資源描述：
《CZ150直拉單晶爐—熱場控制系統(tǒng)的研究》由會員上傳分享，免費在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在行業(yè)資料-天天文庫。
1、浙江大學(xué)碩士學(xué)位論文CZ150直拉單晶爐—熱場控制系統(tǒng)的研究姓名：劉兵申請學(xué)位級別：碩士專業(yè)：機械電子工程指導(dǎo)教師：李世倫20060501學(xué)號塑i!叁竺!!獨創(chuàng)性聲明本人聲明所呈交的學(xué)位論文是本人在導(dǎo)師指導(dǎo)下進行的研究工作及取得的研究成果。據(jù)我所知，除了文中特別加以標(biāo)注和致謝的地方外，論文中不包含其他人已經(jīng)發(fā)表或撰寫過的研究成果，也不包含為獲得澎鎏盤堂或其他教育機構(gòu)的學(xué)位或證書而使用過的材料。與我一同工作的同志對本研究所做的任何貢獻均已在論文中作了明確的說明并表示謝意。學(xué)位論文作者簽名：亂奠簽字日期：矽口莎年多月7日學(xué)位論文版權(quán)使用授權(quán)書本學(xué)位論文作
2、者完全了解逝姿盤堂有關(guān)保留、使用學(xué)位論文的規(guī)定，有權(quán)保留并向國家有關(guān)部門或機構(gòu)送交論文的復(fù)印件和磁盤，允許論文被查閱和借閱。本人授權(quán)進姿盤鱟可以將學(xué)位論文的全部或部分內(nèi)容編入有關(guān)數(shù)據(jù)庫進行檢索，可以采用影印、縮印或掃描等復(fù)制手段保存、匯編學(xué)位論文。(保密的學(xué)位論文在解密后適用本授權(quán)書)學(xué)位論文作者簽名：赳轟簽字日期：力口；年6月7日學(xué)位論文作者畢業(yè)后去向：工作單位：通訊地址：導(dǎo)師簽名：簽字日期：塒年‘月夕日電話：郵編：浙江大學(xué)碩士學(xué)位論文摘要本論文介紹了一種基于PLC的模塊化直拉單晶爐熱場溫度控制系統(tǒng)，它具有可擴展性強、靈活性好、易于維護等特點，只要
3、做很少的模塊擴展與軟件修改工作，就可以滿足各類直拉單晶爐控制系統(tǒng)的要求。本論文鑒于現(xiàn)在直拉單晶爐熱場溫度控制的現(xiàn)狀，提出了模糊變系數(shù)PID控制算法，通過現(xiàn)場試驗，實驗曲線數(shù)據(jù)分析表明：論文給出的模糊變系數(shù)PID控制算法能夠滿足設(shè)計要求，能夠達到對于直拉單晶爐熱場溫度控制的目的，控制精度在允許的控制范圍內(nèi)，誤差比較合理，使作業(yè)控制更加有效和準(zhǔn)確。論文總共分為七章：第一章介紹了論文的研究背景以及國內(nèi)外在直拉單晶爐研究現(xiàn)狀及發(fā)展，并對熱場及其控制以及CZl50直拉單晶爐進行了介紹，并由此引出了論文的研究內(nèi)容和方法。第二章主要進行的工作是研究了晶體的熱動力、
4、熱傳輸，在此基礎(chǔ)上對熱場建J，：模。第三章詳細(xì)敘述了直拉單晶爐熱場模糊變系數(shù)PID溫度控制，首先對直拉單晶爐熱場的特性進行測試研究，然后用模糊變系數(shù)PID控制算法進行控制，用經(jīng)驗知識對模糊變系數(shù)PID算法中的參數(shù)進行修正，達到理想的控制效果。第四章詳細(xì)敘述了以基于PLC的模塊化直拉單晶爐熱場溫度控制系統(tǒng)的硬件實現(xiàn)，首先提出了直拉單晶爐熱場對控制系統(tǒng)的硬件要求，然后對本系統(tǒng)的硬件設(shè)計進行了詳細(xì)說明。第五章詳細(xì)敘述了以基于PLC的模塊化直拉單晶爐熱場溫度控制系統(tǒng)的軟件實現(xiàn)，首先對軟件系統(tǒng)的整體框架進行了介紹，然后對軟件系統(tǒng)的各個程序模塊逐個分析。第六章介
5、紹了論文的現(xiàn)場試驗，給出了系統(tǒng)試驗的曲線、數(shù)據(jù)分析和最終結(jié)論。第七章總結(jié)了本論文研究的內(nèi)容，并對課題中需要進一步研究、完善的重點進行了一定的探討、分析和展望。關(guān)鍵詞：模塊化，單晶爐，PLC，熱場溫度，控制策略，模糊變系數(shù)PID。浙江大學(xué)碩士學(xué)位論文ABSTRACTAmodularization-controlsystemofSiliconCrystalFumaeebasedPLCisdiscussedindetail．Becauseofitsmodularization-structure,ithasstrongexpansibility,goodf
6、lexibilityandgoodmaintainability．withchangingafewhardwaremodularsandmodifyingsoftware，itcanmeettherequirementsofmostcontrolsystemsofSiliconCrystalGrowingFurnace．Aimingatth0actualityinthethermalfieldofthecontrolsystemofCz—SiliconCrystalFumaee．thePIDandfuzzycontrolisraisedandreal
7、ized．Thisnewlyconstructedsystemistestedbypracticalexperimentonitscontroleffectandtheresultshowsthatourdesigncanmeetthedesignguidelineandworkeffectively．Thisthesisconsistsofsevensections：Chapter1showstheresearchbackground,analyzesthepresentresearchdevelopmentonthefieldoftheCZl50
8、SiliconCrystalFurnaceandfinallygivestheresearchcontent
