TFT-LCD基礎(chǔ)制程技術(shù)課件.ppt

《TFT-LCD基礎(chǔ)制程技術(shù)課件.ppt》由會(huì)員上傳分享，免費(fèi)在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在教育資源-天天文庫。

1、TFT-LCD基礎(chǔ)製程技術(shù)TFT-LCD薄膜製程1TFT-LCD基本常識(shí)TFT-LCD全名TFT?ThinFilmTransistor薄膜電晶體LCD?LiquidCrystalDisplay液晶顯示器LCD動(dòng)作原理TFT-LCD基本構(gòu)造TFT-LCD基本製程2LCD動(dòng)作原理(上)打出白光打出黑光3LCD動(dòng)作原理(下)電壓控制光的強(qiáng)弱液晶受電場影響改變排列方式電壓距離=電場電壓?電場?液晶排列?光的強(qiáng)弱?顏色4TFT-LCD基本構(gòu)造5TFT-LCD基本製程(上)6TFT-LCD基本製程(下)7TFT-LCD薄膜製程目的在玻璃基板上，製作薄膜電晶體。基板成品板8TFT-LCD薄

2、膜製程(基本製程)成膜光阻塗佈曝光顯影烘乾清洗9TFT-LCD薄膜製程(基本製程)續(xù)蝕刻剝膜檢查10TFT-LCD薄膜製程(Array段)TFT由五道光罩製程製造TFTArray組成材料如下SiNxCrn+Sia-Si:HSiNxCr11Mask1：Gate電極形成AA’AA’Cr成膜蝕刻Cr12Mask2：SE島狀半導(dǎo)體AA’AA’SiNx/a-Si:H/n+Si成膜蝕刻n+Si13Mask3：Source&Drain電極形成AA’AA’Cr成膜蝕刻Cr/n+Si14Mask4：ContactHole形成AA’AA’SiNx成膜蝕刻SiNx15Mask5：畫素電極形成AA’

3、AA’ITO成膜蝕刻ITO16實(shí)際畫素情況SourceLineGateLineTFT17顯示器解析度18X代廠與面取數(shù)19謝謝Thankyou20