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《納米電子技術(shù)的發(fā)展與展望new》由會員上傳分享，免費(fèi)在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在教育資源-天天文庫。
1、納米電子技術(shù)的發(fā)展與展望劉長利ａ，沈雪石ａ，張學(xué)驁ｂ，劉書雷ａ（國防科技大學(xué)ａ．武器裝備發(fā)展研究中心；ｂ．理學(xué)院，長沙４１００７３）摘要：納米電子技術(shù)研究是提升國家核心競爭力和搶占科技制高點(diǎn)的戰(zhàn)略選擇，是我國實(shí)現(xiàn)信息科學(xué)技術(shù)跨越發(fā)展的主要途徑。闡述了納米電子技術(shù)研究的重要地位，梳理了納米電子技術(shù)的主要研究方向和關(guān)鍵技術(shù)，重點(diǎn)研究了納米電子技術(shù)的最新發(fā)展動向，并對其發(fā)展前景進(jìn)行了展望。認(rèn)為納米電子技術(shù)是微電子技術(shù)發(fā)展的必然趨勢，是催生新型信息器件的重要溫床，是實(shí)現(xiàn)量子計(jì)算的主要途徑。新型電子元器件的不斷涌現(xiàn)，有望使摩爾定律得到延續(xù)和擴(kuò)展
2、，石墨烯研究的突破將可能使碳基ＣＭＯＳ逐漸取代硅基ＣＭＯＳ，碳納米管的發(fā)展將使納米集成電路走向應(yīng)用，憶阻器將可能取代晶體管。關(guān)鍵詞：納米電子技術(shù)；納米電子器件；石墨烯；碳納米管；憶阻器中圖分類號：ＴＮ４文獻(xiàn)標(biāo)識碼：Ａ文章編號：１６７１－４７７６（２０１１）１０－０６１７－０６ＤｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔａｎｄＰｒｏｓｐｅｃｔｏｆＮａｎｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙａ，ＳｈｅｎＸｕｅｓｈｉａ，ＺｈａｎｇＸｕｅａｏｂ，ＬｉｕＳｈｕｌｅｉａＬｉｕＣｈａｎｇｌｉ（ａ．ＡｒｍａｍｅｎｔＲｅｓｅａｒｃｈＣｅｎｔｅｒ；ｂ．ＣｏｌｌｅｇｅｏｆＳ
3、ｃｉｅｎｃｅ，ＮａｔｉｏｎａｌＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＤｅｆｅｎｓｅＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｃｈａｎｇｓｈａ４１００７３，Ｃｈｉｎａ）Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｈｅｒｅｓｅａｒｃｈｏｆｎａｎｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙｉｓｔｈｅｓｔｒａｇｅｔｉｃｃｈｏｉｃｅｏｆｐｒｏｍｏｔｉｎｇｋｅｙｃｏｍ－ｐｅｔｉｔｉｖｅｎｅｓｓａｎｄｓｅｉｚｉｎｇｔｈｅｃｏｍｍａｎｄｉｎｇｈｅｉｇｈｔｓｏｆｓｃｉｅｎｃｅａｎｄｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，ａｎｄｉｔ＇ｓａｍａｉｎａｐ－ｐｒｏａｃｈｔｏａｃｈｉｅｖｅｔｈｅｌｅａｐｉｎｇ－ｏｖｅｒｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎ
