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《nio薄膜制備及其光學(xué)特性的研究》由會員上傳分享，免費在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在學(xué)術(shù)論文-天天文庫。
1、長春理工大學(xué)碩士學(xué)位論文原創(chuàng)性聲明本人鄭重聲明：所呈交的碩士學(xué)位論文．(NiO薄膜的制備及其光學(xué)特性的研究》是本人在指導(dǎo)教師的指導(dǎo)下，獨立進行研究工作所取得的成果。除文中已經(jīng)注明引用的內(nèi)容外．本論文不包臺任何其他個人或集體已經(jīng)發(fā)表或撰寫過的作品成果。對本文的研究做出重要貢獻的個人和集體，均已在文中以明確方式標(biāo)明。本人完全意識到本聲明的法律結(jié)果由本人承擔(dān)。作者簽名：邋蘭!堡年—三月芝日長春理工大學(xué)學(xué)位論文版權(quán)使用授權(quán)書本學(xué)位論文作者及指導(dǎo)教師完全了解“長春理工太學(xué)碩士、博士學(xué)位論文版權(quán)使用規(guī)定”．同意睦春理工大學(xué)保留并向中國辯學(xué)信息研究所、中國優(yōu)秀博碩士學(xué)位論文
2、全文數(shù)據(jù)庫和CNKI系列數(shù)據(jù)庫及其它國家有關(guān)部門或機構(gòu)送交學(xué)位論文的復(fù)印件和電子版．允許論文被查閱和借閱。本人授權(quán)長春理工大學(xué)可以將本學(xué)位論文的全部或部分內(nèi)容編入有關(guān)數(shù)據(jù)庫進行檢索，也可采用影印、縮印或掃拙等復(fù)制手段保存和匯編學(xué)位論文。作者簽名：邋—90—12-年三月盟閂導(dǎo)師簽名：蘭麴摘要NiO是一種用途廣泛的半導(dǎo)體材料．通常以綠色粉末狀存在，它的分子量為74．70。具有立方晶體結(jié)構(gòu)。在功能材料中，NiO薄膜具備了許多優(yōu)異的性能．在熱敏元件、氣敏元件、光探測器等電子元件方面具有良好的應(yīng)用前景，NiO薄膜的制備工藝有很多種，主要有脈沖激光沉積技術(shù)．溶膠凝膠法．化
3、學(xué)氣相沉積技術(shù)。噴霧熱解法．分子束外延技術(shù)等等。各種制各工藝備具特點。這些制各技術(shù)及其制備時的工藝參數(shù)都會對NiO薄膜的厚度、表面形貌、結(jié)晶趨向以及光學(xué)、電學(xué)特性等性質(zhì)有一定的影響。本論文采用射頻反應(yīng)磁控濺射法制各了Ni0薄膜，并研宄了濺射氣壓，濺射功率及氧氬比對Ni0薄膜結(jié)構(gòu)、光學(xué)等性質(zhì)的影響．本論文在制各了NiO薄膜基礎(chǔ)上．利用現(xiàn)有的實驗條件制備了基于NiO薄膜的pn結(jié)型紫外探測器原理器件．并對器件的紫外光敏特性進行了初步研究，最后給出了結(jié)論。關(guān)鍵詞：NiO薄膜射頻磁控濺射光學(xué)特性紫外探測器ABSTRACTNiOisakindofsemiconductor
4、materialswhichlswidelyused．itisusuallyexistenceintheformofgreenoreItsmolecularweightis7470．ithasacubiccrystallinestructureNiOhasmanyexcellentpropertiesaslhnctionalmaterials；ithasagoodapplicationprospectinthermosensitiveelements。gas·sensitiveelements，lightdetectorsandotherelectmnicco
5、mponentsTherearemanyrnethodsloformNiO山infilm．“inchidespulsedlaserdeposldon(PLD)，S01．gel，metalorgmlicchemicalvapourdeposition(MOCVD)，spraypyrolysis，molecularbeamepitaxy(MBE)andsoonThepropeaiesofNiOthinfilmisstronglydependonthepreparationmethods，andeachpreparationparmrtetersstronglyef
6、fectonthethickness，thesurfacemorphology,crystallizationandopticalandelectricalpropertiesofNiOminfilmsInthispaper，NiOthinfilmswe爬grownonbyradiofrequencyreacdvemagaetronsputteringmethodTheeffectsofspuneringIcchnologiealpargtmeterssuchasthespuaefingo"ssm．sputteHngpowerandtheO／Atrationo
7、fNiOthinfilmonthestructuralandpropertiesofNiOthinfilmswereinvestigated．BasedoilthesuccessfullypreparationofNiOthinfilms，theNiO-basedultravioletdetectorwithapnjunctionstmcturewerefabricatedandtheultravioletphotosensitivepropertiesofthedeviceweminvestigatedFinally80meconclusionsweredr
8、awnKeywords：NiOthin
