微細工具電極在線制備裝置開發(fā)與加工技術(shù)的-研究

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1、廣東工業(yè)大學(xué)碩士學(xué)位論文實驗,取得了預(yù)期效果,同時驗證了該裝備具有很高的精度和穩(wěn)定性。關(guān)鍵詞:微細電火花,反拷塊,線電極放電磨削,伺服控制系統(tǒng)lIAbstractMicroIfabricationhaswideapplicationinmanyareasofprecisionmolds,aerospace,precisioninStruments,bio.medicaletc.Therearemanydevelopedmicrofabricationmethods.such弱micro.EDM,microelectrochemi

2、calmachining,microultrasonicmachining,etc.whichrequiretheuseofmicro.electrodetoachievetheprocessingofthemicro.structure.Forexample,theprocessingoftheaxisoftheelectrodewithasimpleshapeoffineporousslotandtinythree.dimensionalcavity,usingthearrayoftinyelectrodesonthegro

3、upofholesandcomplexcavityprocessing.Inordertoensurethescaleandprecisionofthemicrofabrication,ithascorrespondingrequirementsontheuseofthet001electrodesize,shape,positionaccuracyandsurfacequality.Inaddition,itisalsocriticaltominimizetheadverseeffectsofthetoolelectrodep

4、ositionaccuracyofthemicro.machining,SOyouneedonline,andpreparetoavoidtheduplicationoftheelectrodeduetothesecondfixturepositioningerrorsandfixtureerrors.PrecisionmanufIact耐ngmethodstoproduceadiameterassmallasafewmicronsofthemicro.electrode,suchasturning,milling,grindi

5、ngmethod,LIGA,buttheygenerallyCannotachieveonlinepreparationtoolelectrode,whichmakesitdifficulttomatchfoiloW.upfineprocess.Whethermicro—electrodecallbeachievedonlinepreparationornothasbecomethepremiseofmanymicrofabricationmethodsandoneofthekeys-Therefore,ithasfar.rea

6、chingsignificancetoindependentlydevelopadedicatedmicro..toolelectrodepreparationdevice.FinelineelectrodepreparationmethodsincludeBEDG(blockelectrodedischargegrinding)method,WEDG(wireelectrodedischargegrinding)method,electrochemicalcorrosion,EEDG(edgeelectrodeEDMgrind

7、ingmethod)act,whichareEDMmethods·Throughthetoolelectrodepreparationtechniquesarereviewed,andthendeterminethecombinationofWEDGandBEDGastheprogram.TheDaperdiscussedthedevelopmentofmicro—toolelectrodepreparationdeviceinIII廣東工業(yè)大學(xué)碩士學(xué)位論文detail,includingturntablediameter700

8、mm,precisiondisplacementunits,granitecountertopsandcolumns,onthebasisoftheseoverallstructuraldesign,micro-electrodedesignofprocessi

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