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《可調(diào)諧fbar用bst薄膜介電性能的研究》由會(huì)員上傳分享，免費(fèi)在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在學(xué)術(shù)論文-天天文庫(kù)。
1、華中科技大學(xué)碩士學(xué)位論文3.4本章小結(jié).............................................................................................344摻雜Rb的BST薄膜的研究..............................................................364.1引言......................................................
2、...............................................364.2Rb摻雜對(duì)BST薄膜微觀結(jié)構(gòu)的影響.............................................364.3Rb摻雜對(duì)BST薄膜介電性能的影響.............................................394.4本章小結(jié).............................................................
3、................................455結(jié)論與展望...........................................................................................475.1結(jié)論....................................................................................................475.2展望......
4、...............................................................................................47致謝...........................................................................................................49參考文獻(xiàn).......................................
5、............................................................51V華中科技大學(xué)碩士學(xué)位論文1緒論1.1FBAR概述1.1.1FBAR研究背景隨著時(shí)代的發(fā)展，人們對(duì)移動(dòng)通信的需求急劇增加，傳統(tǒng)的語(yǔ)音通話和收發(fā)短信已經(jīng)遠(yuǎn)遠(yuǎn)不能滿足人們的需要，高清視頻、超清圖片以及高速網(wǎng)上沖浪成為人們對(duì)移動(dòng)通信的新需求。因此，繼第一代第二代移動(dòng)通信系統(tǒng)之后，第三代通信系統(tǒng)應(yīng)運(yùn)而生，到目前為止已經(jīng)基本全面實(shí)現(xiàn)商業(yè)化，支持更高傳輸速率的第四代通信技術(shù)也在飛速發(fā)展，
6、有關(guān)第五代通信系統(tǒng)的實(shí)驗(yàn)室研究也已經(jīng)在探索之中。移動(dòng)通信日新月異的發(fā)展對(duì)所用射頻器件的性能要求越來(lái)越高，不僅要求器件工作在更高的頻率，擁有極低的功耗，而且對(duì)器件的微型化、集成化提出了新的要求?，F(xiàn)代通信系統(tǒng)中的許多器件都已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了集成化，極大地減小了通信設(shè)備的體積，如低噪聲放大器、混頻器等均可以集成到射頻電路中，但是一些無(wú)源器件尤其是射頻濾波器的集成還比較難以實(shí)現(xiàn)。現(xiàn)代移動(dòng)通信系統(tǒng)均需要射頻濾波器來(lái)進(jìn)行有用信號(hào)的選取，目前射頻通信中常[1][2]用的濾波器主要包括：陶瓷介質(zhì)濾波器、聲表面波(SAW)
7、濾波器以及近年來(lái)方興[3]未艾的FBAR濾波器。介質(zhì)濾波器雖然具有較高的功率容量、非常低的插入損耗以及較高的Q值等，但是它的缺點(diǎn)也顯而易見(jiàn)，大且笨重的體積、較低的工作頻率以及無(wú)法集成化，越來(lái)越難以滿足現(xiàn)代移動(dòng)通信的需要。聲表面波濾波器雖然具有較小的幾何尺寸，相當(dāng)高的優(yōu)值因子，但是極細(xì)的叉指電極導(dǎo)致其不能承受較高的功率，除此之外聲表面波的工作頻率與叉指電極的寬度和指間距有關(guān)，由于現(xiàn)有工藝的限制，聲表面波濾波器的工作頻率一般不超過(guò)2GHz，而且它同樣不能與現(xiàn)代成熟的半導(dǎo)體工藝兼容，嚴(yán)重限制了聲表面波濾
8、波器的應(yīng)用范圍，同樣不能滿足現(xiàn)代移動(dòng)通信微型化、集成化的要求。而FBAR作為一種新發(fā)展起來(lái)的濾波器，它不僅兼有介質(zhì)陶瓷濾波器功率容量大、損耗低的優(yōu)點(diǎn)，而且還具有聲表面波濾波器小尺1華中科技大學(xué)碩士學(xué)位論文寸、高優(yōu)值因子的特點(diǎn)，同時(shí)它的最高工作頻率可以達(dá)到20GHz，更為重要的是它可以與現(xiàn)代半導(dǎo)體工藝兼容，可以滿足濾波器集成化的要求，因此，薄膜體聲波濾[4]波器被認(rèn)為具有極大的發(fā)展?jié)摿?，?-1列出了三種濾波器技術(shù)的優(yōu)缺點(diǎn)。表1-1介質(zhì)陶瓷、聲表面波、薄膜體聲波三種濾波器的比較Cer
