自適應(yīng)電控液晶微透鏡及透鏡陣列

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1、摘要自適應(yīng)電控液晶透鏡及其陣列作為一種靈巧光學(xué)器件,具有體積小、重量輕、功能強(qiáng)、響應(yīng)速度快等特點(diǎn),其焦距等光學(xué)參量由所施加的電壓控制,調(diào)節(jié)方便。因其良好的電控光學(xué)特性,在自適應(yīng)光學(xué)、高性能成像探測、光通信、光互聯(lián)以及光束整形等領(lǐng)域,具有廣泛的應(yīng)用前景。本文第一章簡述了課題背景。第二章介紹了液晶材料特性,詳細(xì)分析了向列相液晶的指向矢、介電各向異性、彈性自由能密度以及電光效應(yīng)等物理性質(zhì)。在第三章中,根據(jù)向列相液晶的物理特征,提出了單元和陣列液晶微透鏡結(jié)構(gòu)并確定了器件參數(shù)范圍。以電磁場理論為基礎(chǔ),利用拉普拉斯差分迭代法,對器件所要求的電場分布進(jìn)行了計(jì)算并圖形顯示。仿真結(jié)果與預(yù)期效果相符,為器件制作

2、提供了依據(jù)。在第四章中,介紹了制作器件的工藝流程。首先,利用L-edit軟件,設(shè)計(jì)了用于制作器件電極的光刻版圖;然后通過光刻、顯影、濕法刻蝕等制作了電極結(jié)構(gòu);通過涂布聚酰亞胺、PI固化以及摩擦等,制作了液晶的定向?qū)咏Y(jié)構(gòu);最后,經(jīng)制作液晶結(jié)構(gòu)的隔離介質(zhì)、加注液晶、器件封裝等,獲得了單元及陣列液晶微透鏡。通過實(shí)驗(yàn),建立一整套制作器件的工藝流程,確定了關(guān)鍵性的工藝參數(shù)。在第五章中,設(shè)計(jì)并構(gòu)建了測試器件的電/光性能指標(biāo)的測試光路,對器件的光焦斑尺寸,焦距隨電壓的變化以及在單色光照射下的干涉情況等進(jìn)行了測試。結(jié)果表明,液晶器件的電控響應(yīng)時間,焦斑尺寸,焦深等性能指標(biāo)都達(dá)到了預(yù)期目標(biāo)。最后,對全文工作進(jìn)

3、行了總結(jié),對后續(xù)工作提出了展望和建議。關(guān)鍵詞:向列相液晶,仿真,液晶透鏡,液晶結(jié)構(gòu)定向,常規(guī)光學(xué)性能測試IAbstractElectricallycontrolledliquidcrystal(LC)lensandlensarray,asakindofsmartadaptiveopticaldevice,haveseveralparticularcharacteristics,forinstance,smallsize,lightweight,highperformance,andfastresponse,andsoon.Theirfocallengthandotheropticalpara

4、meterscanbemodulatedconvenientlybyapplyingvoltagewithvariableRMSvalue.Becauseofthebestelectricallycontrollableopticalperformance,itcanbewidelyusedinmanyapplicationfieldssuchasadaptiveoptics,high-performanceimagingdetection,opticalcommunications,opticalinterconnects,beamshaping,etc.Thechapter1introd

5、ucedthebackgroundoftheproject.Thechapter2presentedtheLCmaterialproperties,andgaveacarefulanalysisofthephysicalpropertiesofnematicLCincludingLCdirector,dielectricanisotropy,elasticfreeenergydensity,andelectro-opticaleffects.Inchapter3,thestructuresofasingleLClensandlensarraywereproposedaccordingtoth

6、ephysicalpropertiesofthenematicLCandneededdevicestructure,andthustheparametersofthedeviceweredetermined.Basedontheelectromagneticfieldtheory,theelectricfielddistributionrequiredwascalculatedbythemethodofLaPlacedifferenceiterative,andtheresultswereshowningraphics.Thesimulationwasincommonwiththeexpec

7、tationsoastoprovideabasisfordevicedesigningandfabrication.Inchapter4,thefabricationprocessesofthedevicewereintroduced.Firstly,thephotomaskforfabricatingthecontrollingelectrodeoveronesideofthedevicewasdesign

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