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《三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)綜述》由會(huì)員上傳分享，免費(fèi)在線(xiàn)閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在行業(yè)資料-天天文庫(kù)。
1、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)綜述何旭棟（上海大學(xué)機(jī)電工程與自動(dòng)化學(xué)院，上海200072）摘要：從坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的結(jié)構(gòu)形式、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)、導(dǎo)軌與軸承、平衡機(jī)構(gòu)、光柵和測(cè)頭寫(xiě)起。在結(jié)構(gòu)形式上，介紹了串聯(lián)機(jī)構(gòu)坐標(biāo)測(cè)量機(jī)和并聯(lián)機(jī)構(gòu)坐標(biāo)測(cè)量機(jī)兩大類(lèi)，并著重介紹了介紹三自由度并聯(lián)機(jī)構(gòu)坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的結(jié)構(gòu)、特點(diǎn)及工作原理；在驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)上，對(duì)每種驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的工作原理、基本結(jié)構(gòu)及其優(yōu)缺點(diǎn)進(jìn)行比較，指出驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)應(yīng)用范圍，并介紹了一種新的采用組合軸承座式結(jié)構(gòu)減速器的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)；在導(dǎo)軌和軸承上，介紹了坐標(biāo)測(cè)量機(jī)氣浮導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)、工作原理，并用實(shí)驗(yàn)分析氣浮導(dǎo)軌對(duì)動(dòng)態(tài)性能的影響；在平衡機(jī)構(gòu)上，指出了坐標(biāo)測(cè)量機(jī)常用的平衡機(jī)構(gòu)以及每種
2、平衡系統(tǒng)的工作原理和特點(diǎn)；在光柵上，對(duì)光柵的讀數(shù)原理，安裝方式進(jìn)行了簡(jiǎn)單介紹，并提出了一種新型的光柵材料；在測(cè)頭方面，介紹了測(cè)頭的原理、分類(lèi)，并對(duì)測(cè)頭的誤差來(lái)源進(jìn)行了分析，還提出了一種原子力準(zhǔn)接觸技術(shù)，這是測(cè)頭的發(fā)展趨勢(shì)。最后還介紹了提高精度的“創(chuàng)造性”原則——誤差補(bǔ)償技術(shù)，分別對(duì)測(cè)量機(jī)熱變形誤差、弱剛度結(jié)構(gòu)引起的誤差和動(dòng)態(tài)誤差的補(bǔ)償技術(shù)進(jìn)行了簡(jiǎn)單介紹。關(guān)鍵詞：并聯(lián)機(jī)構(gòu)；組合軸承座式減速器；氣浮導(dǎo)軌；原子力準(zhǔn)接觸SummaryofCoordinateMeasuringMachine(CMM)HEXu-dong(SchoolofMechatronicEngineeringa
3、ndAutomation,ShanghaiUniversity,Shanghai200072,China)Abstract:Iwritedbeginwiththecoordinatemeasuringmachine’sstructure,drivesystem,railsandbearings,balancedbody,rasterandprobe.Onthestructuralform,Iintroducedseriesandparallelinstitutionalcoordinatemeasuringmachine,andhighlightedthethreedeg
4、reesoffreedomparallelmechanism’sstructure,characteristicsandworkingprinciple;Onthedrivesystem,foreachtypesofdrivesystem,Iintroducedworksprincipleandthebasicstructure.ThenIcomparedtheadvantagesanddisadvantagesthatdrivesystemapplications,andintroducedanewbearingstructurecombinatedgeardrives
5、ystem;Onthebearingandrail,Iintroducedcoordinatemeasuringmachineworkingfeaturesandair-railstructure,andanalysedofair-raildynamicperformancethroughexperiment;Onthebalancedmechanism,Ipointedoutusedbalanceandeachcharacteristics;Onthegrating,Iintroducedthegratingreadingprinciples,installationa
6、ndproposedanewtypeofgratingmaterial;Ontheprobe,Idescribedtheprinciplesofprobeclassification.Andtheerrorsourceofprobeanalyzedbyatomicforcealsoproposedaquasi-contacttechnology,whichisthedevelopmenttrendoftheprobe.Finally,Iintroducedathe"creative"principleofimprovetheaccuracy-errorcompensati
7、on.Respectively,thermaldeformationerrorofthemeasuringmachine,theerrorcausedbytheweakstiffnessofthestructureanddynamicerrorcompensationtechniqueforabriefintroduction.Keywords:parallelinstitutions;combinationbearingreducer;air-rail;atomicforcepotentialcontact1引言三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)
