jjf1238-2010 集成電路靜電放電敏感度測(cè)試設(shè)備校準(zhǔn)規(guī)范

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1、J可F中華人民共和國(guó)國(guó)家計(jì)量技術(shù)規(guī)范JJF1238—2010集成電路靜電放電敏感度測(cè)試設(shè)備校準(zhǔn)規(guī)范CalibrationSpecificationfortheTestingSystemforMicrocircuitsElectro-staticDischarge(ESD)Sensitivity2010—01—05發(fā)布2010—04—05實(shí)施國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布標(biāo)準(zhǔn)分享網(wǎng)www.bzfxw.com免費(fèi)下載JJF1238--20LO集成電路靜電放電敏感度測(cè)試設(shè)備校準(zhǔn)規(guī)范CalibrationSpecificationfortheTestingSyst

2、emforMicrocircuitsElectro—staticDischarge(ESD)Sensitivity?’<’一-30???●1238--2010一?一～oo??本規(guī)范經(jīng)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局于2010年1月5日批準(zhǔn)，并自2010年4月5日起施行。歸口單位：全國(guó)無(wú)線電計(jì)量技術(shù)委員會(huì)起草單位：中國(guó)電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究所本規(guī)范委托全國(guó)無(wú)線電計(jì)量技術(shù)委員會(huì)負(fù)責(zé)解釋本規(guī)范主要起草人：吳京燕(中國(guó)電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究所)參加起草人：陳大為(中國(guó)電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究所)標(biāo)準(zhǔn)分享網(wǎng)www.bzfxw.com免費(fèi)下載JJF1238—2010目錄1范圍??????

3、?????????????????-2引用文獻(xiàn)?????????????????????·3術(shù)語(yǔ)???????????????????????·4概述???????????????????????·5計(jì)量特性?????????????????????·6校準(zhǔn)條件?????????????????????·6．1環(huán)境條件????????????????????·6．2測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)及其他設(shè)備???????????????·7校準(zhǔn)項(xiàng)目及校準(zhǔn)方法????????????????·8校準(zhǔn)結(jié)果的表述??????????????????·9復(fù)校時(shí)間間隔??????????

4、?????????·附錄A集成電路靜電放電敏感度測(cè)試設(shè)備校準(zhǔn)證書內(nèi)頁(yè)格式附錄B集成電路靜電放電敏感度測(cè)試設(shè)備校準(zhǔn)不確定度分析))^^^；)i)12457(；l((；(JJF1238--2010集成電路靜電放電敏感度測(cè)試設(shè)備校準(zhǔn)規(guī)范1范圍本規(guī)范適用于集成電路靜電放電敏感度測(cè)試設(shè)備(人體放電模型HumanBodyModel，簡(jiǎn)稱HBM)的校準(zhǔn)。2引用文獻(xiàn)GJB548B--2005微電子器件試驗(yàn)方法和程序(方法3015)使用本規(guī)范時(shí)，應(yīng)注意使用上述引用文獻(xiàn)的現(xiàn)行有效版本。3術(shù)語(yǔ)3．1衰減時(shí)間decaytimes放電電流從lOO％峰值衰減到36．8％峰值所需的時(shí)

5、問(wèn)。3．2振蕩電流ringingcurrent放電電流波形中抖動(dòng)、不連續(xù)點(diǎn)電流幅度。4概述集成電路靜電放電敏感度測(cè)試設(shè)備(簡(jiǎn)稱ESD設(shè)備)主要模擬產(chǎn)生自然界中人體可能帶有的靜電電壓，并將產(chǎn)生的靜電電壓施加到被測(cè)器件上，以考察器件的抗靜電能力。其主要結(jié)構(gòu)如圖1所示：圖1集成電路靜電放電敏感度測(cè)試設(shè)備結(jié)構(gòu)示意圖5計(jì)量特性5．1短路電流參數(shù)(人體模型HBM)5．1．1峰值電流J。：±(0．2～6)A范圍：±10％5．1～上升時(shí)間t，范圍：(2～lO)ns5．1．3衰減時(shí)間td：150ns范圍：±20ns5．1．4振蕩電流f，：范圍：<15％J。注：被校準(zhǔn)設(shè)備具

6、體量程以GJB548B--2005方法3015為準(zhǔn)。標(biāo)準(zhǔn)分享網(wǎng)www.bzfxw.com免費(fèi)下載JJF1238--20106校準(zhǔn)條件6．1環(huán)境條件6．1．1環(huán)境溫度：(23±5)℃。6．1．2環(huán)境相對(duì)濕度：30％～75％。6．1．3交流電源電壓：(220±11)V；(50±1)Hz。6．2測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)及其他設(shè)備6．2．1數(shù)字示波器最小帶寬：≥350MHz；上升時(shí)間最大允許誤差：±350ps。6．2．2寬帶電流探頭帶寬：≥1GHz；最大允許誤差：±5％。6．2．320dB衰減器帶寬：≥1GHz；最大允許誤差：±5％。7校準(zhǔn)項(xiàng)目及校準(zhǔn)方法設(shè)備在進(jìn)行校準(zhǔn)前應(yīng)按說(shuō)明

7、書要求預(yù)熱。并檢查校準(zhǔn)用測(cè)試插座連接性、校準(zhǔn)環(huán)境靜電防護(hù)設(shè)施的正常性。7．1短路電流(人體模型HBM)參數(shù)校準(zhǔn)7．1．1校準(zhǔn)設(shè)備連接如圖2所示。圖2校準(zhǔn)連接框圖7．1．2選擇被校設(shè)備測(cè)試座上引線最長(zhǎng)的通道為被校準(zhǔn)通道，將被校準(zhǔn)通道(設(shè)置為放電通道)與地端(設(shè)置為GND通道)用短路線相連并接入電流探頭，數(shù)字示波器通過(guò)20dB衰減器與電流探頭相連。電流探頭正端面向放電通道側(cè)。7．1．3被校設(shè)備設(shè)置放電模型為人體模型(HBM)，按表1的試驗(yàn)等級(jí)設(shè)置充電電壓，通過(guò)電流探頭和衰減器用示波器測(cè)量ESD電流波形參數(shù)。7．1．4調(diào)節(jié)示波器的垂直刻度和水平刻度，使測(cè)量波形

8、位于示波器恰當(dāng)?shù)奈恢蒙?。按圖3、圖4所示，測(cè)量短路電流的峰值電流I。、上升時(shí)間t