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1、DEKTAK150臺階儀海關報關設備說明***海關：我公司主要生產超高亮度發(fā)光二極管(LED)外延片和芯片，由于生產所需，需從美國臺階儀，型號：DEKTAK150其具體的用途、工作原理及使用說明如下：用途：主要應用于我司發(fā)光二極管外延片的薄膜厚度測量、表面形貌測量、應力測量和平整度等精密測量。工作原理和使用說明：DEKTAK150臺階儀主要應用于我司發(fā)光二極管外延片的不同薄膜生長層（如：GAN，SIC2，AU等）的厚度測量、表面形貌測量、應力測量和平整度等精密測量。其測量原理是采用觸針法接觸物體表面，通過紀錄探針在物體表面的垂直位移，并通過與同類物質層標準片的量測對比計算做精度校正及應力測量轉
2、換，從而達到測量物體表面臺階高度、粗糙度等物理參數(shù)的目的。其主要的技術指標：◆垂直分解能/測定范圍：0.1nm/6.5μm、1nm/65.5μm、8nm/524μm（選擇：1mm）◆觸壓：1～15mg（選擇：0.03～15ｍｇ）◆測定再現(xiàn)性（1σ）*：0.6nm以下◆測定距離：50μm～55mm◆測定時間：3～200秒◆最大采樣數(shù)：60,000◆測定臺移動距離：Ｘ：±50mm,Y：＋75mm、－25mm手動θ：360°手動◆測定臺直徑：150mm◆樣品觀察：視野0.67～4.29mm（514～80倍）色像分析攝像鏡頭◆O/S：WindowsXP（英語版）◆顯示器：17英寸液晶◆外形尺寸：293
3、(W)×510(D)×570mm(H)本體496(W)×674(D)×661mm(H)防風罩＊0.1μm測試片測定、放置震動７０μＧ以下由于LED各種外延層薄膜（GAN，GAAS，SIO2）對膜厚的精度要求有非常高的要求必須達到0.1nm/6.5μm、1nm/65.5μm、8nm/524μm精度要求，而目前國內尚未提供符合要求的設備。以下為國產表面輪廓測量儀的技術指標：2302型表面輪廓測量儀是一款高精度的大型綜合測量儀器，包括粗糙度測量系統(tǒng)、直接輪廓測量系統(tǒng)和形狀測量系統(tǒng)。它可以測量和評估粗糙度和直接輪廓參數(shù)，還可以測量角度、圓弧半徑、相互位置等形狀參數(shù)。B.主要技術指標：1、測量原理：觸針
4、法，電感傳感器2、驅動箱水平滑行范圍：100mm；3、驅動箱滑行速度：0.1,0.2,0.5,0.8,1mm/s；4、傳感器返回形式：手動，自動；5、基準導軌的直線性：1μm/任意40mm；6、驅動箱升降：滾動絲杠升降系統(tǒng)，機動升降，自動對準零位；7、立柱垂直測量高度： 粗糙度系統(tǒng)：300mm； 形狀系統(tǒng)：240mm;8、工作臺結構：500mm×620mm大理石平臺，雙T形槽；9、形狀測量系統(tǒng)：1)測量范圍：垂直4/20mm，水平100mm；2)測量精度：垂直0.3%，水平0.03%；3)垂直分辨力：0.25μm/4mm，1.25μm/20mm；4)水平分辨力：1μm；商編：90308200產
5、地：美國品牌：VEECO型號：DEKTAK150*********有限公司*****年**月**日
