電子廠良率改善報告

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1、為了適應(yīng)公司新戰(zhàn)略的發(fā)展，保障停車場安保新項(xiàng)目的正常、順利開展，特制定安保從業(yè)人員的業(yè)務(wù)技能及個人素質(zhì)的培訓(xùn)計(jì)劃電子廠良率改善報告　　改善Fab良率的最佳方案　　本文介紹LSILogic采用最佳的設(shè)備控制方法，采用新的數(shù)據(jù)系統(tǒng)來改進(jìn)其晶圓廠的設(shè)備顆粒缺陷控制。這種方法調(diào)研了設(shè)備缺陷驗(yàn)收的整個企業(yè)過程，建立了一個新的數(shù)據(jù)系統(tǒng)構(gòu)造來支持所有人在這方面的努力。這種新的數(shù)據(jù)系統(tǒng)叫作YieldDRIVER，它意味著通過設(shè)備的明顯改進(jìn)而實(shí)現(xiàn)缺陷的降低?！　×悸屎汀　C制造工廠利潤率中最高的兩個杠桿因素是芯片的良率和設(shè)備的生產(chǎn)率。對以上兩

2、者都非常關(guān)鍵的是如圖1所示的簡單的設(shè)備顆粒驗(yàn)收檢測。檢測顆粒是為了保證產(chǎn)品在交付之前工藝設(shè)備不會產(chǎn)生降低良率的缺陷檢測當(dāng)步工藝前后點(diǎn)檢片上顆粒的數(shù)量，來計(jì)算增加的缺陷　　數(shù)量?！　∠癜雽?dǎo)體制造中的許多其他動向一樣，器件幾何尺寸和運(yùn)轉(zhuǎn)晶圓廠費(fèi)用的無情壓縮，都在推動設(shè)備顆粒特性的改善和更緊的控制。結(jié)果之一便是如何進(jìn)行缺陷檢測的確切細(xì)節(jié)已經(jīng)變得非常關(guān)鍵，同時這個過程還要足夠簡單，使操作人員能夠每天來進(jìn)行。目的-通過該培訓(xùn)員工可對保安行業(yè)有初步了解，并感受到安保行業(yè)的發(fā)展的巨大潛力，可提升其的專業(yè)水平，并確保其在這個行業(yè)的安全感。為了

3、適應(yīng)公司新戰(zhàn)略的發(fā)展，保障停車場安保新項(xiàng)目的正常、順利開展，特制定安保從業(yè)人員的業(yè)務(wù)技能及個人素質(zhì)的培訓(xùn)計(jì)劃　　XX年，在LSI的Gresham晶圓廠里，出于新技術(shù)導(dǎo)入和良率經(jīng)濟(jì)效益的考量，要求設(shè)備的顆粒水平降低50%。并且這種改善要在現(xiàn)有設(shè)備的基礎(chǔ)上實(shí)現(xiàn)，要避免基建投資，改善總體的設(shè)備利用率而不增加成本。更換舊的工藝設(shè)備、購買更先進(jìn)的顆粒檢測設(shè)備不作為選項(xiàng)。授權(quán)一個工廠范圍內(nèi)的缺陷控制職能交叉小組來完成這個任務(wù)?！　〗档腿毕莸耐緩健　∵@個缺陷控制小組決定首先來分析整個工廠范圍內(nèi)現(xiàn)存的設(shè)備缺陷控制方法，以發(fā)現(xiàn)改進(jìn)的機(jī)會。分析的

4、主要發(fā)現(xiàn)是：　　●許多非常好的顆粒管理實(shí)例已經(jīng)在使用之中?！　　袢毕轀y量和計(jì)算的已知最佳方案并沒有在所有的測試中都貫徹實(shí)施?！袢毕轀y量和控制的BKMs并沒有在所有的設(shè)備中都貫徹實(shí)施?！　　窬A廠中的人并不是均等地?fù)碛腥毕轀y量和結(jié)果分析的能力?！　　窠?jīng)理們對于自己負(fù)責(zé)的設(shè)備，僅僅報告檢測、維持缺陷性能的狀況是不夠的?！袢毕輸?shù)據(jù)系統(tǒng)主要是針對工程分析，而不是針對生產(chǎn)缺陷控制而設(shè)計(jì)?！　『喍灾?，人們發(fā)現(xiàn)缺陷控制的知識和財富已經(jīng)存在于這個組織中，但是并沒有把這些知識均衡地應(yīng)用，在做一件事情時沒有把所有的已知最佳方案結(jié)合起來。目的-通

