布魯克臺(tái)階儀資料--中文彩頁.pdf

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1、DektakXT第十代探針式表面輪廓儀InnovationwithIntegrityDektakXT布魯克DektakXT臺(tái)階儀（探針式表面輪廓儀）設(shè)計(jì)創(chuàng)新，實(shí)現(xiàn)了更高的重復(fù)性和分辨率，垂直高度重復(fù)性功能卓越，極致表現(xiàn)高達(dá)5?。這項(xiàng)測量性能的提高，達(dá)到了過去四十年Dektak體系技術(shù)創(chuàng)新的頂峰，更加穩(wěn)固了其行業(yè)中的領(lǐng)先地位。不論應(yīng)用于研發(fā)還是產(chǎn)品測量，在研究工作中的廣泛使用使得DektakXT的功能更強(qiáng)大，操作更簡便易行，檢測過程和數(shù)據(jù)采集也更加完善。第十代DektakXT臺(tái)階儀（探針式表面輪廓儀）的技術(shù)突破，實(shí)現(xiàn)了納米尺度的表面輪廓測量，從而可以廣泛的應(yīng)用于微電子器件，半導(dǎo)體

2、，電池，高亮度發(fā)光二極管的研發(fā)以及材料科學(xué)領(lǐng)域。DektakXT技術(shù)參數(shù)：臺(tái)階高度重復(fù)性5?—單拱龍門式設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了突破性的掃描穩(wěn)定性—先進(jìn)的”智能化電子器件”實(shí)現(xiàn)了低噪聲的新標(biāo)準(zhǔn)—新的硬件配置使數(shù)據(jù)采集能力提高了40%—64位的Vision64同步數(shù)據(jù)處理軟件，將數(shù)據(jù)分析速度提高十倍。功能卓越，操作簡易—直觀的Vision64用戶界面操作流程簡便易行—自對(duì)準(zhǔn)式探針設(shè)計(jì)使得更換探針的步驟簡便易行探針輪廓儀業(yè)界翹楚，無可匹敵的價(jià)值—性能優(yōu)異,物超所值—獨(dú)特的傳感器設(shè)計(jì)使得在單一平臺(tái)上即可實(shí)現(xiàn)超微力和正常力測量技術(shù)創(chuàng)新四十余載，不斷突破勇攀高峰過去四十多年間，布魯克的臺(tái)階儀研制和生產(chǎn)

3、一直在理論和實(shí)踐上不斷實(shí)現(xiàn)創(chuàng)新性成果——首臺(tái)基于微處理器控制的輪廓儀，首臺(tái)實(shí)現(xiàn)微米測量的臺(tái)階儀，首臺(tái)可以達(dá)到3D測量的儀器，首臺(tái)個(gè)人電腦控制的輪廓儀，首臺(tái)全自動(dòng)300mm臺(tái)階儀——DektakXT延續(xù)了這種開創(chuàng)性的風(fēng)格，全新的DektakXT成為世界上第一臺(tái)采用具有單拱龍門式設(shè)計(jì)，配備全彩HD攝像機(jī)，并且利用64位同步數(shù)據(jù)處理模式完成最佳測量和操作效率的臺(tái)階儀。世界范圍內(nèi)有成千上萬臺(tái)Dektak系列產(chǎn)品應(yīng)用于各個(gè)領(lǐng)域，它們以優(yōu)質(zhì)，可靠，高效等諸多特性而得到贊譽(yù)。人們?yōu)榱说玫骄_無誤的臺(tái)階高度和表面粗糙度信息，首選使用Dektak來進(jìn)行測量。這里，我們通過介紹DektakXT的各

