資源描述：
《潔凈室(無塵室)標準》由會員上傳分享，免費在線閱讀，更多相關內(nèi)容在行業(yè)資料-天天文庫。
1、潔凈室(無塵室)標準?2006-1-23(一)潔凈室之定義 潔凈室(Clean?Room)，亦稱為無塵室或清凈室?！ 笣崈羰摇故侵笇⒁欢臻g范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性?！ 崈羰易钪饕饔迷谟诳刂飘a(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為「潔凈室」。
2、(二)潔凈室之等級 世界各國均有自定規(guī)格，但普遍還是用美國聯(lián)邦標準209為多，以下僅就209D及209E和世界上其它各國制定標準作介紹與相互比較。 209E與209D等最大之不同在于209E表示單位增加了公制單位，潔凈室等級以‵M′字頭表示，如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此類推，配合國際公制單位之標準化，M字母后之阿拉伯數(shù)目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微塵粒子數(shù)目字以10的冪次方表示，取指數(shù)為之，若微塵粒子數(shù)介于前后二者完全冪次方之間，則以1.5、2.5、3.5….表示。 美國聯(lián)邦標準FS?209D都以英制每立方英呎為單位，日本則是采用公制
3、，即以每立方公尺為單位，以0.1μm微粒子為計數(shù)標準。日本標準之表示法以Class?1，Class?2，Class?3……Class8表示，最好的等級為Class?1，最差則為Class?8，以每立方公尺中微塵粒子總數(shù)中化為10的冪次方，取其指數(shù)而得。(三)潔凈室控管之項目 1.?能除去空氣中飄游之微塵粒子?！ ?.?能防止微塵粒子之產(chǎn)生?！ ?.?溫度和濕度之控制?！ ?.?壓力之調(diào)節(jié)?！ ?.?有害氣體之排除?！ ?.?結構物與隔間之氣密性。 7.?靜電之防制?！ ?.?電磁干擾預防?！ ?.?安全因素之考慮?！ ?0.?節(jié)能之考量。(四)潔凈室之分類1
4、.亂流式(Turbulent?Flow)： 空氣由空調(diào)箱經(jīng)風管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進入潔凈室，并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級?！ ?yōu)點：構造簡單、系統(tǒng)建造成本，潔凈室之擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高潔凈室等級?！ ∪秉c：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運轉再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當長一段時間。?2.層流式(Laminar)： 層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形，空氣
5、由覆蓋率100%之過濾器進入室內(nèi)，并由高架地板或兩側隔墻板回風，此型式適用于潔凈室等級需定較高之環(huán)境使用，一般其潔凈室等級為Class?1~100。其型式可分為二種： (1)水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風系統(tǒng)回風，塵埃隨風向排出室外，一般在下流側污染較嚴重?！ ?yōu)點：構造簡單，運轉后短時間內(nèi)即可變成穩(wěn)定?！ ∪秉c：建造費用比亂流式高，室內(nèi)空間不易擴充?！ ?2)垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^(qū)域。 優(yōu)點：管理容易，運轉
6、開始短時間內(nèi)即可達穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響?！ ∪秉c：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換過濾器較麻煩。3.復合式(Mixed?Type)： 復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣?！ ?1)潔凈隧道(Clean?Tunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上，可節(jié)省安裝運轉費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式?！ 崈羲淼懒碛卸梼?yōu)點：A.彈性擴充容易；
7、?B.維修設備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。 (2)潔凈管道(Clean?Tube)：將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動化生產(chǎn)線為最適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導體業(yè)界均適用。 (3)并裝局部潔凈室(Clean?Spot)：將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產(chǎn)之用；潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。 潔凈工作臺：等級Class?1~100級?！ 崈艄?/p>
8、作棚：為在亂流式之潔凈室
