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《坩堝論文:坩堝 熔融石英陶瓷 注凝成型 氮化硅 性能表征》由會(huì)員上傳分享,免費(fèi)在線閱讀,更多相關(guān)內(nèi)容在學(xué)術(shù)論文-天天文庫。
1、坩堝論文:熔融石英陶瓷制備技術(shù)及性能檢測(cè)與表征【中文摘要】坩堝是用于多晶硅熔煉鑄錠過程中裝載多晶硅的容器,它的使用條件苛刻,要在高于1500℃的高溫下一次性連續(xù)使用40小時(shí)以上。石英陶瓷具有優(yōu)異的性質(zhì),如熱膨脹系數(shù)小、熱穩(wěn)定性好、耐高溫液體侵蝕性好、導(dǎo)熱性低等特點(diǎn),成為多晶硅鑄錠過程盛裝多晶硅料的首選材料。目前,熔融石英陶瓷坩堝的制備方法一般有兩種:注漿成型和注凝成型。論文采用注凝成型制備石英陶瓷坩堝,并在料漿中摻入氮化硅,以提高其體積密度等,使坩堝物理性能接近或者優(yōu)于注漿成型的石英坩堝,以便彌補(bǔ)注凝成型的缺陷。論文以丙稀酰胺(AM)為有機(jī)單體、N
2、-N’亞甲基丙稀酰胺為交聯(lián)劑、引發(fā)劑為過硫酸胺(MBAM)、pH調(diào)節(jié)劑為乳酸,制備了熔融石英陶瓷坩堝,并利用X-射線衍射儀(XRD)、掃描電子顯微鏡(SEM)對(duì)試樣的結(jié)構(gòu)形貌進(jìn)行表征,結(jié)果表明,當(dāng)料漿固相含量為50%時(shí),制備的熔融石英陶瓷坩堝并未出現(xiàn)結(jié)晶峰,石英顆粒級(jí)配合理,結(jié)構(gòu)均勻,常溫抗折強(qiáng)度為23Mpa,常溫抗壓強(qiáng)度為90Mpa,顯氣孔率為16%,其物理性能低于注漿成型產(chǎn)品。并研究了固相含量、pH值對(duì)料漿性能的影響以及固化溫度、單體、引發(fā)劑對(duì)料漿固化時(shí)間的影響,結(jié)果表明,當(dāng)料漿固相含量為80%,p...【英文摘要】Thecrucibleisu
3、sedasavesselforloadingpolycrystallinesiliconingot.Ithasaharshuseconditions,whichhastoworkcontinuousabove40hoursunderthehightemperature1500℃onetime.Thequartzceramicshaveoutstandingperformance,suchas,lowthermalexpansioncoefficient,goodthermostability,resistance-to-bake,lowtherma
4、lconductivityetc,sotheyarefitforloadingpolycrystallinesilicon.Atpresent,therearetwopreparationmethodstomakeFusedSilicaCeramicCrucibles,oneisSlip...【關(guān)鍵詞】坩堝熔融石英陶瓷注凝成型氮化硅性能表征【英文關(guān)鍵詞】CruciblesquartzceramicsGel-Castingsiliconnitridepropertiescharacterization【索購(gòu)全文】聯(lián)系Q1:138113721Q2:13
5、9938848同時(shí)提供論文寫作一對(duì)一輔導(dǎo)和論文發(fā)表服務(wù).保過包發(fā)【目錄】熔融石英陶瓷制備技術(shù)及性能檢測(cè)與表征摘要8-10ABSTRACT10-11第一章緒論12-241.1論文研究的背景、目的和意義12-131.2熔融石英陶瓷13-141.3熔融石英陶瓷的性能特點(diǎn)14-151.4熔融石英陶瓷的制備技術(shù)15-211.4.1傳統(tǒng)制備技術(shù)15-161.4.2膠態(tài)成型技術(shù)16-211.4.2.1注射成型技術(shù)161.4.2.2氣體輔助注射成型161.4.2.3直接凝固注模成型16-171.4.2.4溫度誘導(dǎo)成型17-181.4.2.5電泳沉積成型181.4.
6、2.6離心注漿成型18-191.4.2.7壓濾成型191.4.2.8注凝成型技術(shù)19-211.5注凝成型熔融石英陶瓷材料的性能改進(jìn)21-221.6本論文研究的主要內(nèi)容22-24第二章研究方案24-292.1實(shí)驗(yàn)方法選擇24-252.2實(shí)驗(yàn)試劑、原料及儀器25-272.2.1實(shí)驗(yàn)試劑、原料25-262.2.2實(shí)驗(yàn)儀器26-272.3表征方法27-292.3.1體積密度、顯氣孔率表征272.3.2常溫抗折強(qiáng)度表征272.3.3料漿分散性表征272.3.4結(jié)晶度表征27-282.3.5微觀結(jié)構(gòu)表征28-29第三章熔融石英陶瓷坩堝的制備及表征29-413.
7、1實(shí)驗(yàn)步驟29-303.1.1石英陶瓷料漿的制備29-303.1.2注凝成型303.1.3燒結(jié)303.2結(jié)果及討論30-383.2.1實(shí)驗(yàn)結(jié)果30-333.2.1.1物理及力學(xué)性能表征30-313.2.1.2微觀結(jié)構(gòu)31-333.2.1.3XRD測(cè)試333.2.2反應(yīng)條件對(duì)料漿制備及成型的影響33-383.2.2.1固相含量對(duì)熔融石英料漿性能的影響33-343.2.2.2pH值對(duì)熔融石英料漿性能的影響34-363.2.2.3溫度對(duì)注凝成型料漿固化時(shí)間的影響363.2.2.4單體、引發(fā)劑對(duì)注凝成型料漿固化時(shí)間的影響36-383.3注凝成型機(jī)理探討38
8、-393.3.1鏈引發(fā)383.3.2鏈增長(zhǎng)38-393.3.3鏈終止393.4本章小結(jié)39-41第四章氮化硅對(duì)石英陶瓷的影