三坐標(biāo)測量機

《三坐標(biāo)測量機》由會員上傳分享，免費在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在工程資料-天天文庫。

1、三坐標(biāo)測量機三坐超高精度CNC三坐標(biāo)測量機LEGEX系列產(chǎn)品樣本No.C16012(3)三豐公司80年的技術(shù)結(jié)晶世界公認No.1的高精度測量技術(shù)。1LEGEX574達到世界No.1*的高精度E0,MPE=0.28+L/1000LEGEX776LEGEX9106*世界第一的測量精度為2014年10月本公司調(diào)查的結(jié)果。2精進的技術(shù)誤差因素徹底的分析和排除之1主體基座設(shè)計高剛性，高衰減性LEGEX的主體基座采用球狀石墨鑄鐵(球墨鑄鐵)*的密閉式結(jié)構(gòu)(正在申請專利)，這個結(jié)構(gòu)實現(xiàn)了高剛性、高振動衰減性。并且，運用FEM構(gòu)造模擬分析系統(tǒng)進行

2、了徹底的應(yīng)力分析，使正常機器操作產(chǎn)生的變形盡量減小，保證良好的幾何學(xué)精度。FEM構(gòu)造模擬分析系統(tǒng)*球狀石墨鑄鐵(球墨鑄鐵)通常，鑄鐵是包含碳、硅、錳、磷、硫等的鐵合金，碳元素在鐵氧體或珠光體材料中成片狀物析出，而球墨鑄鐵，在鐵水中加入鎂合金析出的碳元素為球狀物，沒有0.1mm以上的孔洞和針孔(缺陷)，成為理想的鑄鐵。擁有極好的抗拉強度，并且具有出色的延伸性、柔韌性及耐磨性等，廣泛用于汽車零部件等各種機械零部件的制造。LEGEX采用的是FCD600球墨鑄鐵。3與基座一體化的Y軸導(dǎo)軌Y軸導(dǎo)軌和基座的一體化結(jié)構(gòu)為進一步提高剛性和熱穩(wěn)定性

3、，開發(fā)了Y軸導(dǎo)軌與主體基座一體化結(jié)構(gòu)。各軸滑動部分使用了陶瓷–等離子噴涂技術(shù)(正在申請專利)Y軸導(dǎo)軌，X軸橫梁，Z軸主軸滑動部分進行陶瓷–等離子噴涂處理，形成空氣軸承滑動最適合的表面。具有出色的耐銹蝕性和抗腐蝕性。0.60.08sζ=0.028高振動衰減性實現(xiàn)超高精度掃描測量0.4LEGEX的主體結(jié)構(gòu)快速衰減移動時的殘留振動，大幅度減0.2少因振蕩產(chǎn)生的波動幅度。比防止外部振動的防振裝置更2/s有效果，提高了防振性能。-0m由此，抑制掃描測量時的振動，實現(xiàn)超高精度的掃描測量。-0.2-0.4-0.60.50.60.70.80.9T

4、ime(s)測量工作臺測量工作臺表面(KISAGE加工)具有陶瓷涂層(選項)的測量工作臺表面4精進的技術(shù)誤差因素徹底的分析和排除之2固定橋式工作臺移動結(jié)構(gòu)橋式移動結(jié)構(gòu)固定橋式工作臺移動結(jié)構(gòu)橋式移動型三坐標(biāo)測量機的X軸移動時的載荷變化例消除俯仰和偏航誤差橋式移動結(jié)構(gòu)的CNC三坐標(biāo)測量機多是由單側(cè)下部配置的驅(qū)動系統(tǒng)進行橋結(jié)構(gòu)的移動(Y軸移動)，所以移動時會產(chǎn)生俯仰誤差和偏航誤差。也有把驅(qū)動系統(tǒng)配置在橋結(jié)構(gòu)中央重心附近的方式，因為X軸左右移動時重心也隨之移動，也不能排除這些誤差。LEGEX，通過“如果橋式結(jié)構(gòu)移動產(chǎn)生誤差，讓橋結(jié)構(gòu)不移動

5、就好了”的逆向構(gòu)思，極力控制阿貝誤差采用了橋固定工高移動精度作臺移動結(jié)構(gòu)。X軸移動和Y軸移動的獨立橋式移動結(jié)構(gòu)的情況，比如X軸的移動會引起Y軸導(dǎo)軌(氣浮軸承)載荷發(fā)生變動，測量空間的幾何學(xué)結(jié)構(gòu)發(fā)生變形。LEGEX的X軸和Y軸是完全獨立的構(gòu)造，X軸的移動對Y軸導(dǎo)軌Z??????沒有任何影響。因此能夠容易提高各軸的精度追求，維持長期的高精度水準(zhǔn)。????完全重心驅(qū)動???各軸的驅(qū)動系統(tǒng)配置在各移動部的重心處，驅(qū)動軸旋轉(zhuǎn)的慣性力矩被抑制，加減速的時候幾乎沒有構(gòu)造體的變形。例如對X軸導(dǎo)引的X軸橫梁完全采用三豐獨自開發(fā)的高剛性氣浮軸承的原創(chuàng)

6、結(jié)構(gòu)，可以進行高速、高加減速驅(qū)動。X???5振動對策外部振動對策因為受到設(shè)置場所地面振動的影響，測量值會產(chǎn)生偏差。LEGEX，標(biāo)準(zhǔn)配置了專用的高性能帶有自動調(diào)水平功能的“空氣阻尼彈簧減振器”。傳感器自動接收測量工作臺的移動以及由工件引發(fā)的載荷變動，并可以快速地使主機復(fù)歸水平。除振臺配置內(nèi)部振動對策驅(qū)動由滾珠絲桿+DC伺服電機來進行。為了吸收滾珠絲杠旋轉(zhuǎn)的錐形運動和軸垂直面的振動，我們采用了一個特殊的浮動機構(gòu)以鏈接滾珠絲杠與導(dǎo)向塊。因此，滾珠絲杠的振動不影響移動精度，實現(xiàn)了高速驅(qū)動。另外，三豐自主開發(fā)的高剛性低振動氣浮軸承，實現(xiàn)了抑

7、制振動與原來比只有5分之1，還配置了各軸導(dǎo)軌的特殊振動衰減機構(gòu)等，各種各樣的內(nèi)部振動對策。自動水平空氣阻尼彈簧減振器??????????????????????帶浮動機構(gòu)的滾珠絲杠結(jié)構(gòu)圖6精進的技術(shù)誤差因素徹底的分析和排除之3超高精度的測長單元溫度補償功能熱膨脹系數(shù)“≒零”的高精度玻璃尺保證18oC～22oC的溫度范圍內(nèi)的精度LEGEX，配置有新開發(fā)的幾乎沒有熱膨脹的線膨脹系數(shù)以前的超高精度三坐標(biāo)測量機，要求高水平恒溫室的設(shè)置環(huán)0.01×10-6/K超高精度結(jié)晶玻璃尺，與同樣最新開發(fā)的分辨力境。但是，LEGEX，通過FEM結(jié)構(gòu)分析

8、實現(xiàn)了熱對稱結(jié)構(gòu)，為0.01μm高性能反射型編碼器相組合的超高精度測長單元。其結(jié)果，實現(xiàn)了即使溫度變化也能對測量空間的抑制應(yīng)變，同時標(biāo)尺的獨自固定方式，抑制因與安裝面的熱膨脹率差異亞微米測量精度的同時，可以在20±2oC廣泛的溫度環(huán)境下進產(chǎn)生的滯后