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1、第29卷第5期無(wú)機(jī)化學(xué)學(xué)報(bào)Vo1．29No．52013年5月CHINESEJOURNALOFINORGANICCHEMISTRY1019．1024GaN薄膜的兩步法制備及其物性轉(zhuǎn)變的研究梁建劉海瑞，1I王曉寧112董海亮12賈偉l衛(wèi)賈虎生l，2許并社l衛(wèi)1太原理工大學(xué)新材料界面科學(xué)與工程教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，太原0300241(太原理工大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院，太原030024)摘要：本實(shí)驗(yàn)通過(guò)水浴加熱和簡(jiǎn)單化學(xué)氣相氨化兩步法，在旋涂有zn0的襯底上成功合成了由排列整齊紡錘體形貌的GaOOH構(gòu)成的薄膜，然后在950℃下對(duì)樣品進(jìn)行氨化得到由排列整齊紡錘體組成
2、的GaN薄膜。然后對(duì)氨化前后樣品的形貌．結(jié)構(gòu)和光學(xué)性能分別通過(guò)FESEM、EDS、TEM、XRD和PL譜進(jìn)行了表征。結(jié)果表明：水熱生成的GaOOH薄膜是由紡錘體形狀GaOOH緊密排列形成，該紡錘體形狀GaOOH有直徑大約600nm，長(zhǎng)約為1．52m。氨化前后樣品的形貌沒(méi)發(fā)生太大的變化：但晶體結(jié)構(gòu)由正交晶系相GaOOH轉(zhuǎn)變?yōu)榱嚼w鋅礦GaN；而且發(fā)光峰也由較寬的綠光峰轉(zhuǎn)變?yōu)橹行臑?65nm的藍(lán)光峰．這主要是由于樣品由正交晶系相GaOOH轉(zhuǎn)變?yōu)榱嚼w鋅礦GaN引起的。最后對(duì)排列整齊的錘體形構(gòu)成的GaOOH薄膜的形成機(jī)理以及GaOOH向GaN的轉(zhuǎn)變過(guò)程發(fā)生
3、的化學(xué)反應(yīng)做了簡(jiǎn)單的探討和分析關(guān)鍵詞：GaOOH薄膜；GaN薄膜；水熱方法；氨化中圖分類(lèi)號(hào)：0649；TN304．23文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼：A文章編號(hào)：1001．4861(2013)05—1019．06DOI：10．3969~．issn．1001—4861．2013．00．121FabricationofGaNFilmbyTwoStepMethodsandTransformationofPhysicalPropertiesLIANGJian，’。LIUHai—Rui二WANGXiao-Ning。DONGHal-Liang衛(wèi)JIAWei工JIAHu-ShengX
4、UBing-She。(KeyLaboratoryofInterfaceScienceandEngineeringinAdvancedMaterials(TaiyuanUniversityofTechnology),MinistryofEducation，Tdyuan030024，China)(2CollegeofMaterialsScienceandEngineenng,TaiyuanUniversityofTechnology,Taiyuan030024,China)Abstract：TheGaOOHfilmcomposedofspindle．sh
5、apedGaOOHmicroparticleswasfirstlyfabricatedbyhydrothermalmethodonSisubstratespunwithZnOparticles，andthenammoniatedat950oCbyCVDmethodtogiveGaNfilm．Themorphologies．crystalstructureandopticalpropertiesofthesamplesbeforeandafterammoniationwerecharacterizedbyFESEM。EDS，TEMXRDandPLana
6、lyses．TheresultsshowthattheGaOOHfilmwascomposedofspindle—shapedmicrorodswithadiameterof600nmandalengthofabout1．5-2m．AmmoniationdidnotchangethemorphologiesofGaOOHfilmbutconverteditscrystalstructurefromorthorhombicphaseofGaOOHintowurtziteGaN；andthepositionofPLpeakatthegreenlightr
7、angeforGOOHfilmsshiftedtobluerangewithapeakat365nm，whichmayberelatedtothetransformationofcrystalstructure．Finally，theformationmechanismofGaOOHfilmandthechemicalreactionduringthetransformationfromGaOOHfilmtoGaNfilmwereproposed．Keywords：GaOOHfilm；GaNfilm；hydrothermalmethod；ammoni
8、ation收稿日期：2012—10—18。收修改稿日期：2012．12．25。高校長(zhǎng)江學(xué)者和創(chuàng)新團(tuán)~A(No
