太陽能電池-前清洗rena制絨工藝指導(dǎo)書

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1、RENA制絨工藝操作規(guī)程21序言為更好地保證Schmid制絨機(jī)的生產(chǎn)正常進(jìn)行，穩(wěn)定生產(chǎn)工藝，提高制絨工序產(chǎn)品質(zhì)量，進(jìn)一步保證電池產(chǎn)品性能，特制定本作業(yè)指導(dǎo)書，以使操作人員的工藝操作有章可循，規(guī)范統(tǒng)一，同時(shí)，還為新員工的上崗培訓(xùn)提供教材參考。21目錄一、工藝目的二、使用范圍三、責(zé)任四、設(shè)備及工具五、工藝原料及工藝要求六、工藝描述1、工藝原理2、制絨工藝流程3、工藝方案4、注意事項(xiàng)七、工藝準(zhǔn)備八、工藝操作九、測(cè)試及檢查十、安全操作附件1積分球絨面反射率測(cè)試儀操作說明21制絨工藝操作規(guī)程1、工藝目的：　制絨工藝就是利用線鋸切割時(shí)在硅片表面形

2、成的損傷層及硅片表面的缺陷，通過硝酸與氫氟酸的混合溶液對(duì)硅片表面進(jìn)行化學(xué)腐蝕。使硅片在微觀上形成高低不平的表面，增加電池片表面的受光面積，降低反射率，從而提高太陽電池的轉(zhuǎn)換效率。2、設(shè)備及工具：SCHIMID制絨機(jī)、電子天平、PVC手套、口罩、防護(hù)服、防護(hù)眼罩、防護(hù)套袖、橡膠手套、防酸堿膠鞋、methrohm濃度分析儀、D8絨面反射儀。3、適用范圍：　電池車間制絨工序SCHIMID制絨設(shè)備4、職責(zé)：本工藝操作規(guī)程由工藝工程師負(fù)責(zé)制訂、修改、解釋5、工藝原料及工藝要求：合格的多晶硅片、HNO3（65%、電子級(jí)）、HF（49%、電子級(jí)）、

3、KOH（50%、電子級(jí)）、HCl（37%、電子級(jí)）、DI水（大于15MΩ·cm、6bar）、冷卻水（4bar）、壓縮空氣（6bar，除油、除水、除粉塵）、排風(fēng)（0.01bar）、環(huán)境溫度20℃～30℃、相對(duì)濕度40％～65％。6、工藝描述：6.1、工藝原理：SCHIMID制絨工藝主要包括三部分：硝酸與氫氟酸混合液腐蝕→氫氧化鉀腐蝕→鹽酸與氫氟酸混合溶液清洗　　在制絨過程中，首先是硝酸與硅在損傷層與缺陷處發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，形成氧化硅，然后氫氟酸與氧化硅反應(yīng)生成硅的絡(luò)合物（H2SiF6）與水，這樣去損傷層與制絨同時(shí)進(jìn)行，從而縮短了工藝流程。制

4、絨之后的硅片經(jīng)過KOH溶液去除硅片表面的多孔硅以及中和腐蝕槽中未清洗干凈的酸液，再經(jīng)過DI水沖洗去掉表面殘留的堿液。最后利用21HF與HCl的混合溶液除去硅片表面的各種金屬離子等雜質(zhì)，并用DI水沖洗酸性表面，最后用壓縮空氣將硅片表面吹干。制絨過程的反應(yīng)方程式如下：1)Si+4HNO3=SiO2+4NO2+2H2O2)SiO2+4HF=SiF4+2H2O3)SiF4+2HF=H2SiF66.2、工藝流程：上料→HNO3、HF制絨→風(fēng)刀1→沖洗1→KOH腐蝕→沖洗2→HF、HCl清洗→沖洗3→熱風(fēng)吹干→下料7、注意事項(xiàng)：7.1、腐蝕槽的腐

