XPS Peak分峰步驟 origin.doc

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1、實(shí)驗(yàn)條件：樣品用VGScientificESCALab220i-XL型光電子能譜儀分析。激發(fā)源為AlKαX射線，功率約300W。分析時(shí)的基礎(chǔ)真空為3×10-9mbar。電子結(jié)合能用污染碳的C1s峰（284.6eV）校正。X-rayphotoelectronspectroscopydatawereobtainedwithanESCALab220i-XLelectronspectrometerfromVGScientificusing300WAlKαradiation.Thebasepressurewasabout3×10-9mbar.

2、ThebindingenergieswerereferencedtotheC1slineat284.6eVfromadventitiouscarbon.XPS數(shù)據(jù)考盤后的處理數(shù)據(jù)步驟數(shù)據(jù)是.TXT文件，凡是可以打開TXT文件的軟件都可以使用。下面以origin5.0為例：1.open文件，可以看到一列數(shù)據(jù)，找到Region1(一個(gè)Region對(duì)應(yīng)一張譜圖)。2.繼續(xù)向下找到KineticEnergy，其下面一個(gè)數(shù)據(jù)為動(dòng)能起始值，即譜圖左側(cè)第一個(gè)數(shù)據(jù)。用公式BE始=1486.6-KE始-j換算成結(jié)合能起始值，j是一個(gè)常數(shù)值，即荷電位移

3、，每個(gè)樣品有一個(gè)值在郵件正文中給出。3.再下面一個(gè)數(shù)據(jù)是步長(zhǎng)值,如0.05或0.1或1，每張譜圖間有可能不一樣。4.繼續(xù)向下8行,可以找到401或801這樣的數(shù)，該數(shù)為通道數(shù)，即有401或801個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)。5.再下面的數(shù)據(jù)開始兩個(gè)數(shù)據(jù)是脈沖，把它們舍去，接下來(lái)的401或801個(gè)數(shù)據(jù)都是Y軸數(shù)據(jù)，將它們copy到B(Y)。6.X軸：點(diǎn)A(X)，再點(diǎn)右鍵，然后點(diǎn)setcolumnvalues，出現(xiàn)一個(gè)對(duì)話框，在from中填1，在to中填401(通道數(shù))，在col(A)中填BE始-0.05*(i-1)，最后點(diǎn)doit。7.此時(shí)即可以作出一張

4、圖。8.從Region2可以作出第二張圖。依此類推。XPSPeak分峰步驟1．將所拷貝數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成所需格式：把所需擬合元素的數(shù)據(jù)引入Origin后，將columnA和B中的值復(fù)制到一空的記事本文檔中（即成兩列的格式，左邊為結(jié)合能，右邊為峰強(qiáng)），并存盤。如要對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行去脈沖處理或截取其中一部分?jǐn)?shù)據(jù)，需在Origin中做好處理。1．打開XPSPeak，引入數(shù)據(jù)：點(diǎn)Data----Import(ASCII)，引入所存數(shù)據(jù)，則出現(xiàn)相應(yīng)的XPS譜圖。2．選擇本底：點(diǎn)Background，在所出現(xiàn)的小框中的HighBE和LowBE下方分別選取本底

5、的起始和終點(diǎn)位置，則本底將連接這兩點(diǎn)，Type可據(jù)實(shí)際情況選擇。3．選峰：點(diǎn)Addpeak，出現(xiàn)小框，在PeakType處選擇s、p、d、f等峰類型（如C1s峰則選s，S2p峰則選p），在Position處選擇希望的峰位，需固定時(shí)則點(diǎn)fix前小方框，同法還可選半峰寬（FWHM）、峰面積等。各項(xiàng)中的constraints可用來(lái)固定此峰與另一峰的關(guān)系，如Pt4f7/2和Pt4f5/2的峰位間距可固定為3.45，峰面積比可固定為4:3等。點(diǎn)Deletepeak可去掉此峰。然后再點(diǎn)Addpeak選第二個(gè)峰，如此重復(fù)。4．選好所需擬合的峰個(gè)數(shù)

6、及大致參數(shù)后，點(diǎn)Optimiseregion進(jìn)行擬合，觀察擬合后總峰與原始峰的重合情況，如不好，可以多次點(diǎn)Optimiseregion。5．?dāng)M合完成后，分別點(diǎn)另一個(gè)窗口中的RigionPeaks下方的0、1、2等可看每個(gè)峰的參數(shù)，此時(shí)XPS峰中變紅的為被選中的峰。如對(duì)擬合結(jié)果不滿意，可改變這些峰的參數(shù)，然后再點(diǎn)Optimiseregion。6．點(diǎn)SaveXPS存圖，下回要打開時(shí)點(diǎn)OpenXPS就可以打開這副圖繼續(xù)進(jìn)行處理。7．點(diǎn)Data――Printwithpeakparameters可打印帶各峰參數(shù)的譜圖，通過峰面積可計(jì)算此元素在

7、不同峰位的化學(xué)態(tài)的含量比。8．點(diǎn)Data――Exporttoclipboard，則將圖和數(shù)據(jù)都復(fù)制到了剪貼板上，打開文檔（如Word文檔），點(diǎn)粘貼，就把圖和數(shù)據(jù)粘貼過去了。9．點(diǎn)Data――Export（spectrum），則將擬合好的數(shù)據(jù)存盤，然后在Origin中從多列數(shù)據(jù)欄打開，則可得多列數(shù)據(jù)，并在Origin中作出擬合后的圖。