氣浮式隔振光學(xué)平技術(shù)要求

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1、氣浮式隔振光學(xué)平臺(tái)技術(shù)要求一、設(shè)計(jì)指標(biāo):●隔振系統(tǒng)整體內(nèi)容包括隔振平臺(tái)主體鋼平臺(tái)、隔振支撐系統(tǒng)、氣動(dòng)控制系統(tǒng)和空氣源四大部分，總高800mm，其中臺(tái)板尺寸為：長(zhǎng)2400mm×寬1200mm×厚200mm，平臺(tái)總重量約為500kg，高度為600mm；●隔振系統(tǒng)（隔振器）固有頻率：1~2HZ（需附出廠檢測(cè)報(bào)告）●臺(tái)板整體表面平面度：；●臺(tái)板表面粗糙度：；●隔振效率：5~10Hz：隔振效率：>78~94%，10~20Hz：隔振效率：>94~97%，>20Hz：隔振效率：>97%；●系統(tǒng)調(diào)平方式：自動(dòng)調(diào)節(jié)；●

2、隔振支撐工作壓力：0.2～0.6Mpa；●平臺(tái)表面布有標(biāo)準(zhǔn)公制螺紋孔，孔距為25mm×25mm均布陣列，孔中心距邊37.5mm，表面密迪紋拋亞光處理；二、設(shè)計(jì)方案:蜂窩結(jié)構(gòu)隔振內(nèi)芯超導(dǎo)磁隔振平臺(tái)面板，臺(tái)板強(qiáng)度高，穩(wěn)定可靠；隔振器采用超薄復(fù)合材料氣囊、帶附加擴(kuò)散口的多小孔準(zhǔn)層流阻尼技術(shù)，隔振性能良好,系統(tǒng)穩(wěn)定。自動(dòng)水平，自動(dòng)充氣，關(guān)鍵氣動(dòng)執(zhí)行元件需采用德國(guó)FEST0產(chǎn)品，配套無油空氣壓縮機(jī)氣源、噪聲低。三、應(yīng)用領(lǐng)域要求：顯微鏡、醫(yī)療生物光路測(cè)試、光學(xué)測(cè)量激光掃描、激光干涉光譜實(shí)驗(yàn)、精密檢測(cè)集成電子對(duì)振動(dòng)

3、要求非常高的儀器設(shè)備四、臺(tái)板參數(shù)要求：1、設(shè)計(jì)參數(shù)：（1）平臺(tái)臺(tái)板外形尺寸：長(zhǎng)2400mm×寬1200mm×厚200mm；（2）平臺(tái)工作面精度：平面粗糙度優(yōu)于，整體平面度為；（3）平臺(tái)表面布有標(biāo)準(zhǔn)公制螺紋孔，孔距為25mm×25mm均布陣列，面板厚度為5mm，邊排螺紋孔中心距邊37.5mm，表面密迪紋拋亞光處理；（4）平臺(tái)臺(tái)板自重約為500kg；（5）平臺(tái)內(nèi)部為蜂窩結(jié)構(gòu)；2、臺(tái)板結(jié)構(gòu)：（1）光學(xué)平臺(tái)臺(tái)板分為六部分組裝粘接而成，分別由面板（δ5mm高導(dǎo)磁性不銹鋼板430）、底板（δ4mm鋼板Q235A）

4、、內(nèi)芯蜂窩芯板、邊框板、密封漏斗板、裝飾鋁塑板組成。內(nèi)芯蜂窩芯板采用的是梯形鍍鋁鋅鋼板以及加強(qiáng)鍍鋁鋅鋼板相互対粘，梯形鍍鋁鋅鋼板內(nèi)部沖壓凹槽，比傳統(tǒng)梯形薄鋼板強(qiáng)度大，進(jìn)一步提高內(nèi)芯蜂窩芯板的強(qiáng)度，此結(jié)構(gòu)能在降低芯板質(zhì)量的情況下使剛度最大化，該產(chǎn)品具有強(qiáng)度高、局部形變小、應(yīng)力小、質(zhì)量輕等優(yōu)點(diǎn)。采用蜂窩芯結(jié)構(gòu)，筋板較薄且之間的距離較短，單元網(wǎng)格尺寸較小，各方向的強(qiáng)度較高，抗彎強(qiáng)度、抗拉抗壓強(qiáng)度和抗扭強(qiáng)度均優(yōu)于傳統(tǒng)網(wǎng)格式井字形焊接結(jié)構(gòu)。整個(gè)蜂窩芯內(nèi)芯采用粘接工藝，材料本身無應(yīng)力產(chǎn)生，相比焊接結(jié)構(gòu)產(chǎn)生的焊接應(yīng)

