行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)：HGT 4509-2013 工業(yè)高純氫氟酸.pdf

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1、ICS71．060．30G11備案號(hào)：41827—2013HG中華人民共和國(guó)化工行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)HG／T4509—2013工業(yè)高純氫氟酸Highpurityhydrofluoricacidforindustrialuse2013—10—17發(fā)布2014-03—01實(shí)施中華人民共和國(guó)工業(yè)和信息化部發(fā)布HG／T4509—2013前言本標(biāo)準(zhǔn)按照GB／T1．12009給出的規(guī)則起草。本標(biāo)準(zhǔn)的附錄A為資料性附錄。本標(biāo)準(zhǔn)由中國(guó)石油和化學(xué)工業(yè)聯(lián)合會(huì)提出。本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)化學(xué)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)無(wú)機(jī)化工分會(huì)(sAC／Tc63／scl)歸口。本標(biāo)準(zhǔn)起草單位：浙江凱恒電子材料有限公司、福建省邵武市永飛化工有限公司

2、、鷹鵬集團(tuán)／宣城亨泰化工科技有限公司、浙江藍(lán)蘇氟化有限公司、貴州省產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)院、巨化集團(tuán)技術(shù)中心、山東興氟新材料有限公司、上海哈勃化學(xué)技術(shù)有限公司、多氟多化工股份有限公司、中海油天津化工研究設(shè)計(jì)院、國(guó)家無(wú)機(jī)鹽產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心。本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：田志揚(yáng)、趙曉亞、杜宏軍、林益興、施衛(wèi)寅、鐘宏波、周曉紅、周鵬鵬、孫宏華、劉海霞、郭風(fēng)鑫。HG／T45∞一2013工業(yè)高純氫氟酸1范圍本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了工業(yè)高純氫氟酸的分級(jí)，要求，試驗(yàn)方法，檢驗(yàn)規(guī)則，標(biāo)志、標(biāo)簽，包裝、運(yùn)輸和貯存及安全。本標(biāo)準(zhǔn)適用于工業(yè)高純氫氟酸。該產(chǎn)品主要應(yīng)用于太陽(yáng)能光伏電池、液晶顯示器件、集成電路和超大規(guī)模集成電路芯

3、片的清洗、蝕刻，以及作為生產(chǎn)其他高純氟化物的原料等。2規(guī)范性引用文件下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，僅所注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。GB190危險(xiǎn)貨物包裝標(biāo)志GB／T191--2008包裝儲(chǔ)運(yùn)圖示標(biāo)志GB／T6678化工產(chǎn)品采樣總則GB／T6680液體化工產(chǎn)品采樣通則GB／T66822008分析實(shí)驗(yàn)室用水規(guī)格和試驗(yàn)方法GB／T8170數(shù)值修約規(guī)則與極限數(shù)值的表示和判定HG／T3696．1無(wú)機(jī)化工產(chǎn)品化學(xué)分析用標(biāo)準(zhǔn)溶液、制劑及制品的制備第1部分：標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液的制備HG／T3696．2無(wú)機(jī)

4、化工產(chǎn)品化學(xué)分析用標(biāo)準(zhǔn)溶液、制劑及制品的制備第2部分：雜質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)溶液的制備HG／T3696．3無(wú)機(jī)化工產(chǎn)品化學(xué)分析用標(biāo)準(zhǔn)溶液、制劑及制品的制備第3部分：制劑及制品的制備3分子式和相對(duì)分子質(zhì)量分子式；HF相對(duì)分子質(zhì)量：20．01(按2011年國(guó)際相對(duì)原子質(zhì)量)4分級(jí)工業(yè)高純氫氟酸按用途分為四個(gè)等級(jí)。EL級(jí)：主要用于太陽(yáng)能光伏電池及液晶顯示器件的制造，以及作為生產(chǎn)其他高純氟化物的原料UP級(jí)：主要用于線寬為0．8pm～1．2pm集成電路的清洗與蝕刻；uPs級(jí)：主要用于線寬為0．2p-m～0．6pm集成電路的清洗與蝕刻；UP—SS級(jí)：主要用于線寬為0．09,um～0，2pm集成電路的清洗

5、與蝕刻。5要求5．1外觀：無(wú)色透明液體。5．2工業(yè)高純氫氟酸按本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的試驗(yàn)方法檢測(cè)應(yīng)符合表1技術(shù)要求。HG／T45∞一2013表1技術(shù)要求指標(biāo)項(xiàng)目EI，級(jí)UP級(jí)UPS級(jí)UP—SS級(jí)總酸度(以HF計(jì))w／％49．0土0．549．0土0．549．0士0549．0土0．5氟硅酸(HzSiR)w／(mg／kg)≤50503030氯化物(以cl計(jì))”／(mg／kg)≤55O．2O05硝酸鹽(以NOs計(jì))"／(mg／kg)≤330．10．05磷酸鹽(以P03計(jì))w／(mg／kg)≤110．10．05硫酸鹽(以so：計(jì))“∥(mg／kg)≤550．20．05鋁

6、≤10010】0．1砷(As)w／(pg／kg)≤2001010．1硼(B)w／(pg／kg)≤10010l0．1鋇(Ba)叫(pg／kg)≤1001010．1鈣(Ca)w／(pg／kg)≤100101O．1鎘(cd)H∥(pg／kg)≤501010．1鉻(Cr)w／(p．g／kg)≤201010．1銅(Cu)'w／(pg／kg)≤2010l0．1鐵(Fe)w／(pg／kg)≤10010101鉀(K)w／(vg／kg)≤1001010．1鋰(Li)w／(p．g／kg)≤2010l01鎂(Mg)w／(pg／kg)≤100101O．1錳(Mn)w／(vg／kg)≤50101O．1鈉

7、(Na)w／(gg／kg)≤100lO1O．1鎳(Ni)w／(pg／kg)≤501010．1鉛(Pb)w／(}‘g／kg)≤50lO1O．1鈦(T1)w／(pg／kg)≤1001010．1銻(Sb)wl(pg／kg)≤501010．1錫(Sn)w／(gg／kg)≤2010l01鋅(Zn)w／(pg／kg)≤501010．1(≥1．0pm)／(個(gè)／mL)≤25顆粒(≥0．5pm)／(個(gè)／mL)≤255(≥0．2pm)／(個(gè)／mL)≤206試驗(yàn)方法6．1警告本試驗(yàn)方法中所使用的部分試劑和樣品具有