納米銀結(jié)構(gòu)陣列的局域表面等離激元特性仿真及其在提高摻氧氮化硅發(fā)光效率中的應(yīng)用研究

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5、ｏｘｉｄｉｚｅｄｓｉｌｉｃｏｎｎｉｔｒｉｄｅｆｉｌｍｓａｎｄｉｔｓａｐＵｃａ杜ｏｎｏｎｔｈｅｅｎｈａｎｃｅｍｅｎｔｏｆｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅｐｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙＤｉｓｓｅｒｔａｔｉｏｎｆｏｒＭａｓｔｅｒＤｅｒｅｅ（ｇ）ＡｕｔｈｏｒＺｈａｎＷｅｎｉｎｇｐｇＭａｏｒ：ＭｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓａｎｄＳｏｌｉｄＳｔａｔｅＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓｊＳｕｅｒｖｉｓｏｒ：Ｐｒｏｆ．ＭａＺｈｏｎｕａｎｐｇｙＳｃｈｏｏｌｏｆＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃＳｃｉｅｎｃｅ

6、ａｎｄＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇＣｏｌｌａｂｏｒａｔｉｖｅＩｎｎｏｖａｔｉｏｎＣｅｎｔｅｒｏｆＡｄｖａｎｃｅｄＭｉｃｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓＮａｎｉｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔｊｇｙＭａ２０ｔｈ２０１５ｙ畝京大學(xué)研究生畢業(yè)論文中文輸要首頁用紙畢業(yè)論文題目：納米銀結(jié)構(gòu)陣列的局域表面等離激元特性仿真及其在提高橡氧氮化哇發(fā)光效率中的應(yīng)用研究微電子學(xué)與固體電子學(xué)專業(yè)２０１２級碩去生姓名：張文平指導(dǎo)教師（姓若、職稱）：馬忠元教授搞要貴金屬（金、銀）納米結(jié)構(gòu)的局域表面等離激元（ＬＳＰ）近

7、場增強特性是提一髙半導(dǎo)體器件發(fā)光效率的重要途徑之。本論文圍繞有序排列、尺寸可控納米銀－結(jié)構(gòu)陣列的ＬＳＰ對珪基半導(dǎo)體薄膜ａＳｉＮｘ：０材料發(fā)光效率的增強研巧，對不同ａ－Ｓ尺寸納米銀六角陣列在ｉＮｘ：０介質(zhì)中的ＬＳＰ共振特性進行仿真，分析了納米－Ｓ銀六角陣列中納米銀尺寸和間距對實現(xiàn)ＬＳＰ與有源層ａｉＮｘ：０共振賴合的影響，獲得了藍光最佳賴合狀態(tài)的納米銀尺寸。本文計算了最佳尺寸的納米銀陣列在ａ－ＳｉＮｘ：０薄膜藍光激發(fā)下的近場増強、極化模式和垂直福射空間場強分布，為珪基－ａＳｉＮｘ：０薄膜藍光發(fā)射器件最佳厚度

8、設(shè)計提供了理論參考。在此基礎(chǔ)上本文采用聚苯乙?guī)⑿∏蜓谀そY(jié)合激光熱處理的方法制備了尺寸可控的納米銀球殼陣列，發(fā)３００ｎｍａ－Ｓ現(xiàn)直徑為的銀球殼陣列對ｉＮｘ：０薄膜在波長為４２０ｎｍ處的藍光發(fā)射可實現(xiàn)４０倍的增強，變溫光致發(fā)光譜和巧光壽