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1、http://www.wordwendang.com本修訂日期無塵室管理規(guī)定文件號:第14頁共14頁本文由【中文word文檔庫】www.wordwendang.com搜集整理。中文word文檔庫免費提供海量教學(xué)資料、行業(yè)資料、范文模板、應(yīng)用文書、考試學(xué)習(xí)和社會經(jīng)濟(jì)等word文檔目錄
0.目錄(Tableofcontent)1.大綱(Introduction)1.1范圍(Scope)1.2目的(Purpose)2.引用文件(Referencedocument)
3.名詞定義(Definition)4.無塵室管理規(guī)范程序4.1無塵室潔凈度等級區(qū)分及區(qū)域定義4.1.1面板前段工廠4.1.2面板
2、后段工廠4.1.3模塊工廠4.2無塵衣/鞋/帽穿著使用規(guī)定4.2.1無塵衣等級區(qū)分4.2.2無塵鞋等級區(qū)分4.2.3無塵帽等級區(qū)分4.2.4各區(qū)無塵衣穿著規(guī)定4.2.5無塵衣?lián)Q洗規(guī)定4.2.6無塵衣之破損與縫補(bǔ)4.3無塵室進(jìn)入資格之取得4.3.1一般員工4.3.2高階主管4.3.3來賓(廠商)4.3.4無塵室進(jìn)入資格取得之流程4.4無塵室進(jìn)入資格之取消4.5無塵室資格考試4.6無塵室進(jìn)出管制規(guī)定4.6.1人員之限制4.6.2物品之限制4.7進(jìn)入無塵室之程序4.7.1人員進(jìn)入無塵室之流程4.7.2物品進(jìn)入無塵室之流程http://www.wordwendang.com中文word文檔庫,海
3、量word文檔免費下載http://www.wordwendang.com本修訂日期無塵室管理規(guī)定文件號:第14頁共14頁4.1.1儀器設(shè)備進(jìn)入無塵室之流程4.2無塵衣穿著程序4.2.1連身式無塵衣穿著程序4.2.2披肩式無塵衣穿著程序4.2.3大衣式靜電袍穿著程序4.3無塵衣穿著步驟4.3.1連身式無塵衣穿著步驟4.3.2披肩式無塵衣穿著步驟4.3.3大衣式靜電袍穿著步驟4.4無塵衣穿著注意事項4.5無塵衣穿著檢查要項4.6無塵室一般禁止及注意事項4.7黃光室特別注意事項4.8來賓(廠商)進(jìn)入無塵室注意事項4.9無塵室安全注意事項4.10無塵室環(huán)境條件控制5.使用表單(Formused
4、)6.變更記錄(ChangeRecord)http://www.wordwendang.com中文word文檔庫,海量word文檔免費下載http://www.wordwendang.com本修訂日期無塵室管理規(guī)定文件號:第14頁共14頁大綱(Introduction)1.1范圍(Scope)凡進(jìn)入無塵室內(nèi)所有人、機(jī)器設(shè)備、物品、原物料、產(chǎn)品……等,均屬本規(guī)范之管制范圍。1.2目的(Purpose)為維持無塵室內(nèi)潔凈度,管制污染源控制環(huán)境參數(shù),特對于無塵室內(nèi)之人、機(jī)器設(shè)備、物品、原物料等加以管制,以便能確保無塵室內(nèi)潔凈度符合產(chǎn)品制程之需求,提高產(chǎn)品品質(zhì)。2.參考文件(Referenced
5、Document)美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209D(U.S.FEDERALSTANDARD209D)MS-5103無塵無菌室運轉(zhuǎn)管理指針(GUIDANCEFOROPERATIONOFCLEANROOM)3.名詞定義(Definition)本規(guī)范除下列所述名詞外,均依照J(rèn)ISZ8122(ContaminationControl術(shù)語)。無塵室Particle被控制在規(guī)定值內(nèi)之房間粒子(Particle)一般而言指0.001至1000μm之粒徑的固體或液體之物質(zhì)4.無塵室管理規(guī)范程序4.1無塵室潔凈度等級區(qū)分及區(qū)域定義4.1.1面板前段工廠A區(qū)(Class100級):包含黃光室及組合室。B區(qū)(Class1
6、000級):除A、C區(qū)以外之其它面板前段生產(chǎn)區(qū)。C區(qū)(Class10000級):包含投片室。4.1.2面板后段工廠D區(qū)(Class1000級):面板后段無塵室(液晶注入室)。E區(qū)(Class1000級):面板后段貼片區(qū)(CleanBooth內(nèi))。F區(qū)(Class10000級):面板后段一般區(qū)。4.1.3模組工廠G區(qū)(Class1000級):模組無塵室(COG室)。H區(qū)(Class1000級):模組組裝區(qū)(CleanBooth內(nèi))。I區(qū)(Class10000級):模組一般區(qū)。http://www.wordwendang.com中文word文檔庫,海量word文檔免費下載http://www
7、.wordwendang.com本修訂日期無塵室管理規(guī)定文件號:第14頁共14頁4.2無塵衣/鞋/帽穿著使用規(guī)定4.2.1無塵衣等級區(qū)分連身式無塵衣:Class100級、白色、蘋果綠色、藍(lán)色、綠色、淡黃色(藍(lán)色為工程員使用、綠色為施工及未認(rèn)證人員使用、淡黃色為來賓使用)。披肩式無塵衣:Class1000級、白色、藍(lán)色、淡黃色(藍(lán)色為工程員使用、淡黃色為來賓使用)。大衣式靜電袍:Class10000級、白色、藍(lán)色、淡黃色(藍(lán)色為工程員