砷化鎵基LED外延片外觀檢驗標(biāo)準(zhǔn)[1].pdf

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1、合肥彩虹藍(lán)光科技有限公司技術(shù)文件第1頁共7頁文件編號砷化鎵基LED外延片外觀文件名稱HL/DN-23-01-001-1.1檢驗標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品型號或材料代號工藝代號生效日期替代版本//1目的為了有效直觀判定外延片外觀等級，指導(dǎo)外延外觀檢驗作業(yè)，規(guī)范檢驗標(biāo)準(zhǔn)。2適用范圍適用于外延片入庫前的外觀檢驗。3使用工具鹵素?zé)?、PL及顯微鏡4作業(yè)內(nèi)容4.1檢驗方法先使用強光燈具下目視有無白點之后；在由50倍顯微鏡下，透過顯示屏觀察表面外觀(請參考顯微鏡操作手冊)。4.2檢驗頻度：外延全檢；品質(zhì)人員每爐抽四片，內(nèi)外圈各

2、兩片進行檢驗。4.3單片外觀判定標(biāo)準(zhǔn)4.3.1有效面積定義：除邊緣5mm外。4.3.2外延片外觀等級判定如下表所示，A等級為合格品，B等級為Y品，C等級為F品（報廢片,未符合A及B等級則判定為C等級）。更改標(biāo)記更改單編號更改員日期更改標(biāo)記更改單編號更改員日期擬編審核標(biāo)準(zhǔn)化批準(zhǔn)合肥彩虹藍(lán)光科技有限公司技術(shù)文件第2頁共7頁文件編號砷化鎵基LED外延片外觀文件名稱HL/DN-23-01-001-1.1檢驗標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品型號或材料代號工藝代號生效日期替代版本//外觀等級檢驗項目異常圖例AB白點白點顆數(shù)≤45<

3、白點顆數(shù)≤20(0.3mm<直徑≤1mm)A.<1個區(qū)段,A.>2個區(qū)域,其區(qū)域數(shù)量>40顆,數(shù)量20~40顆HillocksB.≦2個區(qū)段B.<3個區(qū)段其區(qū)域數(shù)量20~40顆數(shù)量>100顆Crosshatch無(不允許)*(mismatch)Rainbow無(不允許)*糙邊(邊緣發(fā)白)無(不允許)霧≤5mm表面發(fā)霧無(不允許)霧面但有反光<1/4wafer面積表面發(fā)灰無(不允許)(不允許)此Particle刮傷區(qū)域≤4刮傷、劃痕無(不允許)個區(qū)域Particle粉塵顆數(shù)(經(jīng)吹掃后)粉塵顆數(shù)(經(jīng)

4、吹掃后)<0.3mm<800<顆數(shù)≤160Mismatch無(不允許)(不允許)更改標(biāo)記更改單編號更改員日期更改標(biāo)記更改單編號更改員日期擬編審核標(biāo)準(zhǔn)化批準(zhǔn)合肥彩虹藍(lán)光科技有限公司技術(shù)文件第3頁共7頁文件編號砷化鎵基LED外延片外觀文件名稱HL/DN-23-01-001-1.1檢驗標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品型號或材料代號工藝代號生效日期替代版本//表面發(fā)青(黑)判定規(guī)則:外觀等級正常:外延片表面經(jīng)過傾斜不同角度目測時，發(fā)現(xiàn)發(fā)黑區(qū)域會有所變化，則判定表面正常。(如下圖示說明)外觀等級不正常:此外觀發(fā)生異常時則直接判定

5、為Y品1.外延片表面經(jīng)過傾斜不同角度目測時，發(fā)現(xiàn)發(fā)黑區(qū)域仍固定于原位，則判定表面異常。(如下圖示說明)2.外延片PL量測Wd相差大于10nm，則判定表面異常。(如下圖示說明)更改標(biāo)記更改單編號更改員日期更改標(biāo)記更改單編號更改員日期擬編審核標(biāo)準(zhǔn)化批準(zhǔn)合肥彩虹藍(lán)光科技有限公司技術(shù)文件第4頁共7頁文件編號砷化鎵基LED外延片外觀文件名稱HL/DN-23-01-001-1.1檢驗標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品型號或材料代號工藝代號生效日期替代版本//說明：1.particle數(shù)量判定說明:一個區(qū)段里面,單一個顯微鏡的屏幕上所

6、顯現(xiàn)的最大數(shù)量而非整個區(qū)域累加的數(shù)量范例說明圖一：2.hillocks數(shù)量判定說明:顯微鏡以10x10的倍率來檢測,檢測區(qū)域如下圖二所示(圖一)（圖二）更改標(biāo)記更改單編號更改員日期更改標(biāo)記更改單編號更改員日期擬編審核標(biāo)準(zhǔn)化批準(zhǔn)合肥彩虹藍(lán)光科技有限公司技術(shù)文件第5頁共7頁文件編號砷化鎵基LED外延片外觀文件名稱HL/DN-23-01-001-1.1檢驗標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品型號或材料代號工藝代號生效日期替代版本//3.Particle之目視判定如下圖：采與外延片表面目視夾角<30度所見之突起顆粒視為Partic

7、le更改標(biāo)記更改單編號更改員日期更改標(biāo)記更改單編號更改員日期擬編審核標(biāo)準(zhǔn)化批準(zhǔn)合肥彩虹藍(lán)光科技有限公司技術(shù)文件第6頁共7頁文件編號砷化鎵基LED外延片外觀文件名稱HL/DN-23-01-001-1.1檢驗標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品型號或材料代號工藝代號生效日期替代版本//2012/4/161.05相關(guān)文件文件編號文件名稱頁數(shù)備注6記錄記錄編號記錄名稱頁數(shù)備注更改標(biāo)記更改單編號更改員日期更改標(biāo)記更改單編號更改員日期擬編審核標(biāo)準(zhǔn)化批準(zhǔn)合肥彩虹藍(lán)光科技有限公司技術(shù)文件2附：文件履歷表文件編號版本文件名稱修訂原因擬編發(fā)布

8、爾日期頁數(shù)