5、蝕速率會(huì)隨著硅片清洗量的增加而改變，新?lián)Q的藥液反應(yīng)速度慢，因此需要降低帶速，平均腐蝕深度的目標(biāo)值為3.6μm-4.8μm（由于設(shè)備差異，以及調(diào)試初期的工藝變化會(huì)做相應(yīng)調(diào)整），平均腐蝕量超出目標(biāo)值應(yīng)該進(jìn)行工藝調(diào)整，合格品范圍單片值3.0μm-5.0μm，超出此范圍應(yīng)停產(chǎn)調(diào)試。新更換的藥液通過調(diào)整帶速1.4-2.0m/min以保證腐蝕深度在規(guī)定范圍內(nèi)，調(diào)整過程中的稱量記錄要做上備注，當(dāng)腐蝕速度穩(wěn)定后每隔一個(gè)小時(shí)測(cè)量一次腐蝕深度。當(dāng)腐蝕深度偏離規(guī)定時(shí)最好不要更改溶液濃度、溶液比例，因?yàn)闈舛?、比例發(fā)生改變腐蝕速度也隨之發(fā)生變化，導(dǎo)致腐蝕后硅片

6、表面微觀結(jié)構(gòu)發(fā)生改變。溫度調(diào)整控制在20oC以下。7.2、腐蝕槽的自動(dòng)補(bǔ)液量的設(shè)定應(yīng)保證每個(gè)班組的手動(dòng)補(bǔ)液次數(shù)不大于1次，當(dāng)進(jìn)行調(diào)整后需做相應(yīng)的記錄包括：時(shí)間、原因、更改值、技術(shù)員簽名。7.3、制冷機(jī)上制冷劑的電導(dǎo)率要維持在500us左右，因?yàn)槿绻妼?dǎo)率不在此范圍內(nèi)，會(huì)導(dǎo)致制冷機(jī)制冷量不足或者過高，造成制冷劑冰凍等其他問題的發(fā)生，不利于工藝、設(shè)備的穩(wěn)定。8、工藝準(zhǔn)備8.1、工藝潔凈管理：操作時(shí)需戴口罩、潔凈手套，并保持室內(nèi)正壓，嚴(yán)禁隨便開啟門窗，以保持室內(nèi)潔凈度。8.2、設(shè)備準(zhǔn)備:確認(rèn)設(shè)備能正常運(yùn)行，工藝溫度、冷卻水、壓縮空氣等壓力及

7、流量正常。8.3、原材料準(zhǔn)備:硅片需經(jīng)抽檢合格后方可投入，將不合格硅片挑揀出來。常見的不合格片包括：崩邊、缺角、裂紋、鋸痕、手印、孔洞、微晶、含氮化硅的硅片等。218.4、工裝工具準(zhǔn)備：備齊用于工藝生產(chǎn)的PVC手套、口罩、防護(hù)眼罩、防護(hù)面罩、防護(hù)套袖、防護(hù)服、防酸堿手套、防酸堿膠鞋等。8.5、工藝準(zhǔn)備：確認(rèn)設(shè)定的制絨工藝名稱及參數(shù)正確無誤。9、工藝操作：9.1、在工藝準(zhǔn)備完成后，選擇正確的工藝方案，點(diǎn)擊開始進(jìn)入自動(dòng)運(yùn)行模式。9.2、自動(dòng)裝載操作：硅片的自動(dòng)裝載速度不得大于Schmid設(shè)備主體的傳輸速度，以保證在裝載區(qū)不會(huì)出現(xiàn)疊片現(xiàn)象。

8、9.3、自動(dòng)卸載操作：操作人員務(wù)必仔細(xì)看護(hù)好硅片的傳輸，保證各個(gè)硅片傳入載片盒的正確位置，用肉眼觀察硅片上下表面的絨面效果，發(fā)現(xiàn)絨面不明顯或制絨面黑色印記較多時(shí)應(yīng)及時(shí)反映給當(dāng)班工藝人員進(jìn)行調(diào)整。9.4、取片時(shí)要隨時(shí)將碎片