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《真空磁控濺射鍍膜設(shè)備用戶手冊》由會員上傳分享,免費在線閱讀,更多相關(guān)內(nèi)容在行業(yè)資料-天天文庫。
1、真空磁控濺射鍍膜控制系統(tǒng)用戶手冊目錄1.系統(tǒng)簡述41.1真空系統(tǒng)41.2傳送系統(tǒng)41.3加熱系統(tǒng)41.4濺射電源41.5冷卻水41.6工藝氣路52.系統(tǒng)供電52.1柜體通電前檢查52.2現(xiàn)場設(shè)備通電前檢查52.3電源送電順序52.3.1PLC控制柜52.3.2電加熱柜62.3.3泵組柜63.PLC運行程序63.1環(huán)境模式73.2工作模式73.3安全連鎖93.4系統(tǒng)報警104.上位機軟件操作124.1上位機畫面124.1.1介紹124.1.1.1圖例124.1.2總貌144.1.3真空154.1.4傳動174.1.5加熱194.1.6參數(shù)設(shè)定
2、214.1.7濺射電源234.1.8控制模式254.1.9分子泵使能操作274.1.10歷史報警284.1.11框架信息294.1.12運行注意事項304.1.12.1開機注意事項304.1.12.1停機注意事項315.工程維護315.1傳輸設(shè)置315.1.1傳輸工程文件325.2WINGP運行336.變量地址表341.系統(tǒng)簡述TFT系統(tǒng)需要實現(xiàn)玻璃在真空環(huán)境下自動化的連續(xù)鍍膜,生產(chǎn)線布置為“回”字型矩形結(jié)構(gòu),生產(chǎn)線劃分為4個區(qū),位于生產(chǎn)線左右側(cè)的上片區(qū)和下片區(qū),位于上下片平臺間的工藝區(qū)和回傳區(qū),其中呈”->”方向移動的區(qū)域為工藝區(qū),呈”<
3、-“方向移動的區(qū)域為回送區(qū)。TFT控制系統(tǒng)實現(xiàn)對生產(chǎn)過程中的真空、加熱、傳動、電源、冷卻水、工業(yè)氣體在鍍膜過程中的連續(xù)控制。1.1真空系統(tǒng)真空系統(tǒng)設(shè)備集中于真空室區(qū)域,由抽氣設(shè)備(機械泵、羅茨泵、分子泵)檢測設(shè)備(PG表,CG表)、安全閥(分子泵前蝶閥、機械泵羅茨泵間自吸閥、管道閥和破空閥);通過機械泵->羅茨泵->分子泵接力抽氣,將腔室內(nèi)壓力由大氣變?yōu)檎婵眨⒃谏a(chǎn)過程中保持適合生產(chǎn)的真空環(huán)境;1.2傳送系統(tǒng)傳送系統(tǒng)共24臺操作電機,上下片平臺各4臺,工藝區(qū)11臺,回傳區(qū)5臺傳動電機,除上下片平臺各有2臺電機可實現(xiàn)雙向傳動外,其余電機均為
4、單向傳動;其中除M3–M9可以通過端子通斷和模擬量信號協(xié)同控制電機轉(zhuǎn)速外,其余電機的傳動速度由端子通斷直接控制;1.3加熱系統(tǒng)加熱系統(tǒng)共66臺,在連續(xù)生產(chǎn)過程中,逐段加熱工藝區(qū)腔室內(nèi)的溫度,以確保在玻璃在鍍膜過程中的環(huán)境溫度,加熱系統(tǒng)進行PID運算,通過固態(tài)繼電器的電壓脈沖控制加熱器的加熱頻率;1.4濺射電源在工藝區(qū)有4個濺射室,室內(nèi)配置MF中頻濺射電源和DC直流濺射電源,通過電源產(chǎn)生的高電壓電離氣體分子;1.5冷卻水機械泵、分子泵、濺射電源冷卻管路安裝有壓力檢測設(shè)備,通過水流開關(guān)檢測冷卻水壓力是否符合設(shè)備冷卻的要求;1.6工藝氣路氣路由供
5、氣管道,流量計和切斷閥組成;2.系統(tǒng)供電2.1柜體通電前檢查?柜間連接線校核;?所有斷路器,熔斷器處于斷開狀態(tài);?檢查泵組柜,電加熱柜一次主排、母排絕緣和是否短路;?檢查泵組柜,PLC柜,電加熱柜,電源柜是否短路;2.2現(xiàn)場設(shè)備通電前檢查?電纜接線的校核;?接線的電源電壓等級是否與設(shè)備匹配;?機械泵,羅茨泵,傳動電機通電前進行三相對地絕緣(電阻>0.5M歐)測試;?其它現(xiàn)場設(shè)備是否有短路現(xiàn)象,例如分子泵,閥門等;?控制回路的功能測試;2.3電源送電順序2.3.1PLC控制柜?傳動控制柜PLC模塊電源供電(220V)QF51->SB54(面板
6、)->QF81;?PLC控制柜及PLC模塊觸摸屏供電(220V)QF51->SB54(面板)->QF82;?檢修插座供電(220V)QF51->SB54(面板)->QF86;?傳動控制柜I/O模塊供電(24V)QF51->SB54->QF71->QF74;?PLC控制柜I/O模塊供電(24V)QF51->SB54->QF71->QF71.1;?流量計供電(±15V)QF51->SB54->QF61;?溫度控制器供電(24V)QF51->SB54->QF64->QF64.1;?中頻/直流控制電源(24V)QF51->SB54->QF64->Q
7、F66;?閥門,機械泵氣鎮(zhèn),油鎮(zhèn)供電(24V)QF51->SB54->QF84->QF84.1;?光電開關(guān)及真空計電源(24V)QF51->SB54->QF84->QF85;傳動電機供電(380V)QF51(泵組控制柜)-->QF165(泵組控制柜)-->(QF52-QF311)2.3.2電加熱柜?電加熱供電(220V)QF51(泵組控制柜)->QF166(泵組控制柜)->(QF54~QF185)2.3.3泵組柜?機械泵供電(380V)QF51->QF111(進片室)QF51->QF114(工藝區(qū))QF51->QF116(出口室)?羅茨泵供
8、電(380V)QF51->QF112(進片室)QF51->QF115(工藝區(qū))QF51->QF118(出口室)?分子泵供電(380V)QF51->(QF111-QF162)?中頻