資源描述：
《海德漢直線光柵尺技術參數(heidenhain)》由會員上傳分享，免費在線閱讀，更多相關內容在學術論文-天天文庫。
1、敞開式直線光柵尺2007年5月敞開式直線光柵尺直線光柵尺測量直線軸位置時不存在任何敞開式直線光柵尺設計用于需要高精度測機械結構附加的機械傳動元件。因此，它能消除以量的機床和系統(tǒng)。典型應用包括：敞開式直線光柵尺包括光柵尺或鋼帶光柵下潛在誤差源：?半導體工業(yè)的測量和生產設備尺和掃描頭，光柵尺和掃描頭間無機械?PCB電路板組裝機接觸。?由于滾珠絲杠溫度特性導致的位置誤差?超精密機床，例如加工光學元件的金剛?反向誤差石刀具車床，加工磁盤的端面車床和加敞開式直線光柵尺的長光柵直接固定在安?滾珠絲杠螺距誤差導致的運動特性誤差工鐵氧體元件的磨床裝面上。安裝面的平面度直接影響直線光
2、?高精度機床柵尺精度。因此，直線光柵尺已成為高精度定位和高?測量機和比較儀，測量顯微鏡和其它精速加工不可或缺的必備條件。密測量設備?直接驅動其它樣本還有?帶內置軸承角度編碼器?無內置軸承角度編碼器本樣本是以前樣本的替代版，所有以前?旋轉編碼器版本均不再有效。訂購HEIDENHAIN公?伺服驅動用編碼器司的產品僅以訂購時有效的樣本為準。?NC數控機床用直線光柵尺?接口電子設備有關相應的適用標準（ISO，EN等），?HEIDENHAIN數控系統(tǒng)請見樣本中的特別標注。歡迎索取，或訪問www.heidenhain.com.cn。目錄概要敞開式直線光柵尺2選型指南4技術特點測
3、量原理測量基準6增量測量法7光電掃描8測量精度10可靠性12機械結構類型和裝配14一般機械信息17技術參數高精度LIP300系列18LIP400系列20LIP500系列22LIF400系列24高速運動應用LIDA4x3系列26LIDA4x5系列28LIDA4x7系列30LIDA200系列32安裝空間有限應用LIDA500系列34二維測量PP系列36電氣連接接口增量信號?1VPP38增量信號?TTL40限位開關42位置檢測43電氣連接44信號處理電子設備45連接件和電纜46一般電氣技術參數48HEIDENHAIN測量和測試設備50選型指南截面精度等級信號周期1)LIP
4、系列敞開式直線光柵尺測量步距小、精LIP系列超高精度光柵尺±0.5μm0.128μm度高和重復性好。它采用玻璃陶瓷或玻璃?玻璃陶瓷或玻璃光柵尺（可按需提供更高精度等級）基體的DIADUR相位光柵作測量基準。?干涉掃描，信號周期小±1μm2μmLIP4x1R±0.5μm（可按需提供更高精度等級）±1μm4μmLIF系列敞開式直線光柵尺采用玻璃基體的LIF系列高精度光柵尺±3μm4μmDIADUR或SUPRDAUR光柵作測量基準。?帶PRECIMET粘膜膠帶它具有精度高和重復性好特點，并且安裝?干涉掃描，信號周期小非常容易。?限位開關和回零軌LIDA系列直線光柵尺非常適
5、用于運動速度LIDA系列可選不同熱膨脹系數的基體±5μm20μm達10m/s的高速運動應用，它還支持多種?支持用不同的光柵尺基體選擇線性（可按需提供更高精度等安裝方式。根據不用應用要求，熱膨脹系數級）AURODUR或METALLUR光柵的基體可為?限位開關鋼帶，玻璃或玻璃陶瓷。LIDA系列用于高速運動和大測量范圍±5μm20μm?鋼帶光柵尺穿入在鋁殼中或粘貼在安裝面上。?LIDA400型帶限位開關±15μm20μm±30μm200μm±30μm200μmLIDA系列光柵尺用于狹小安裝空間±5μm20μm?小型掃描頭小?安裝簡單P
6、P系列雙坐標光柵尺采用平面二維相位光PP系列二維光柵尺±2μm4μm柵作測量基準，是玻璃基體的DIADUR光?二維共同掃描點柵。因此它能測量平面中的位置。?干涉掃描，信號周期小1)正弦信號周期。它決定一個信號周期內的偏差（參見“測量精度”）。4測量長度基體和安裝方式接口型號頁概要概要70mm至Zerodur玻璃陶瓷基?TTLLIP37218270mm體，嵌入在螺栓固定的不脹鋼基座上?1VPPLIP382LIP38210mm至Zerodur玻璃陶瓷或玻?TTLLIP47120420mm璃基體，通過螺栓固定在安裝架上?1VPPLIP48170mm至玻璃光柵尺，通過螺?T
7、TLLIP57122LIP5811440mm栓固定在安裝架上?1VPPLIP58170mm至玻璃光柵尺，通過?TTLLIF471241020mmPRECIMET粘膜固定?1VPPLIF481LIF481240mm至玻璃或玻璃陶瓷光柵?TTLLIDA473263040mm尺粘貼在安裝面上?1VPPLIDA483LIDA485140mm至鋼帶光柵尺，穿入在?TTLLIDA4752830040mm鋁殼中并預緊?1VPPLIDA485240mm至鋼帶光柵尺，穿入在?TTLLIDA477306040mm鋁鋁殼中，中間固定LIDA279?1VPPLIDA487最大至鋼帶光柵