4、項(xiàng)功能，幫助您可靠高效地完成表面測量工作。DektakXT設(shè)計(jì)完美，性能卓越臺(tái)階儀性能優(yōu)劣取決于以下三方面:測量重復(fù)性,測試速度和操作難易程度，這些因素決定了實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的質(zhì)量和實(shí)驗(yàn)操作的效率。DektakXT采用全新的儀器系統(tǒng)構(gòu)造和最優(yōu)化的測量及數(shù)據(jù)處理軟件來實(shí)現(xiàn)可靠、快速和簡易的樣品檢測，達(dá)到最佳的儀器使用效果。提高操作的可重復(fù)性DektakXT的多處領(lǐng)先設(shè)計(jì)保證了其無人能及的表現(xiàn),達(dá)到優(yōu)于5埃的測量重復(fù)性.使用單拱龍門結(jié)構(gòu)比原先的懸臂梁設(shè)計(jì)更堅(jiān)硬持久不易彎曲損壞，而且降低了周圍環(huán)境中聲音和震動(dòng)噪音對(duì)測量信號(hào)的影響。同時(shí)，Bruker完善了儀器的智能化電子器件，提高了其工作性能

5、的穩(wěn)定性，降低溫度變化對(duì)器件的影響，并且采用最先進(jìn)的數(shù)據(jù)處理器。在控制器電路中使用智能敏化電子器件,會(huì)把DektakXT的單拱龍門設(shè)計(jì)和智能敏化器件聯(lián)用，系統(tǒng)和環(huán)境噪音引起的測量誤差降到最低。因此采用降低基底噪音，提高測量性能。DektakXT測量系統(tǒng)，能夠更穩(wěn)定可靠地掃描高度小于10nm的臺(tái)階，獲得其形貌特征。單拱龍門結(jié)構(gòu)和智能器件的聯(lián)用，大大降低了基底噪音，增強(qiáng)了穩(wěn)定性，使其成為一個(gè)極具競爭力的表面輪廓儀。提高測量和數(shù)據(jù)分析速度首次采用獨(dú)特高速的直接驅(qū)動(dòng)掃描樣品臺(tái),DektakXT在不犧牲分辨率和基底噪音水平的前提下,大大縮短了每次掃描的間隔時(shí)間。這一改進(jìn)，提高了進(jìn)行大范圍

6、3D形貌表征或者表面長程應(yīng)力掃描的掃描速度。在保證質(zhì)量和重復(fù)性的前提下，可以將數(shù)據(jù)采集處理的速度提高40%。另外，DektakXT采用Bruker具有64位數(shù)據(jù)采集同步分析的Vision64，它可以提高大范圍3D形貌圖的高數(shù)據(jù)量處理速DektakXT獨(dú)特的傳感器設(shè)計(jì)使得在單一平臺(tái)上即可實(shí)度，并且可以加快數(shù)據(jù)濾波和多次掃描數(shù)據(jù)庫分析的速度。現(xiàn)超微力和正常力測量Vision64還具有最有效直觀的用戶界面，簡化了實(shí)驗(yàn)操作設(shè)置，可以自動(dòng)完成多掃描模式，使很多枯燥繁復(fù)的實(shí)驗(yàn)操作變得更快速簡潔。DektakXT采用Bruker64位數(shù)據(jù)采集及同步分析的軟件系統(tǒng)Vision64，可以將大范圍

7、3D形貌圖的掃描和處理速度提高一倍簡便易行的實(shí)驗(yàn)操作系統(tǒng)為了便于操作可供多用戶使用的系統(tǒng)，一個(gè)必要條件就是能夠迅速簡便地更換不同模式所需要的探針。DektakXT新穎的探針和部件自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)裝置，可以盡量避免用戶在裝針的過程中出現(xiàn)針尖損傷等意外。這一改進(jìn)使原來費(fèi)時(shí)耗力的實(shí)驗(yàn)步驟變得簡便易行。為盡可能滿足所有應(yīng)用的需求，布魯克提供各種尺寸的標(biāo)準(zhǔn)探針和特制探針，其中包括專為深槽測量定制的高深寬比的探針。完善的數(shù)據(jù)采集和分析系統(tǒng)與DektakXT的創(chuàng)新性設(shè)計(jì)相得益彰的配置是Bruker的Vision6