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《坩堝論文:坩堝 熔融石英陶瓷 注凝成型 氮化硅 性能表征》由會員上傳分享,免費在線閱讀,更多相關內容在學術論文-天天文庫。
1、坩堝論文:熔融石英陶瓷制備技術及性能檢測與表征【中文摘要】坩堝是用于多晶硅熔煉鑄錠過程中裝載多晶硅的容器,它的使用條件苛刻,要在高于1500℃的高溫下一次性連續(xù)使用40小時以上。石英陶瓷具有優(yōu)異的性質,如熱膨脹系數小、熱穩(wěn)定性好、耐高溫液體侵蝕性好、導熱性低等特點,成為多晶硅鑄錠過程盛裝多晶硅料的首選材料。目前,熔融石英陶瓷坩堝的制備方法一般有兩種:注漿成型和注凝成型。論文采用注凝成型制備石英陶瓷坩堝,并在料漿中摻入氮化硅,以提高其體積密度等,使坩堝物理性能接近或者優(yōu)于注漿成型的石英坩堝,以便彌補注凝成型的缺陷
2、。論文以丙稀酰胺(AM)為有機單體、N-N’亞甲基丙稀酰胺為交聯劑、引發(fā)劑為過硫酸胺(MBAM)、pH調節(jié)劑為乳酸,制備了熔融石英陶瓷坩堝,并利用X-射線衍射儀(XRD)、掃描電子顯微鏡(SEM)對試樣的結構形貌進行表征,結果表明,當料漿固相含量為50%時,制備的熔融石英陶瓷坩堝并未出現結晶峰,石英顆粒級配合理,結構均勻,常溫抗折強度為23Mpa,常溫抗壓強度為90Mpa,顯氣孔率為16%,其物理性能低于注漿成型產品。并研究了固相含量、pH值對料漿性能的影響以及固化溫度、單體、引發(fā)劑對料漿固化時間的影響,結果表
3、明,當料漿固相含量為80%,p...【英文摘要】Thecrucibleisusedasavesselforloadingpolycrystallinesiliconingot.Ithasaharshuseconditions,whichhastoworkcontinuousabove40hoursunderthehightemperature1500℃onetime.Thequartzceramicshaveoutstandingperformance,suchas,lowthermalexpansioncoe
4、fficient,goodthermostability,resistance-to-bake,lowthermalconductivityetc,sotheyarefitforloadingpolycrystallinesilicon.Atpresent,therearetwopreparationmethodstomakeFusedSilicaCeramicCrucibles,oneisSlip...【關鍵詞】坩堝熔融石英陶瓷注凝成型氮化硅性能表征【英文關鍵詞】Cruciblesquartzceramics
5、Gel-Castingsiliconnitridepropertiescharacterization【索購全文】聯系Q1:138113721Q2:139938848同時提供論文寫作一對一輔導和論文發(fā)表服務.保過包發(fā)【目錄】熔融石英陶瓷制備技術及性能檢測與表征摘要8-10ABSTRACT10-11第一章緒論12-241.1論文研究的背景、目的和意義12-131.2熔融石英陶瓷13-141.3熔融石英陶瓷的性能特點14-151.4熔融石英陶瓷的制備技術15-211.4.1傳統制備技術15-161.4.2膠態(tài)成型技
6、術16-211.4.2.1注射成型技術161.4.2.2氣體輔助注射成型161.4.2.3直接凝固注模成型16-171.4.2.4溫度誘導成型17-181.4.2.5電泳沉積成型181.4.2.6離心注漿成型18-191.4.2.7壓濾成型191.4.2.8注凝成型技術19-211.5注凝成型熔融石英陶瓷材料的性能改進21-221.6本論文研究的主要內容22-24第二章研究方案24-292.1實驗方法選擇24-252.2實驗試劑、原料及儀器25-272.2.1實驗試劑、原料25-262.2.2實驗儀器26-27
7、2.3表征方法27-292.3.1體積密度、顯氣孔率表征272.3.2常溫抗折強度表征272.3.3料漿分散性表征272.3.4結晶度表征27-282.3.5微觀結構表征28-29第三章熔融石英陶瓷坩堝的制備及表征29-413.1實驗步驟29-303.1.1石英陶瓷料漿的制備29-303.1.2注凝成型303.1.3燒結303.2結果及討論30-383.2.1實驗結果30-333.2.1.1物理及力學性能表征30-313.2.1.2微觀結構31-333.2.1.3XRD測試333.2.2反應條件對料漿制備及成型
8、的影響33-383.2.2.1固相含量對熔融石英料漿性能的影響33-343.2.2.2pH值對熔融石英料漿性能的影響34-363.2.2.3溫度對注凝成型料漿固化時間的影響363.2.2.4單體、引發(fā)劑對注凝成型料漿固化時間的影響36-383.3注凝成型機理探討38-393.3.1鏈引發(fā)383.3.2鏈增長38-393.3.3鏈終止393.4本章小結39-41第四章氮化硅對石英陶瓷的影