基于BST鐵電薄膜的微帶型微波調(diào)諧器件研究

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1、上海交通大學(xué)博士后士學(xué)位論文基于BST鐵電薄膜的微帶型微波調(diào)諧器件研究姓名：丁永平申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：博士后士專業(yè)：材料科學(xué)與工程指導(dǎo)教師：吳建生2002.3.1 授提洪萃人在季港的工作機(jī)全。否則，支串實(shí)驗(yàn)難以完成。再次感謝人事處沈涪科長、姚訓(xùn)副處長和毛大立處長和材科系扁平南書記辱領(lǐng)導(dǎo)的美心還有一件非常睪運(yùn)的事情是和一個(gè)乃公室的島清超博士、趙斌博士、張全成博士、徐寒 第一章引言?瓸?鐵電薄膜的介電非線性如下定義：????????????????? ???????虰? ???贐?薄膜介電調(diào)微波器件概念及應(yīng)用領(lǐng)域???．?

2、允玖艘恢秩跖己鮮淙朧涑鑫⒋?癡衿???。?卻?????的結(jié)構(gòu)‰，一』?一∈蚤甕?一州圖??一種微帶諧振器的結(jié)構(gòu)示意圖及等效電路圖?????? 圖??一種共平面波導(dǎo)的結(jié)構(gòu)示意圖及等效電路圖恤 ????????????? 和實(shí)踐：并且，電壓的控制性在實(shí)踐上優(yōu)于電流的控制性。二，大大壓縮體積和??是一個(gè)平面移相陣列的實(shí)物圖，??實(shí)驗(yàn)室????????????琾???? ???????????????????，阿貢國家實(shí)驗(yàn)室?????????????，???????，?，??⒍虐罟?綶??戎饕2嘀谺?薄膜的工藝、結(jié)構(gòu)和性

3、能???∧せ?∥錮硇閱芊矯娣⒈砹搜芯抗ぷ鰲????。國內(nèi)，南京大學(xué)，中科院上以評(píng)估可能的結(jié)果。好的電路通常需要采用標(biāo)準(zhǔn)的半導(dǎo)體光刻工藝實(shí)現(xiàn)。 ????把’?????．驀?猺：??? ?秓×等??猄。?㈣圖??網(wǎng)絡(luò)分析儀測試單端??阻抗原理?則???境鐾?綬治鲆遣饈緣ザ絲詼韻笞榪溝腦?懟ＮA瞬饈訠?圖??芯片原位微波測試系統(tǒng)和測試探頭．?． 共面電容模型與薄膜微波介電參數(shù)測試?yán)脴?gòu)建在薄膜表面的容性阻抗，可以計(jì)算相應(yīng)薄膜材料的介電性質(zhì)。無、從?．??可以看到，通過測量構(gòu)建在??∧け礱嫻墓裁嫻縟蕕腟?參數(shù)，即 ??

4、???????????????介電測試結(jié)果與討論結(jié)?．?． 在相同的頻率段，三臺(tái)儀器的測試結(jié)果十分一致。介電常數(shù)大小區(qū)別小于?ィ?櫚縊鷙腦???笥衣韻圓煌?鶴榪狗治鲆荋???給出的損耗量稍大測試結(jié)果還表明，從???絀??珺?薄膜的介電常數(shù)保持平坦，基?????????暝贏????????。介質(zhì)馳豫認(rèn)為起源于薄膜中氧空位缺陷極化。 呢，還是反應(yīng)了??∧さ謀菊饜災(zāi)?其二，氧空位缺陷極化是否誘致在該頻弋～圖????庋猶?綾∧さ奈南撞饈越峁????俏⒉ㄍㄑ兜鬧饕8哺瞧刀吻?頡??介質(zhì)薄膜的隙的共平面電容的介電頻譜測試結(jié)果

5、。隨著共面電容間隙?? 吒??家籆??????‘，?狤???疌??。?猣????? 提取則需要借助更加復(fù)雜的電磁場分析模型。．?． ?????虰??????階櫸痔卣韉腂?薄膜經(jīng)常被研究作室溫室?????薄膜的性．?． 圖????????????????????虰?．??單晶外延??∧ね吵菩枰3粱?誥哂邢嗨憑Ц裉卣韉牡ゾЩ??稀?? 圖???????沾砂蠿?圖譜???????虰?????，保持?表面的??∧さ?．????，見???．?中插圖。半高寬數(shù)值越小，薄膜在垂 △?。??分別為????．?。焉§?孑曼?圖??

6、庋覤??????疞?????結(jié)構(gòu)典型的??譜???甌????雜????甴。?篢??．???????。、。?????????????．．?． 內(nèi)與基片也外延一致。其外延程度用??—??峰的半高寬表示，△???，。例如，?鸉????。然后利用以下關(guān)系式，確定?琧：?以及可以看到一些空隙??．???：??勻晶粒現(xiàn)象消失，薄膜變得光滑，粒子均勻??面變得更加光滑，至???能保證滿意的結(jié)構(gòu)和外延特性。更高 ?，在目前實(shí)驗(yàn)技術(shù)上實(shí)現(xiàn)有困難，未予研究。圖??不同沉積溫度下??∧の⒔峁筍?照片?????：??，??? ?????

7、?痜。???????????∞???????識(shí)，尚存在理論上和實(shí)踐上的爭論和不確定，不同文獻(xiàn)往往有不同的實(shí)驗(yàn)結(jié)果和觀點(diǎn)。因此，在實(shí)驗(yàn)中繼續(xù)研究其規(guī)律，在實(shí)踐和理論兩方面均有意義。?????疞?結(jié)構(gòu)中，氧壓力對(duì)薄膜應(yīng)力和微波介???疢?結(jié)構(gòu)的研究結(jié)果。?，從???的氧壓條件下退火?第一章介紹的方法測試。作為??∧???外延的主要指數(shù)，?????萬???示于???．?。 差。這可能因?yàn)檩^大的晶格常數(shù)失配的緣故。例如???的外延性。圖??粱?躚沽Χ訠????．???????????????．?． 的正交畸變系數(shù)?痑強(qiáng)烈

8、依賴沉積氧壓力，見????。在????躚沽Ψ段Ъ本綾浠??????變達(dá)到??％。??????????????．?． 下沉積的??∧さ慕櫚緄饜陳實(shí)停??，????調(diào)諧率明顯增加。其中????下沉積薄膜的調(diào)諧率達(dá)到?％，和極小的介質(zhì)到?％、損耗小于?サ耐庋覤?．?． 電調(diào)諧率。?????櫸直∧ぃ?魑狹?上的研究對(duì)象。因?yàn)?????菊骶永鏤露冉螧?????????? ??段?。?/p>