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《CF Cleaner設(shè)備簡介(原理和參數(shù)講解)ppt課件.ppt》由會(huì)員上傳分享，免費(fèi)在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在教育資源-天天文庫。
1、CFPhotoCleaner設(shè)備簡介課程內(nèi)容課程目標(biāo)Cleaner機(jī)臺(tái)用途Layout機(jī)臺(tái)原理介紹4.Cleaner重要制程參數(shù)5.Defect分析學(xué)習(xí)Cleaner機(jī)臺(tái)構(gòu)造了解Cleaner制程參數(shù)掌握Cleaner功能用途W(wǎng)hyneedtocleanParticle殘留在玻璃基板上，會(huì)造成膜層的許多Defect，例如線路的Open/Short。Organic殘留在玻璃基板上，會(huì)降低成膜的貼合性。Cleaner通過化學(xué)或物理的方法去除玻璃基板表面的Particle和Organic，為良好成膜提供條件。Cleaner要去除的對(duì)象：Particle&O
2、rganicCleaner清潔對(duì)象清除玻璃基版上之有機(jī)物及微粒種類具體例洗浄方法附著粒子(Particle)金屬粉（Al、鐵、SUS等)Glass、樹脂磨耗粉塵、人體毛發(fā)、皮膚屑Brush、HPBJ、Shower有機(jī)污染物油脂成分、指紋、光阻殘?jiān)?、空氣中有機(jī)物洗剤殘?jiān)磩圲VLamp無機(jī)污染物GAS、管路中的金屬化合物純水、薬液中的不純物超純水化學(xué)的洗浄液陣列彩膜成盒模組LoadCLNCoaterHPCPAlignerDEVOVENUnload設(shè)備LayoutINCVDUVbrushB/JzoneF/RzoneA/KzoneOUTCVISOzone設(shè)
3、備構(gòu)成設(shè)備構(gòu)成單元INCV(氣缸Tilt)BufferCV1DUVBufferCV2ISO(分隔干濕段)DIWRB*4ShowerBJHPFRAK風(fēng)刀干燥部BufferCV3OUTCV(氣缸Tilt)機(jī)架電氣控制2021/8/7Cleaner洗凈流程INCVDUVBrushShowerHPBJFR+AKOutCVBrush使用位置水洗凈用二流體或高壓水柱吹干玻璃用風(fēng)刀最主要去除Particle單元玻璃入口玻璃出口DUVUnit:使用DUV將玻璃表面的有機(jī)物分解。選配的UnitBrushUnit:使用Nylon毛刷，去除玻璃表面Particle(>5u
4、m)ShowerUnit:噴水水洗，用以去除前段Brush刷起的Particle二流體Unit:二流體Shower，去除小Particle(<5um)FR+AKUnit:AK吹干玻璃玻璃出口，玻璃傾斜?水平玻璃入口，玻璃水平?傾斜DownOnUpOnCleaner-玻璃流程1.CV進(jìn)片3.DUV處理4.Brush清洗5.BJ清洗7.A/K吹干8.CV出片四角檢知3X3mmDownOnUpOn2.Tilting使基板傾斜5°9.Tilting將基板放平6.HP清洗玻璃傾斜，有助于清洗時(shí)的Particle沖除，以及AK的乾燥能力IN/OUTCVRolle
5、r成千島排列，起Glass進(jìn)/出cleaner傳送作用OUTCV上面的FFU，起到凈化空氣的作用。設(shè)備構(gòu)造2021/8/7消散性Roller＋＋＋＋＋＋＋＋＋＋＋Tilting設(shè)計(jì)設(shè)備構(gòu)造DUVZONE:去除有機(jī)物污染DUV高壓（7kv~12kv）電離N2和O2，氧化清除基板表面有機(jī)物，生成無機(jī)物CO,CO2和H2OEUV波長=172nmDUV波長=185nm,254nmUV光各波長釋放能量185nm=647KJ/mol254nm=472KJ/mol172nm=790KJ/molCF涂布使用PhotoResist為C,H,O有機(jī)化合物鍵結(jié)，DUV光波
6、長185、254nm，釋放出能量主要為647,472KJ/molEUV172nm為短波長釋放出能量790KJ/mol較高，可能打斷C與C之間的三個(gè)鍵結(jié)，造成對(duì)CF光阻C,H,O鍵結(jié)破壞而造成PeelingRiskcontrolitem-UV波長與能量建議使用DUVDUV影響因素—接觸角接觸角定義：指在固、液、氣三相交界處，自“液－固”界面，經(jīng)液體內(nèi)部，到達(dá)“氣－液”界面的夾角，常用θ表示，是顯示固體表面濕度的尺度紫外光功率在90%~100%時(shí)接觸角不變。紫光下降到80%時(shí)，接觸角變大當(dāng)基板表面接觸角小于90°時(shí)表現(xiàn)為親液表面，此時(shí)液體容易附著，而當(dāng)接
7、觸角大于90°時(shí)表現(xiàn)為憎液表面，此時(shí)液體容易脫落。θ液相固相氣相接觸角接觸角示意圖2片式CouplingRollBrush構(gòu)造BrushZONE:去除大尺寸粒徑的particle(>5um）毛刷有UP、DOWN方向，分別用于調(diào)節(jié)兩對(duì)毛刷的間距，在工作過程中，會(huì)保持對(duì)玻璃基板一定的壓入量，壓入量范圍：刷輪機(jī)械可調(diào)距離Passline±3mm(非基板傳送中)自動(dòng)可調(diào)。毛刷的材料是尼龍612，雙螺旋式，抗倒毛性較好，清潔效果好。刷輪的轉(zhuǎn)速為60~550rpm，可根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行調(diào)節(jié)。另外，減小毛刷的線徑，有利于維持減小摩擦，從而維持搬送的穩(wěn)定性，且清洗能力
8、也得到提高。RollBrush的旋轉(zhuǎn)方向如圖反相對(duì)刷，目的在于：1.上下、左右對(duì)刷，使基板受力均勻，不至于滑