5、力可忽略。（2）平臺(tái)平面及水平精度分析平臺(tái)臺(tái)面的平面一共經(jīng)過：粗刨、精刨、粗磨、精磨、振動(dòng)研磨5道工序加工，確保其平面粗糙度優(yōu)于，平面度優(yōu)于；五、隔振器性能要求:1、平臺(tái)支撐性能要求：（1）、支撐原理：采用薄膜式橡膠空氣彈簧的原理設(shè)計(jì)。當(dāng)支撐充入額定的壓縮空氣時(shí)，支撐內(nèi)的橡膠空氣彈簧開始工作，支撐處于氣墊工作狀態(tài)。設(shè)計(jì)時(shí)，需要充分考慮到支撐內(nèi)部上下氣室的容積比及兩氣室之間阻尼孔的大小關(guān)系，確保在普通環(huán)境下垂直方向隔振頻率低于2.0Hz，保證了支撐在額定工作氣壓下很好的隔振效果和承載能力。（2）、氣路要

6、求：根據(jù)三點(diǎn)確定平面的原理，將所有支撐的粗分為三條支路，每條支路的壓縮空氣通過頂桿控制的氣動(dòng)閥通向各個(gè)支撐，氣動(dòng)閥敏感，反應(yīng)時(shí)間為20ms，以保證由所有支撐及平臺(tái)組成的隔振系統(tǒng)的自調(diào)節(jié)穩(wěn)定性能。氣路分配點(diǎn)示意圖：氣動(dòng)控制系統(tǒng)：（3）、支撐系統(tǒng)及構(gòu)成：光學(xué)平臺(tái)需采用固體阻尼和氣墊隔振，支撐結(jié)構(gòu)如圖：需要有專門設(shè)計(jì)的阻尼隔振墊。利用金屬切片對(duì)柔性橡膠的剪切作用，有效轉(zhuǎn)換中高頻率振動(dòng)能量，對(duì)環(huán)境振動(dòng)分級(jí)隔離。高阻尼橡膠材料是通過天然橡膠中摻入石墨得到，并且可以根據(jù)石墨的摻入量調(diào)節(jié)材料的阻尼特性。應(yīng)具有以下特

7、點(diǎn)：a、抗劣化性能好。b、既起到隔震作用，又起到阻尼的作用。c、阻尼可根據(jù)設(shè)計(jì)需要合理選用（4）、隔振控制及構(gòu)成光學(xué)平臺(tái)隔振系統(tǒng)包括：氣墊隔振器、精密位移控制閥、阻尼隔振墊、氣動(dòng)控制系統(tǒng)、控制柜、電氣控制系統(tǒng)、氣源。（5）、氣墊隔振器構(gòu)成：a、需采用國(guó)外的膜片氣囊技術(shù)，特制多層復(fù)合橡膠b、垂直方向阻尼，變徑小孔空氣阻尼c、水平方向阻尼，硅油及自定心阻尼d、高低壓雙氣室e、防爆裝置，高強(qiáng)度復(fù)合橡膠（6）、性能指標(biāo)a、額定載荷200KGb、垂直固有頻率不大于2.0Hzc、阻尼比為0.1左右2、精密位移控制

8、閥（1）選擇位置a、三點(diǎn)控制分布b、中央供氣系統(tǒng)，儲(chǔ)氣容積大（2）性能指標(biāo)a、重復(fù)定位精度±0.10㎜b、地面瞬間激振恢復(fù)時(shí)間6秒3、阻尼隔振墊（1）構(gòu)成a、天然橡膠，耐疲勞強(qiáng)度大b、金屬切片，多位排列（2）性能指標(biāo)10Hz55%～76%20Hz60%～86%4、氣墊控制系統(tǒng)（1）構(gòu)成(均為德國(guó)FESTO產(chǎn)品)a、空氣濾清器b、壓力控制閥c、分配閥d、壓力表e、進(jìn)氣電磁控制閥f、排氣電磁控制閥g、氣控閥h、壓差阻尼閥（2）性能指標(biāo)a、過濾精度4μmb、壓