xps分峰的分析實(shí)例

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1、.材料Ｘ射線光電子能譜數(shù)據(jù)處理及分峰的分析實(shí)例例：將劑量為1′107ions/cm2，能量為45KeV的碳離子注入單晶硅中，然后在1100C退火2h進(jìn)行熱處理。對(duì)單晶硅試樣進(jìn)行XPS測(cè)試，試對(duì)其中的C1s高分辨掃瞄譜進(jìn)行解析，以確定各種可能存在的官能團(tuán)。分析過(guò)程：1、在Origin中處理數(shù)據(jù)??圖1將實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)用記事本打開(kāi)，其中C1s表示的是C1s電子，299.4885表示起始結(jié)合能，-0.2500表示結(jié)合能遞減步長(zhǎng)，81表示數(shù)據(jù)個(gè)數(shù)。從15842開(kāi)始表示是光電子強(qiáng)度。從15842以下數(shù)據(jù)選中Copy到Excel軟件B列中，為光電子強(qiáng)度

2、數(shù)據(jù)列。同時(shí)將299.4885Copy到Excel軟件A列中，并按照步長(zhǎng)及個(gè)數(shù)生成結(jié)合能數(shù)據(jù)，見(jiàn)圖2...圖2將生成的數(shù)據(jù)導(dǎo)入Origin軟件中，見(jiàn)圖3。...圖3此時(shí)以結(jié)合能作為橫坐標(biāo)，光電子強(qiáng)度作為縱坐標(biāo)，繪出C1s譜圖，檢查譜圖是否有尖峰，如果有，那是脈沖，應(yīng)把它們?nèi)サ簦椒辄c(diǎn)Origin軟件中的Data-MoveDataPoints，然后按鍵盤(pán)上的ˉ或箭頭去除脈沖。本例中的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)沒(méi)有脈沖，無(wú)需進(jìn)行此項(xiàng)工作。將columnA和B中的值復(fù)制到一空的記事本文檔中（即成兩列的格式，左邊為結(jié)合能，右邊為峰強(qiáng)），并存盤(pán)，見(jiàn)圖4。圖42

3、、打開(kāi)XPSPeak，引入數(shù)據(jù)：點(diǎn)Data--Import　(ASCII)，引入所存數(shù)據(jù)，則出現(xiàn)相應(yīng)的XPS譜圖，見(jiàn)圖5、圖6...3、選擇本底：點(diǎn)Background，因軟件問(wèn)題，HighBE和LowBE的位置最好不改，否則無(wú)法再回到Origin，此時(shí)本底將連接這兩點(diǎn)，Type可據(jù)實(shí)際情況選擇，一般選擇Shirley類型，見(jiàn)圖7。...圖74、加峰：點(diǎn)Addpeak，出現(xiàn)小框，在PeakType處選擇s、p、d、f等峰類型（一般選s），在Position處選擇希望的峰位，需固定時(shí)則點(diǎn)fix前小方框，同法還可選半峰寬（FWHM）、峰面

4、積等。各項(xiàng)中的constraints可用來(lái)固定此峰與另一峰的關(guān)系。點(diǎn)Deletepeak可去掉此峰。然后再點(diǎn)Addpeak選第二個(gè)峰，如此重復(fù)。在選擇初始峰位時(shí)，如果有前人做過(guò)相似的實(shí)驗(yàn)，可以查到相應(yīng)價(jià)鍵對(duì)應(yīng)的峰位最好。但是如果這種實(shí)驗(yàn)方法比較新，前人沒(méi)有做過(guò)相似的，就先用標(biāo)準(zhǔn)的峰位為初始值。最優(yōu)化所有的峰位，然后看峰位位置的變化。本例中加了三個(gè)峰，C元素注入單晶硅后可能形成C-C、C-Si和C-H三個(gè)價(jià)鍵。根據(jù)這三個(gè)價(jià)鍵對(duì)應(yīng)的結(jié)合能確定其初始峰位，然后添加。具體過(guò)程見(jiàn)圖8、9、10。...圖8圖9...圖105、擬合。選好所需擬合的

5、峰個(gè)數(shù)及大致參數(shù)后，點(diǎn)Optimiseregion進(jìn)行擬合，觀察擬合后總峰與原始峰的重合情況，如不好，可以多次點(diǎn)Optimiseregion。最終擬合結(jié)果見(jiàn)圖11。圖11...6、參數(shù)查看。擬合完成后，分別點(diǎn)另一個(gè)窗口中的RigionPeaks下方的0、1、2等可看每個(gè)峰的參數(shù)，此時(shí)XPS峰中變紅的為被選中的峰。如對(duì)擬合結(jié)果不region滿意，可改變這些峰的參數(shù)，然后再點(diǎn)Optimise。7、點(diǎn)擊SaveXPS存圖，下回要打開(kāi)時(shí)點(diǎn)OpenXPS就可以打開(kāi)這副圖繼續(xù)進(jìn)行處理。8、數(shù)據(jù)輸出。點(diǎn)擊Data――Printwithpeakpar

6、ameters，可打印帶各峰參數(shù)的譜圖，通過(guò)峰面積可計(jì)算此元素在不同峰位的化學(xué)態(tài)的含量比。點(diǎn)擊Data――Exporttoclipboard，則將圖和數(shù)據(jù)都復(fù)制到了剪貼板上，打開(kāi)文檔（如Word文檔），點(diǎn)粘貼，就把圖和數(shù)據(jù)粘貼過(guò)去了?！↑c(diǎn)擊Data――Export（spectrum），則將擬合好的數(shù)據(jù)存盤(pán)，然后在Origin中從多列數(shù)據(jù)欄打開(kāi)，則可得多列數(shù)據(jù)，并在Origin中作出擬合后的圖。XPS能譜數(shù)據(jù)處理王博呂晉軍齊尚奎能譜數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)化成ASC碼文件后可以用EXCEL、ORIGIN等軟件進(jìn)行處理。這篇文章的目的是向大家介紹用ORIG

7、IN軟件如何處理能譜數(shù)據(jù)，以及它的優(yōu)勢(shì)所在。下面將分三部分介紹如何用ORIGIN軟件處理能譜數(shù)據(jù)：1、多元素譜圖數(shù)據(jù)處理2、剖面分析數(shù)據(jù)處理3、復(fù)雜譜圖的解疊一、多元素譜圖的處理：1、將ASC碼文件用NOTEPAD打開(kāi)：元素名稱X軸起始點(diǎn)采集的數(shù)據(jù)點(diǎn)總數(shù)X軸步長(zhǎng)Y軸數(shù)值...2、復(fù)制Y軸數(shù)值。打開(kāi)ORIGIN，將Y軸數(shù)據(jù)粘貼到B（Y）：3、如圖：點(diǎn)擊工具欄plot，選擇line...4、出現(xiàn)下圖：點(diǎn)擊B（Y），再點(diǎn)擊<->Y，使B（Y）成為Y軸數(shù)據(jù)。然后在“setXvalues”中輸入起始值和步長(zhǎng)。5、點(diǎn)擊OK，得到下圖：...6、利

8、用ORIGIN提供的工具可以方便的進(jìn)行平滑、位移。A.位移：1）如圖：選擇analysisàtranslateàvertical或horizontal可以進(jìn)行水平或垂直方向的位移。我們以水平位移為例進(jìn)行講解。2）在圖中雙