電容式傳感器

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1、課題第四章電容式傳感器第一節(jié) 電容式傳感器的基本概念及主要特點(diǎn)第二節(jié) 電容式傳感器的工作原理及結(jié)構(gòu)形式課型新課授課班級授課時(shí)數(shù)2教學(xué)目標(biāo)1.理解電容式傳感器的基本概念和特點(diǎn)。2.掌握電容式傳感器的工作原理及結(jié)構(gòu)形式。教學(xué)重點(diǎn)1.電容式傳感器的基本概念。2.電容式傳感器的工作原理及3種結(jié)構(gòu)形式。教學(xué)難點(diǎn)三種類型電容式傳感器的電容變化量計(jì)算。學(xué)情分析教學(xué)效果教后記11新授課A、復(fù)習(xí)電阻式傳感器。B、新授課第一節(jié) 電容式傳感器的基本概念及主要特點(diǎn)一、基本概念電容式傳感器是以不同類型的電容器作為傳感元件,并通過電容傳感元件把被測物理

2、量的變化轉(zhuǎn)換成電容量的變化,然后再經(jīng)轉(zhuǎn)換電路轉(zhuǎn)換成電壓、電流或頻率等信號輸出的測量裝置。二、主要特點(diǎn)①結(jié)構(gòu)簡單,易于制造。②功率小、阻抗高、輸出信號強(qiáng)。③動態(tài)特性良好。④受本身發(fā)熱影響小。⑤可獲得比較大的相對變化量。⑥能在比較惡劣的環(huán)境中工作。⑦可進(jìn)行非接觸式測量。⑧電容式傳感器的不足之處。主要是寄生電容影響比較大;輸出阻抗比較高,負(fù)載能力相對比較大;輸出為非線性。第二節(jié)電容式傳感器的工作原理及結(jié)構(gòu)形式一、工作原理電容式傳感器的工作原理可以從圖4-1所示的平板式電容器中得到說明。由物理學(xué)可知,由兩平行極板所組成的電容器,如果

3、不考慮邊緣效應(yīng),其電容量為圖4-1平板式電容器式中,A——兩極板相互遮蓋的面積(mm2)d——兩極板之間的距離(mm)ε——兩極板間介質(zhì)的介電常數(shù)(F/m)由以上計(jì)算公式可見,當(dāng)被測量使A,δ,ε三個(gè)參數(shù)中任何一項(xiàng)發(fā)生變化時(shí),電容量就要隨之發(fā)生變化。二、結(jié)構(gòu)形式1.變面積(A)型電容式傳感器變面積型電容傳感器的結(jié)構(gòu)原理如圖4-2所示。圖中(a)、(b)為單邊式,(c)為差分式;(a)、(b(提問)(與電阻是對比介紹)(簡要分析原因)(講解)11)也可做成差分式。圖中1,3為固定板,2是與被測物相連的可動板,當(dāng)被測物體帶動可動

4、板2發(fā)生位移時(shí),就改變了可動板與固定板之間的相互遮蓋面積,并由此引起電容量C發(fā)生變化。對于如圖4–2(a)所示的平板式單邊直線位移式傳感器,若忽略邊緣效應(yīng),其電容變化量為4-2變面積型電容式傳感器結(jié)構(gòu)原理圖(a)單邊直線位移式(b)單邊角位移式(c)差分式式中,b——極板寬度a——極板起始遮蓋長度Δa——?jiǎng)訕O板位移量ε——兩極板間介質(zhì)的介電常數(shù)δ——兩極板間的距離C0——初始電容量這種平極單邊直線位移傳感器的靈敏度S為S=ΔC/dx=εb/δ=常數(shù)對于如圖4-2(b)所示的單邊角位移型傳感器,若忽略邊緣效應(yīng),則電容變化量為式

5、中,α——覆蓋面積對應(yīng)的中心角度r——極板半經(jīng)?α——?jiǎng)訕O板的角位移量這種單邊角位移式傳感器的靈敏度為式中,A0——電容器起始覆蓋面積θ——?jiǎng)影宓慕俏灰屏繉?shí)際應(yīng)用時(shí),為了提高電容式傳感器的靈敏度,減小非線性,常常把傳感器做成差分式,如圖4-2(c)所示。中間的極板2為動板,上、下兩塊(即板1和3)為定板。當(dāng)動板向上移動一個(gè)距離x后,上極距就要減少一個(gè)x,而下極距就要增加一個(gè)x,從而引起上、下電容變化。差接后的這種傳感器靈敏度可提高一倍。2.變極距(δ)型電容式傳感器圖4-3為變極距型電容式傳感器結(jié)構(gòu)原理圖。圖中1和3為固定極

6、板,2為可動極板(或相當(dāng)于可動極板的被測物),其位移由被測物體帶動。從圖4-3(a),(b)(講解)(講解)(區(qū)別三種變面積型電容式傳感器)11可看出,當(dāng)可動極板由被測物帶動向上移動(即δ減?。r(shí),電容值增大,反之電容值則減小。圖4-3變極距型電容式傳感器結(jié)構(gòu)原理圖(a)被測物與可動極板相連(b)被測物為可動極板(c)差分式設(shè)極板面積為A,初始距離為δ0,以空氣為介質(zhì)時(shí),電容量C0為C0=ε0A/δ0。當(dāng)間隙δ0減小Dδ變?yōu)棣臅r(shí)(設(shè)Dδ<<δ0),電容C0增加DC變?yōu)镃,即圖4-4C—d特性曲線圖電容C與間隙δ之間的變化特性

7、如圖4-4所示。電容式傳感器的靈敏度用S表示,其計(jì)算公式為在實(shí)際應(yīng)用時(shí),為了改善其非線性、提高靈敏度和減小外界的影響,通常采用圖4-3(c)所示的差分式結(jié)構(gòu)。這種差分式傳感器與非差分式的相比,靈敏度可提高一倍,并且非線性誤差可大大降低。差分式電容式傳感器的靈敏度計(jì)算公式為S(差)=DC/C=2?δ/δ。3.變介電常數(shù)(ε)型電容式傳感器變介電常數(shù)型電容式傳感器的結(jié)構(gòu)原理如圖4-5所示。其中圖(a)中的兩平行極板為固定板,極距為δ0,相對介電常數(shù)為εr2的電介質(zhì)以不同深度插入電容器中,從而改變了兩種介質(zhì)極板的覆蓋面積。于是傳感

8、器總的電容量C應(yīng)等于兩個(gè)電容C1和C2的并聯(lián)之和,即圖4-5變介電常數(shù)型電容式傳感器(講解)(講解)11(a)電介質(zhì)插入式(b)絕緣物位檢測式中,l0,b0——極板的長度和寬度l——第二種介質(zhì)進(jìn)入極板間的長度當(dāng)介質(zhì)1為空氣,l=0時(shí),傳感器的初始電容C0=ε0εrl0b0/δ0;當(dāng)介質(zhì)2進(jìn)

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