設(shè)備管道清洗方案

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1、方案I設(shè)備、工藝管道開車前的化學(xué)清洗方案1.編制說明根據(jù)業(yè)主和EPC(信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計(jì)研究院)技術(shù)交底的要求：合成、精餾提純、還原整理、尾氣回收、氯硅烷儲存及外管等（部分）工藝管道和設(shè)備，在安裝前后必須保證一定的潔凈度要求，循環(huán)水系統(tǒng)必須進(jìn)行清洗預(yù)膜。本方案的編制還參照了我們以往在亞洲硅業(yè)（青海）1200噸/年、黃河水電新能源公司（青海）1500噸/年和浙江中寧硅業(yè)（衢州）2×1500噸/年多晶硅裝置的清洗經(jīng)驗(yàn)和施工方法，結(jié)合浙江協(xié)成硅業(yè)多晶硅生產(chǎn)裝置的特點(diǎn)，加以修改和完善。中標(biāo)后，將根據(jù)圖紙和設(shè)計(jì)的具體要求編制詳細(xì)技術(shù)方案予以指導(dǎo)施工。2.編制依據(jù)2.1HG202

2、02-2000《脫脂工程施工及驗(yàn)收規(guī)范》；2.2HG/T2387-2007《工業(yè)設(shè)備化學(xué)清洗質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》；2.3HB5282-84《不銹鋼酸洗鈍化質(zhì)量檢驗(yàn)》；2.4SJ20893-2003《不銹鋼酸洗與鈍化規(guī)范》；2.5JB/T6896-93《空分設(shè)備表面清潔度》；2.6HG/T3523-2008《冷卻水化學(xué)處理標(biāo)準(zhǔn)腐蝕試片技術(shù)條件》；2.7GB8923-88《涂裝前鋼材表面銹蝕等級和除銹等級》；2.8GB8978-1999《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》；3.清洗目的多晶硅廠是一個純度要求高、工藝復(fù)雜、設(shè)備種類眾多的化工系統(tǒng)（部分具備冶金系統(tǒng)和半導(dǎo)體電子元器件的特點(diǎn)）。為了減少工藝系

3、統(tǒng)調(diào)試時凈化處理的時間，最大限度地降低調(diào)試費(fèi)用（系統(tǒng)凈化處理階段的廢品率高，產(chǎn)品產(chǎn)出價值低），使得裝置早日生產(chǎn)出高純度多晶硅產(chǎn)品，必須做好工藝設(shè)備和工藝管道安裝前的清洗處理工作。針對不同的工藝要求、不同的設(shè)備材質(zhì)以及不同的設(shè)備類型、清洗處理要求和達(dá)到的基本標(biāo)準(zhǔn)（達(dá)到無油、無水、無塵與無雜質(zhì)的四無要求和循環(huán)水的預(yù)膜要求）需要采取不同的清洗方法，清洗施工工藝可劃分為四類：噴淋清洗、循環(huán)清洗、浸泡清洗（槽浸法和灌浸法）和擦拭清洗。4.清洗范圍和洗前準(zhǔn)備4.1清洗范圍4.1.1本次清洗主要針對浙江協(xié)成硅業(yè)有限公司千噸級多晶硅裝置，工程中所涉及的合成、精餾提純、還原整理、尾氣回收、

4、氯硅烷儲存及外管等（部分）相關(guān)的設(shè)備（塔、罐、儲槽、換熱器、機(jī)泵和閥門管件等）及相應(yīng)的不銹鋼管道和碳鋼管道，詳見4.1.2。4.1.2清洗工作范圍4.1.2.1100工號（一般清洗）a三氯氫硅合成爐之后走氯化合成料的設(shè)備，如儲罐、計(jì)量罐、空冷器，換熱器等；b工藝管道、尾氣（廢氣）管道；c氫氣管道；d氮?dú)夤艿溃籩以上設(shè)備管道上的工藝閥門、儀表（調(diào)節(jié)閥、切斷閥、流量計(jì)、液位計(jì)）；f合成尾氣淋洗界區(qū)以內(nèi)的設(shè)備和管道不清洗。4.1.2.2200工號及210工號（一般清洗）a全部工藝設(shè)備，如儲罐、換熱器（再沸器、冷凝器）、塔器、屏蔽泵等；b全部工藝管道、尾氣（廢氣）管道、氮?dú)夤艿溃?/p>

5、c以上設(shè)備或管道上的工藝閥門、儀表（調(diào)節(jié)閥、切斷閥、流量計(jì)、液位計(jì)）；d尾氣淋洗界區(qū)以內(nèi)的設(shè)備和管道不清洗。4.1.2.3300工號（高純清洗）a全部工藝設(shè)備，如儲罐、氣化器、氣液分離器、尾氣水冷器等；b全部工藝管道、尾氣（廢氣）管道、氮?dú)夤艿?，氫氣管道；c以上設(shè)備或管道上的工藝閥門、儀表（調(diào)節(jié)閥、切斷閥、流量計(jì)、液位計(jì)）；d尾氣淋洗界區(qū)以內(nèi)的設(shè)備和管道不清洗。4.1.2.4310工號（一般清洗）a全部工藝設(shè)備，如儲罐、換熱器、塔器（鼓泡淋洗塔、吸收塔、解吸塔），吸附器、屏蔽泵；b全部工藝管道、尾氣（廢氣）管道、氮?dú)夤艿溃瑲錃夤艿?、鹽酸氣管道、純水管道；c以上設(shè)備或管道上

6、的工藝閥門、儀表（調(diào)節(jié)閥、切斷閥、流量計(jì)、液位計(jì)）；d尾氣淋洗界區(qū)以內(nèi)的設(shè)備和管道不清洗。4.1.2.5500工號（潔凈清洗）氬氣管道、真空管道以及這些管道上的閥門、儀表。4.2.1.6510工號（潔凈清洗）氮?dú)夤艿馈錃夤艿?、純水管道?.2.1.7600工號（一般清洗）a氮?dú)飧稍锲髦蟮墓艿兰伴y門、儀表；b氫氣管道及閥門、儀表；c純水管道及閥門、儀表；d除鹽水管道及閥門、儀表。4.2.1.8650工號（一般清洗）a氫氣站界區(qū)以內(nèi)由設(shè)備供應(yīng)商負(fù)責(zé)清洗；b界區(qū)以外（廠房圍墻外1米）的設(shè)備（主要是氫氣儲罐、緩沖罐）；c界區(qū)以外（廠房圍墻外1米）的氫氣管道、氮?dú)夤艿兰伴y門、儀

7、表。4.2.1.9廠區(qū)管網(wǎng)（潔凈清洗）a工藝物料（氯硅烷）管道；b氮?dú)夤艿?、氫氣管道、純水管道；c上述管道上的閥門、儀表。4.2.1.10200工號三氯氫硅產(chǎn)品系統(tǒng)及300工號混合氣系統(tǒng)（高純清洗）a工藝物料管：從5、7、9級塔塔頂冷凝器以下的冷凝液管、產(chǎn)品管、還原爐進(jìn)氣管、出氣管、尾氣管到還原尾氣水冷器止；b與上述管道相連的工藝設(shè)備：5、7、9級塔的回流液罐3臺，5、7、9級塔的三氯氫硅產(chǎn)品罐6臺，氣化器5臺，氣液分離器5臺（不含塔頂冷凝器和還原尾氣冷卻器）；c與上述設(shè)備相連的氮?dú)夤芎臀矚夤堋U氣管，從設(shè)備到各自的主管道；d