砷化鎵基LED外延片外觀檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)[1].pdf

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1、合肥彩虹藍(lán)光科技有限公司技術(shù)文件第1頁(yè)共7頁(yè)文件編號(hào)砷化鎵基LED外延片外觀文件名稱(chēng)HL/DN-23-01-001-1.1檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品型號(hào)或材料代號(hào)工藝代號(hào)生效日期替代版本//1目的為了有效直觀判定外延片外觀等級(jí)，指導(dǎo)外延外觀檢驗(yàn)作業(yè)，規(guī)范檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)。2適用范圍適用于外延片入庫(kù)前的外觀檢驗(yàn)。3使用工具鹵素?zé)簟L及顯微鏡4作業(yè)內(nèi)容4.1檢驗(yàn)方法先使用強(qiáng)光燈具下目視有無(wú)白點(diǎn)之后；在由50倍顯微鏡下，透過(guò)顯示屏觀察表面外觀(請(qǐng)參考顯微鏡操作手冊(cè))。4.2檢驗(yàn)頻度：外延全檢；品質(zhì)人員每爐抽四片，內(nèi)外圈各

2、兩片進(jìn)行檢驗(yàn)。4.3單片外觀判定標(biāo)準(zhǔn)4.3.1有效面積定義：除邊緣5mm外。4.3.2外延片外觀等級(jí)判定如下表所示，A等級(jí)為合格品，B等級(jí)為Y品，C等級(jí)為F品（報(bào)廢片,未符合A及B等級(jí)則判定為C等級(jí)）。更改標(biāo)記更改單編號(hào)更改員日期更改標(biāo)記更改單編號(hào)更改員日期擬編審核標(biāo)準(zhǔn)化批準(zhǔn)合肥彩虹藍(lán)光科技有限公司技術(shù)文件第2頁(yè)共7頁(yè)文件編號(hào)砷化鎵基LED外延片外觀文件名稱(chēng)HL/DN-23-01-001-1.1檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品型號(hào)或材料代號(hào)工藝代號(hào)生效日期替代版本//外觀等級(jí)檢驗(yàn)項(xiàng)目異常圖例AB白點(diǎn)白點(diǎn)顆數(shù)≤45<

3、白點(diǎn)顆數(shù)≤20(0.3mm<直徑≤1mm)A.<1個(gè)區(qū)段,A.>2個(gè)區(qū)域,其區(qū)域數(shù)量>40顆,數(shù)量20~40顆HillocksB.≦2個(gè)區(qū)段B.<3個(gè)區(qū)段其區(qū)域數(shù)量20~40顆數(shù)量>100顆Crosshatch無(wú)(不允許)*(mismatch)Rainbow無(wú)(不允許)*糙邊(邊緣發(fā)白)無(wú)(不允許)霧≤5mm表面發(fā)霧無(wú)(不允許)霧面但有反光<1/4wafer面積表面發(fā)灰無(wú)(不允許)(不允許)此Particle刮傷區(qū)域≤4刮傷、劃痕無(wú)(不允許)個(gè)區(qū)域Particle粉塵顆數(shù)(經(jīng)吹掃后)粉塵顆數(shù)(經(jīng)

4、吹掃后)<0.3mm<800<顆數(shù)≤160Mismatch無(wú)(不允許)(不允許)更改標(biāo)記更改單編號(hào)更改員日期更改標(biāo)記更改單編號(hào)更改員日期擬編審核標(biāo)準(zhǔn)化批準(zhǔn)合肥彩虹藍(lán)光科技有限公司技術(shù)文件第3頁(yè)共7頁(yè)文件編號(hào)砷化鎵基LED外延片外觀文件名稱(chēng)HL/DN-23-01-001-1.1檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品型號(hào)或材料代號(hào)工藝代號(hào)生效日期替代版本//表面發(fā)青(黑)判定規(guī)則:外觀等級(jí)正常:外延片表面經(jīng)過(guò)傾斜不同角度目測(cè)時(shí)，發(fā)現(xiàn)發(fā)黑區(qū)域會(huì)有所變化，則判定表面正常。(如下圖示說(shuō)明)外觀等級(jí)不正常:此外觀發(fā)生異常時(shí)則直接判定

5、為Y品1.外延片表面經(jīng)過(guò)傾斜不同角度目測(cè)時(shí)，發(fā)現(xiàn)發(fā)黑區(qū)域仍固定于原位，則判定表面異常。(如下圖示說(shuō)明)2.外延片PL量測(cè)Wd相差大于10nm，則判定表面異常。(如下圖示說(shuō)明)更改標(biāo)記更改單編號(hào)更改員日期更改標(biāo)記更改單編號(hào)更改員日期擬編審核標(biāo)準(zhǔn)化批準(zhǔn)合肥彩虹藍(lán)光科技有限公司技術(shù)文件第4頁(yè)共7頁(yè)文件編號(hào)砷化鎵基LED外延片外觀文件名稱(chēng)HL/DN-23-01-001-1.1檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品型號(hào)或材料代號(hào)工藝代號(hào)生效日期替代版本//說(shuō)明：1.particle數(shù)量判定說(shuō)明:一個(gè)區(qū)段里面,單一個(gè)顯微鏡的屏幕上所

6、顯現(xiàn)的最大數(shù)量而非整個(gè)區(qū)域累加的數(shù)量范例說(shuō)明圖一：2.hillocks數(shù)量判定說(shuō)明:顯微鏡以10x10的倍率來(lái)檢測(cè),檢測(cè)區(qū)域如下圖二所示(圖一)（圖二）更改標(biāo)記更改單編號(hào)更改員日期更改標(biāo)記更改單編號(hào)更改員日期擬編審核標(biāo)準(zhǔn)化批準(zhǔn)合肥彩虹藍(lán)光科技有限公司技術(shù)文件第5頁(yè)共7頁(yè)文件編號(hào)砷化鎵基LED外延片外觀文件名稱(chēng)HL/DN-23-01-001-1.1檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品型號(hào)或材料代號(hào)工藝代號(hào)生效日期替代版本//3.Particle之目視判定如下圖：采與外延片表面目視夾角<30度所見(jiàn)之突起顆粒視為Partic

7、le更改標(biāo)記更改單編號(hào)更改員日期更改標(biāo)記更改單編號(hào)更改員日期擬編審核標(biāo)準(zhǔn)化批準(zhǔn)合肥彩虹藍(lán)光科技有限公司技術(shù)文件第6頁(yè)共7頁(yè)文件編號(hào)砷化鎵基LED外延片外觀文件名稱(chēng)HL/DN-23-01-001-1.1檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品型號(hào)或材料代號(hào)工藝代號(hào)生效日期替代版本//2012/4/161.05相關(guān)文件文件編號(hào)文件名稱(chēng)頁(yè)數(shù)備注6記錄記錄編號(hào)記錄名稱(chēng)頁(yè)數(shù)備注更改標(biāo)記更改單編號(hào)更改員日期更改標(biāo)記更改單編號(hào)更改員日期擬編審核標(biāo)準(zhǔn)化批準(zhǔn)合肥彩虹藍(lán)光科技有限公司技術(shù)文件2附：文件履歷表文件編號(hào)版本文件名稱(chēng)修訂原因擬編發(fā)布

8、爾日期頁(yè)數(shù)