微細(xì)群電極的加工及其封裝技術(shù)

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1、《電加工與模具》"%%R年第!期設(shè)計·研究微細(xì)群電極的加工及其封裝技術(shù)曾偉梁!，"，王振龍!（!#哈爾濱工業(yè)大學(xué)機電工程學(xué)院，黑龍江哈爾濱!$%%%!；"#哈爾濱師范大學(xué)信息科學(xué)系，黑龍江哈爾濱!$%%"$）摘要：介紹了微細(xì)群電極的應(yīng)用情況，分別給出了&’()方法、電火花超聲復(fù)合反拷加工法和電火花線切割加工法制作群電極的工作原理，并對這些工藝的特點進(jìn)行了歸納，給出了具有代表性的加工實例，最后介紹了微細(xì)群電極的封裝技術(shù)。關(guān)鍵詞：微細(xì)群電極；&’()；電火花加工；封裝中圖分類號：*(++!!""#$%&’$()(

2、*+$%,(-.#.%’,(/.!,,&0&)/$’1+&%2$)$)34)%&"15#&’$()6.%2)(#(30,-./0-1213./!，"，03./,4-.25./!（!#63781.’.9:;<7=5>*-?4.525/=，63781.!$%%%!，@41.3；"#63781.A57B32C.1D-7;1<=，63781.!$%%"$，@41.3）!71’,&%’：*4-9->1.1<15.5>B1?75E-2-?<759-3773=1;/1D-.，1<;?5.?7-<-3FF21?3<15.1;

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4、23<15.<-?4.525/=5>B1?75E-2-?<759-3773=1;1.<759:?-9#8.09(,/1：B1?75E-2-?<759-3773=；&’()；IJK；-.?3F;:23<15.微細(xì)群電極是指單電極直徑在!%%以下、已應(yīng)用到了臨床上。例如，深度腦刺激植入技術(shù)通!B排列規(guī)則的若干電極集合。微細(xì)群電極主要應(yīng)用在過輸入影響大腦活動的信號來減輕帕金森氏病人的生命科學(xué)和微細(xì)群孔加工兩個領(lǐng)域，特別是在生命痛苦；聽覺損傷修補術(shù)則是通過刺激外圍聽覺神經(jīng)科學(xué)領(lǐng)域中，它可以用于記錄大腦皮層神經(jīng)細(xì)胞活（

5、例如耳蝸）來恢復(fù)或部分恢復(fù)聽覺，這種技術(shù)已被準(zhǔn)許用于臨床并治療了成千上萬耳聾病人［S］，運用動，破解大腦行為指令，幫助治療腦損傷疾病，對生命科學(xué)的發(fā)展和人類健康起了巨大的推動作MK’技術(shù)刺激盲人大腦視覺皮層的神經(jīng)細(xì)胞，他的用［!"+］。相對而言，國內(nèi)在這方面的研究較少，有視覺功能可部分得以恢復(fù)?？傊甅K’技術(shù)在臨床些內(nèi)容甚至是空白，因此有必要借鑒國外最新成果，上的應(yīng)用能夠極大地提高人們的生活質(zhì)量。以推動我國微細(xì)群電極研究工作的發(fā)展。大腦皮層的活動決定人的行為意愿和感知獲取功能的觀點廣為人們接受［"］，因此恢復(fù)

6、因為肌肉退!微細(xì)群電極的應(yīng)用化、受打擊而損傷的脊髓神經(jīng)功能的MK’裝置研究是一個非常吸引人的潛在領(lǐng)域。在類人猿身體上的:#:生命科學(xué)上的運用近年來，人體醫(yī)學(xué)方面的大腦E機器界面（MK’）實驗研究表明，通過記錄一些（R"S%個）位于大腦技術(shù)研究在不斷發(fā)展［!，"］，許多和大腦有關(guān)的裝置運動皮層（K!）上神經(jīng)細(xì)胞的活動，可以預(yù)測手臂的運動意圖［P］。雖然關(guān)于不同行為意愿之所以產(chǎn)生收稿日期："%%+N%ON"P的許多問題還不被人們所了解，但是MK’在臨床上第一作者簡介：曾偉梁，男，!QRR年生，博士研究生。的應(yīng)用要

7、求成千上萬個神經(jīng)細(xì)胞同時被采樣，卻是—+—設(shè)計·研究《電加工與模具》"55:年第!期被普遍承認(rèn)的事實［!］。腦皮層記錄裝置已頻繁地用日本松下電器產(chǎn)業(yè)公司的=>1’’?+’&;@;+;*;使被用在類人猿和其他動物身上進(jìn)行神經(jīng)系統(tǒng)的科學(xué)用單電極直徑為"5的"53"5微細(xì)群電極，在松"(研究，這些裝置必須從許多記錄位置上（通常是一片下$ABCD:"E微細(xì)電火花加工機床上制作穿透的柵格區(qū)域）收集信號。需要記錄的神經(jīng)細(xì)胞數(shù)目的群孔，加工材料為F5厚的不銹鋼片，需時約F"(增加導(dǎo)致了微細(xì)群電極的發(fā)展［"!#］，微細(xì)群電極

8、可［2］。(’1，效率大約是單電極加工的"5!75倍以用預(yù)先設(shè)置的排列方式捕獲一片區(qū)域內(nèi)所有的神但是群電極打孔的放電間隙比單電極打孔要經(jīng)信號。大。單電極高速旋轉(zhuǎn)打孔時的放電間隙為"!7$%&的&’()*+,-./)0)1)00等人利用微細(xì)群"(，而群電極打孔由于不能旋轉(zhuǎn)導(dǎo)致排屑困難，其電極對老鼠大腦皮層的神經(jīng)細(xì)胞抑制和興奮的活動放電間隙在F!#之間，所以單電極直徑為"5"(情況進(jìn)行了研究，收到了很好