jù)清

3、單MSDS是指記錄化學(xué)物質(zhì)之物性、毒性、可燃性，反應(yīng)性及處理方法之安全性數(shù)據(jù)清單。為確保使用瓦斯或藥品處理裝置在操作時(shí)之安全為目的，通常與使用說明書等附加在一起。D1008Orientationflatarrangeequipment晶圓定向平面擺齊裝置是指將匣盒內(nèi)晶圓之定向平面加以擺齊在一個(gè)方向之裝置。為要檢查晶圓轉(zhuǎn)移傳送是否確實(shí)，或?yàn)橐咕A在各處理裝置內(nèi)之定向決定，能順利所使用之裝置。D1009cassette/magazine晶圓匣盒/晶圓收納盒是指將晶圓被加工對(duì)象整齊加以收納之裝置。為使晶圓加工對(duì)象在各制程上能容易進(jìn)行搭載及卸在載為目的，所使用之匣盒。類同之用語(yǔ)有magaz

4、ine一語(yǔ)。D1010cassette-to-cassettehandling匣盒間轉(zhuǎn)運(yùn)處理系指從供給側(cè)晶圓匣盒，將晶圓每次一片自動(dòng)加以取出，輸送至處理室處理后，將晶圓逐片收納在收納側(cè)晶圓匣盒之處理方式。D1011Availability利用度，利用率系指針對(duì)計(jì)劃運(yùn)輸時(shí)間，實(shí)際可正常運(yùn)輸時(shí)間之比率。D1012Substrate基板,基片是指成為處理對(duì)象之空白遮光罩(maskblank),晶圓等材料總稱.編號(hào)用語(yǔ)（英文/中文）用語(yǔ)說明D1013Carrierbox指為要輸送或保管晶圓之容器.運(yùn)載盒在制造過程上務(wù)必保持晶圓不至受到容器排放瓦斯之污染,輸送盒材質(zhì)之鑒定至為重要.目前,輸送盒

5、以使用聚丙稀(polypropylene)樹脂及聚碳酸脂(polycarbonate)的樹脂為主.D1014Clustertool組合設(shè)備公具指將不同裝置廠家之設(shè)備或不同制程之結(jié)合,或能將半導(dǎo)體裝置制造商獨(dú)特之制造模塊，加以裝配之多加工室（multichamber）制造裝置。是以美國(guó)半導(dǎo)體制造裝置廠家為中心之團(tuán)體MESA(ModularEquipmentStandardArchitecture)所提倡者。D1015Pre-purge是指要使用熱處理爐、反應(yīng)室或瓦斯配管系統(tǒng)之前，將純性瓦斯引進(jìn)加以凈化之操作。D1016Costofownership是將半導(dǎo)體制造相關(guān)設(shè)備之投資，或?qū)I(yíng)運(yùn)

6、之經(jīng)濟(jì)性評(píng)價(jià)基準(zhǔn)，以經(jīng)營(yíng)位皆加以模型化者。將制造裝置之壽命周期成本（lifecyclecost）,以裝置價(jià)格、生產(chǎn)性、可靠性及成品率等加以考量，而算出每一晶圓良品成本之方法。D1017Magneticcoupledfeedthrough磁耦合旋轉(zhuǎn)饋通是指利用N極S極之磁性結(jié)合力，將外旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)力傳達(dá)到真空氣氛內(nèi)之旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。是一種非接觸旋轉(zhuǎn)，因多半在真空與大氣間隔著一道墻壁之構(gòu)造，其真空密封壽命為無限大，對(duì)超高真空性能之維持很有效。D1018Magneticlevitationtransfer磁懸浮輸送是指利用磁性反斥力之非接觸性輸送機(jī)構(gòu)。是由控制磁懸浮之控制電磁鐵、線性馬達(dá)及懸浮體等所

7、構(gòu)成，例如遮光罩或晶圓等之基片搭載在懸浮體上來移動(dòng)。在真空中使用時(shí)，因?qū)俜墙佑|，無振動(dòng)、無潤(rùn)滑油及全然不產(chǎn)生灰塵，具有可獲得潔凈真空等大特點(diǎn)。D1019Robotforusinginvacuum真空機(jī)械人是指在真空室內(nèi)，為要移送基板單體所使用輸送機(jī)構(gòu)之總稱。為防止例如遮光罩，晶圓等基板受到微粒之污染，采用振動(dòng)部極低之機(jī)構(gòu)。就其功能而言，一般具有直進(jìn)、旋轉(zhuǎn)、上下移動(dòng)等功能。D1020Throughput生產(chǎn)量，工作數(shù)是單位時(shí)間內(nèi)所能處理之遮光罩或晶圓等基板之