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《真空蒸發(fā)制備ⅱ-ⅵ族硒化物薄膜及其性能研究》由會員上傳分享，免費在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在學(xué)術(shù)論文-天天文庫。
1、內(nèi)蒙古人學(xué)碩J1學(xué)位論立真空蒸發(fā)制各II—VI族硒化物薄膜及其性能研究張葉指導(dǎo)教N-李蓉萍教授摘要在真空度達到3X10。Pa以上時，用真空蒸發(fā)技術(shù)在玻璃襯底上獲得了ZnSe、CdSe、(Zn，Cd)Se三種類型的II—VI族硒化物薄膜。為了改善其性能，我們在不同條件下對薄膜進行了熱處理。通過x射線衍射儀、分光光度計等測試分析，研究了不同工藝條件對上述薄膜性能的影響以及熱處理前后薄膜的結(jié)構(gòu)、光學(xué)特性。結(jié)果表明，經(jīng)優(yōu)化工藝后，我們得到三種性能穩(wěn)定，結(jié)晶完善的典型II—vI族硒化物薄膜。在室溫下制備的ZnSe薄膜呈灰黑色和黑紅色，透過率較低。熱處理后，薄膜在
2、近紅外和可見光范圍內(nèi)具有較好的透過率。隨著熱處理溫度的升高，薄膜的衍射峰增強，500℃后衍射峰有所下降。CdSe薄膜成膜困難，通過對不同工藝的比較選擇，我們發(fā)現(xiàn)蒸發(fā)電流和熱處理溫度都不易過高。對薄膜熱處理后，具有沿[100]晶向的擇優(yōu)取向。薄膜具有良好的透過率，其峰值均在70％以上。對于三元化合物，我們通過選取不同比例的Zn、Cd、Se粉末，選擇合適的工藝條件可得到均勻的(Zn，Cd)Se薄膜。在近紅外范圍內(nèi)，薄膜具有良好的透過率。隨Zn成份的增加，透過率增強，而當(dāng)Cd成份增加時，透過率減弱。對薄膜進行熱處理后，薄膜具有閃鋅礦結(jié)構(gòu)。當(dāng)分別增加zn與Cd
3、單質(zhì)的量時，薄膜的衍射峰增強，但其結(jié)構(gòu)不發(fā)生變化。關(guān)鍵詞：II—vI族硒化物，薄膜，真空蒸發(fā)內(nèi)蒙古人學(xué)順1。學(xué)位論文PRoPERTYSTUDYoFII．VISELENIUMCoMPoUNDTHINFILMSPREPAREDBYVACUUMEVAPoRATIoNZHANGYESUPERV【SoR：PROELIRoNGPINGABSTRACTBeyond3×10～Pavacuumdegree，threetypicalII—Vlseleniumcompoundthinfilms，ZnSe、CdSe，(Zn，Cd)Se，havebeenobtainedbyva
4、cuumevaporationtechniqueonthesubstrateofglass．Inordertoimprovethecrystalhnity,weannealedthefilmsindifferenttemperatureandtime．BythemeasurementandanalysiswiththeaidofX-Raydiffraction(XRD)andspectralphotometerthestructureandoptic-characteristicsofthefilms，andtheeffectsofdifferentt
5、echnologicalconditions，arestudiedrespectivelybeforeandafterheattreatment．TheresultsshowwecanobtainthreetypicalII—VIfilmswhichhavestablepropertyandbettercrystallinity．Atasubstrateofroomtemperature，ZnSefilmsappeargrayishandreddishblackwithlowtransmission．Afterheattreatment，thinfil
6、mshavehightransmissioninvisibleandnearinfraredspectralrange．Theintensitygraduallystrengthentilltheannealingtemperaturereach500V．TheCdSefilmsaredifficulttoobtain，comparedandselectedbysomedifferenttechnicalconditions，evaporationcurrentandannealingtemperaturearetoohightobeusefultof
7、ormationofthecompound．Annealedthinfilmspreferorientationalongcrystalplane【loo]，theyshowbeRertransmissionofabove70％．Asforternarycompounds、bydifferentchoiceofthechemicalcompositionofZn、CdandSepowder,wecanobtainuiform(Zn，Cd)Sethinfilmsinpropertechnicalconditions．Nearinfraredtransmi
8、ssionstrengthenwiththeincrementofZncontent，wher