5、過該培訓(xùn)員工可對保安行業(yè)有初步了解，并感受到安保行業(yè)的發(fā)展的巨大潛力，可提升其的專業(yè)水平，并確保其在這個行業(yè)的安全感。為了適應(yīng)公司新戰(zhàn)略的發(fā)展，保障停車場安保新項(xiàng)目的正常、順利開展，特制定安保從業(yè)人員的業(yè)務(wù)技能及個人素質(zhì)的培訓(xùn)計(jì)劃　　這個缺陷控制小組認(rèn)為：要完成缺陷降低的任務(wù)，最有效的方法，就是推動迅速徹底得在所有工藝中實(shí)施已經(jīng)存在的最佳實(shí)踐案例，同時提供一個基礎(chǔ)來支持高效、一致地運(yùn)用這些案例?！　∪绻荁KM，那為什么不采用呢？　　小組第一步是鑒別和記錄缺陷控制的BKMs。在回顧這些最佳個案時發(fā)現(xiàn)，似乎一些步驟，由于組織上

6、、程序上或者基礎(chǔ)上的原因，很難實(shí)施或者不能在所有情況下實(shí)施?！　∪藗兘?jīng)常說：大部分問題的起因是缺乏溝通。這對于設(shè)備缺陷的控制過程的確是正確的。用如圖2所示的工作流程方塊圖很容易描繪出這種情形?！　》椒?、系統(tǒng)基礎(chǔ)和組織現(xiàn)實(shí)，存在于相互關(guān)聯(lián)但又相互隔離的平面內(nèi)。要取得成功，設(shè)備缺陷控制過程必須在這所有三個維度上都采取措施。比如，顆粒監(jiān)控的第一步，可能要求刻蝕操作工通過追蹤制造執(zhí)行系統(tǒng)中的點(diǎn)檢片，來遵循設(shè)備驗(yàn)收的規(guī)范，但是下一步可能要求良率操作工通過使用缺陷分析軟件來遵循分析規(guī)范。顆粒監(jiān)控的實(shí)際工作應(yīng)該是完美地貫穿于所有這三個方面。

7、如果任何一個方面的要求沒有達(dá)到，那么這種方法就崩潰了，導(dǎo)致低效率的、重復(fù)性的過程，或者這種方法的使用不足。為了改進(jìn)設(shè)備缺陷的控制實(shí)踐，這個小組不得不考慮整個工作流程空間。重大的組織變更超出了這個小組的職權(quán)范圍，但是方法卻必須要遵循已知的最佳案例。這意味著，系統(tǒng)基目的-通過該培訓(xùn)員工可對保安行業(yè)有初步了解，并感受到安保行業(yè)的發(fā)展的巨大潛力，可提升其的專業(yè)水平，并確保其在這個行業(yè)的安全感。為了適應(yīng)公司新戰(zhàn)略的發(fā)展，保障停車場安保新項(xiàng)目的正常、順利開展，特制定安保從業(yè)人員的業(yè)務(wù)技能及個人素質(zhì)的培訓(xùn)計(jì)劃　　礎(chǔ)必須做出調(diào)整來提供一個充滿

8、活力的工作流程。　　組織方面　　這個Fab的組織架構(gòu)是一個工藝區(qū)域和職責(zé)紀(jì)律相交的矩陣，這是很多晶圓廠的典型情況。這個組織的實(shí)際情況是，其基礎(chǔ)架構(gòu)不能提供報告和數(shù)據(jù)總結(jié)，以便及時提醒fab中各個獨(dú)立區(qū)域中負(fù)責(zé)各種紀(jì)律的經(jīng)理們，以及負(fù)責(zé)特定區(qū)域的生產(chǎn)主管們?！　』A(chǔ)架構(gòu)必須支持