sno和mn-sno薄膜制備及其物性研究

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1、０４６９單位代碼：１０４２２分類號：２０１３Ｕ４２５密級：：學(xué)號義／＞全ＳＨＡＮＤＯＮＧ欄ＩＶＥＲＳＩＴＹ碩±學(xué)位論文ＴｈｅｓｉｓｆｏｒＭａｓｔｅｒＤｅｇｒｅｅ論文題目ＳｎＯ和Ｍｎ－細Ｏ巧膜制備及其物性研巧：ＰｒｅａｒａｔｉｏｎａｎｄＰｒｏｐｅｒｔｉｅｓＳｔｕｄｙｏｆ化ｔ細０ｐ－ＴｈａｎｄｉｎＦｉｌｍｓＭｎ細Ｏ作者姓名許震巧培養(yǎng)單位物理學(xué)院專業(yè)名稱微電子學(xué)與固體電子學(xué)齡＃娜指導(dǎo)教師代由巧助備合作導(dǎo)師２０１６年５月２０日分類號：口的ｙ單位代碼：

2、１０４２２密級：／學(xué)號（Ｊｉ寺賊八ｆ、ｔ頓ＳＨＡＮＤＯＮＧＵＮＩＶＥＲＳＩＴＹ碩±學(xué)位論文ＴｈｅｓｉｓｆｏｒＭａｓｔｅｒＤｅｇｒｅｅ論文題目－：如禾飛ＷＩ化齡心、約做辦賄倘’＾Ｗ仍化ｅｓ昨細！如巧＾Ｗ－ｆＵｎＳｎＯｒｈ！Ａ作者姓名巧￥ｊｉ培養(yǎng)單位俏嫂《惦專業(yè)名稱指導(dǎo)教師Ｉ《玻中合作導(dǎo)師化東《〇０ｉＵ年月Ｚ日原創(chuàng)性聲明本人鄭重聲明：所呈交的學(xué)位論文，是本人在導(dǎo)師的指導(dǎo)下，獨立進行研究所取得的成果。除文中已經(jīng)注明引用的內(nèi)容外，本論文不包含任何其他個

3、人或集體已經(jīng)發(fā)表或撰寫過的科研成果。對本文的研究作出重要貢獻的個人和集體，均已在文中明確方式標(biāo)明。本聲明的法律責(zé)任由本人承擔(dān)。Ｗ日期＇論文作者簽名：巧乘：Ｍ５、ｌ〇關(guān)于學(xué)位論文使用授權(quán)的聲明本人完全了解山東大學(xué)有關(guān)保留、使用學(xué)位論文的規(guī)定，同意學(xué)校保留或向國家有關(guān)部口或機構(gòu)送交論文的復(fù)印件和電子版，允許論文被查閱和借閱；本人授權(quán)山東大學(xué)可Ｗ將本學(xué)位論文的全部或部分內(nèi)容編入有關(guān)數(shù)據(jù)庫進行檢索，可采用影印、縮印或其他復(fù)制手段保存論文和匯編本學(xué)位論文。保密論文在解密后應(yīng)遵守此規(guī)定（）論文作者簽名：導(dǎo)師

4、簽名日期：＾１￡＿＿山東大學(xué)碩±學(xué)位論文目錄摘要１ＡＢＳＴＲＡＣＴ３一第胃緒論５一第節(jié)研究背景５１丄１自旋電子學(xué)研究進展５１丄２磁性半導(dǎo)體的研究進展６Ｕ．３研究熱點及現(xiàn)象８第二節(jié)理論模型９第Ｈ節(jié)論文選題思路及研究內(nèi)容１０第二章樣品的制備技術(shù)與測試分析儀器．１２一第節(jié)脈沖激光沉積技術(shù)（ＰＬＤ）１２２丄１脈沖激光沉積的原理１３２丄２脈沖激光沉積的優(yōu)缺點１５２丄３簡介實驗室激光脈沖沉積系統(tǒng)１７第二節(jié)黃膜分析測試技術(shù)２０２．２．１Ｘ射線衍射儀

5、２０２（．２．２交變梯度磁強計ＡＧＭ）２２２．２．３雙光束紫外可見分光光度計２３２．４２４．２００型通用型源表２５＝第章ＳｎＯ薄膜制備及其物性研究２６一ＳｎＯ的薄第節(jié)膜生長２６３丄１範(fàn)材制備２６３丄２薄膜的制備２７第二節(jié)ＳｎＯ巧膜的阻變測試２９３２第Ｈ節(jié)小結(jié)－第四章ＭｎＳｎＯ蕉膜制備及其物性表征３３Ｉ山東大學(xué)碩±學(xué)位論文一第節(jié)Ｍｎ慘ＳｎＯ巧膜制備３３第二節(jié)Ｍｎ慘ＳｎＯ的蹈性測量３４Ｈ節(jié)Ｍｎ－ＳｎＯ巧膜的光學(xué)測呈第３７第四節(jié)小結(jié)％第五章總

6、結(jié)與展望３９致謝４１參考獻４３１１山東大學(xué)碩±學(xué)位論文ＣＯＮＴＥＮＴＳＣｈｉｎｅｓｅａｂｓｔｒａｃｔ１Ａｂｓｔｒａｃｔ．．．．３ＣｈａｐｔｅｒｌＩｎｔｒｏｄｕｃｔｉｏｎ５Ｓｅｃｔｉｏｎ１Ｂａｃｋｇｒｏｕｎｄ５１．１．１Ｐｒｏｒｅｓｓｉｎｓｉｎｔｒｏｎｉｃｓ５ｇｐ１．１．２Ｐｒｏｇｒｅｓｓｉｎｍａｇｎｅｔｉｃｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒｓ６１．１．３Ｈｏｔｔｏｉｃｓ８ｐＳｅｃｔｉｏｎ２Ｔｈｅｏｒｉｔｉｃａｌｍｏｄｅｌ９Ｓｅｃｔｉｏｎ３

7、Ｉｄｅａｓａｎｄｃｏｎｔｅｎｔｓｏｆｔｈｉｓｔｈｅｓｉｓ１０Ｃｈａｐｔｅｒ２Ｓａｍｐｌｅｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎａｎｄｔｅｓｔｉｎｇｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ１２Ｓｅｃｔｉｏｎ１Ｐｕｌｓｅｄｌａｓｅｒｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ（ＰＬＤ）１２２．１．１Ｔｈｅｒｉｎｃｉｌｅｏｆｕｌｓｅｄｌａｓｅｒｄｅｏｓｉｔｉｏｎ１３ｐｐｐｐ２．１．２Ｔｈｅａｄｖａｎｔａｇｅｓａｎｄｄｉｓａｄｖａｎｔａｇｅｓｏｆｕｌｓｅｄｌａｓｅｒｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ１５

8、ｐ２．１．３Ｄｉｔｒｏｄｕｃｔｉｏｎｏｆｌａｂｏｒａｔｏｒｙｕｌｓｅｌａｓｅｒｄｅｏｓｉｔｉｏｎｓｓｔｅｍ１７ｐｐｙＳｅｃｔｉｏｎ２Ｔｈｉｎｆｉｌｍａｎ