4、ｔｏｆｉｎｆｏｒｍａｔｉｏｎｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ．Ｔｈｅｉｍｐｏｒｔａｎｔｓｔａｔｕｓ，ｍａｉｎｒｅｓｅａｒｃｈｄｉｒｅｃｔｉｏｎｓａｎｄｋｅｙｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙａｒｅｉｌｌｕｓｔｒａｔｅｄ．Ｔｈｅｌａｔｅｓｔｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔｔｒｅｎｄｓａｎｄｆｕｔｕｒｅｅｘｐｅｃｔａｔｉｏｎａｒｅｅｍｐｈａｓｉｚｅｄ．Ｎａｎｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙｉｓｔｈｅｎａｔｕｒａｌｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔｒｅｓｕｌｔｏｆｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，ｉｍｐｏｒｔａｎｔｓｏｕｒｃｅｏｆｎｅｗｉｎｆｏｒｍａｔｉｏｎｄ
5、ｅｖｉｃｅｓａｎｄｍａｉｎｗａｙｔｏａｃｈｉｅｖｅｑｕａｎｔｕｍｃｏｍｐｕｔｉｎｇ．Ｔｈｅｅｍｅｒｇｉｎｇｎｅｗｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｃｏｍｐｏｎｅｎｔｓａｒｅｅｘｐｅｃｔｅｄｔｏｃｏｎｔｉｎｕｅａｎｄｅｘ－ｔｅｎｄＭｏｏｒｅ＇ｓＬａｗ．Ｔｈｅｂｒｅａｋｔｈｒｏｕｇｈｉｎｔｈｅｇｒａｐｈｅｎｅｒｅｓｅａｒｃｈｗｉｌｌｌｅａｄｔｏｇｒａｄｕａｌｒｅｐｌａｃｅｍｅｎｔｏｆｓｉｌｉｃｏｎ－ｂａｓｅｄＣＭＯＳｂｙｃａｒｂｏｎ－ｂａｓｅｄＣＭＯＳ．Ｔｈｅｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔｏｆｃａｒｂｏｎｎａｎｏｔｕｂｅｓｗｉｌｌａｃｃｅｌｅ－ｒａｔｅｔｈｅｐ
6、ａｃｅｏｆａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｏｆｎａｎｏｍｅｔｅｒＩＣｓ．Ｍｅｍｒｉｓｔｏｒｓｃｏｕｌｄｒｅｐｌａｃｅｔｒａｎｓｉｓｔｏｒｓ．Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｎａｎｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ；ｎａｎｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｄｅｖｉｃｅ；ｇｒａｐｈｅｍｅ；ｃａｒｂｏｎｎａｎｏｔｕｂｅ；ｍｅｍｒｉｓｔｏｒＤＯＩ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１６７１－４７７６．２０１１．１０．００１ＥＥＡＣＣ：２５００收稿日期：２０１１－０５－２０Ｅ－ｍａｉｌ：ｌｉｕｃｈａｎｇｌｉ１２３＠ｇｍａｉｌ．ｃｏｍ２０１１年１０月微納電子技術(shù)第４８卷第１０期
7、６１７劉長利等：納米電子技術(shù)的發(fā)展與展望義可能比晶體管取代真空電子管的意義還要大。此０引言外，納米電子因其特有的物理效應(yīng)，更易于與光電納米電子技術(shù)是在納米尺度（１～１００ｎｍ）研究子、生物、機(jī)械等技術(shù)融合發(fā)展，可以制成光電器物質(zhì)的電子運(yùn)動規(guī)律、特性及其應(yīng)用的科學(xué)技術(shù)，件、分子器件、納機(jī)電系統(tǒng)、納米機(jī)器人等，將導(dǎo)并利用這些特征規(guī)律生成納米電子材料、器件和系致信息領(lǐng)域及整個科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域出現(xiàn)重大突破，對統(tǒng)。納米電子器件以其固有的超高速（１０－１２人類生產(chǎn)和生活方式產(chǎn)生革命性影響?！保常保埃螅⒊哳l（大于１０００ＧＨｚ）、高集成度１．３
8、實(shí)現(xiàn)量子計(jì)算的主要途徑（大于１０１０元器件／ｃｍ２）、高效低功耗、極低閾值電納米電子技術(shù)的發(fā)展有助于構(gòu)筑新型納米量子流密度（亞毫安）和極高量子效率等特點(diǎn)在信息領(lǐng)器件，如單電子晶體管、自旋電子存儲器、單原子域有著極其重要的
