單晶爐熱場結(jié)構(gòu)試卷.doc

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1、一、填空題1.的優(yōu)劣對單晶硅的質(zhì)量有很大影響。合適的熱場，能夠生長出高質(zhì)量的單晶。不好的熱場容易使單晶變成，或者根本無法引晶。2.直拉單晶爐的熱系統(tǒng)，也就是所謂的，是指為了熔化硅料，并使單晶生長保持在一定溫度下進行的整個系統(tǒng)。3.是熱場中很重要的部件，是直接的發(fā)熱體，溫度最高的時候可以達到1600℃以上。4.加熱器、電極的材質(zhì)是5.硅單晶分廠CZ1#廠房所用加熱器的形狀是。6.三瓣堝也稱，是用來盛放。7.加熱器上的連接孔，是利用來連接的。8.石墨電極的作用，一是平穩(wěn)地支撐，二是通過它對加熱器。9.CZ1#廠房的保溫罩有種，分為、和。10.、共同構(gòu)成了石墨坩堝的支撐體。11.保溫蓋由、和組成。1

2、2.熱場的安裝順序是、。13.是指單位距離內(nèi)溫度的變化率。14.為晶體的縱向溫度梯度，為晶體的徑向溫度梯度。15.為熔體的縱向溫度梯度，為熔體的徑向溫度梯度。16.為生長界面處的縱向溫度梯度，為生長界面處的徑向溫度梯度。二、單項選擇題1.加熱器是的材質(zhì)是（）A高純石墨B高純石英C陶瓷D石棉2.三瓣堝也稱（）A石英坩堝B石墨坩堝C坩堝托桿D坩堝托盤3.熱場也稱（）A溫度場B磁場C電場D電磁場4.靜態(tài)熱場中，沿著加熱器中心軸線測量，也就是縱向方向，（）A中心溫度最高B中心溫度最低C沒有最高溫度D沒有中心溫度5.靜態(tài)熱場中，沿著加熱器徑向方向，（）A中心溫度最高B中心溫度最低C沒有最高溫度D沒有中心

3、溫度6.石墨托桿和石墨托盤是用來支撐（）A石英坩堝B石墨坩堝C中保溫罩D加熱器7.石墨坩堝是用來盛放（）A石英坩堝B原料C加熱器D石墨托盤8.壓環(huán)是放在什么部件的上面（）A保溫蓋B上保溫罩C導(dǎo)流筒D加熱器9.晶體生長過程中，單晶硅的縱向溫度梯度，離生長界面越遠（）A溫度越低B溫度越高C溫度呈拋物線D溫度時高時低10.CZ1#廠房中，加熱器的形狀是（）A球形B直筒式C杯狀D螺旋狀11.用來連接加熱器和石墨電極的是（）A石墨螺栓B石英環(huán)C石墨托桿D電極護套三、多項選擇題1.熱場的安裝順序是（）A由下到上B由上到下C由內(nèi)到外D由外到內(nèi)2.保溫蓋是否下列哪些組成（）A保溫上蓋B保溫下蓋C保溫碳氈D壓環(huán)

4、3.石墨螺栓是用來連接（）A加熱器B石墨電極C石英環(huán)D托桿護套4.熱場有（）A靜態(tài)熱場B動態(tài)熱場C電場D磁場5.安裝石墨電極時，（）A必須左右對齊B處在同一水平面上C不可傾斜D可以傾斜6.石墨電極的作用，（）A用來平穩(wěn)加熱器B通過他對加熱器加熱C用來連接加熱器D用來防止漏硅7.CZ1#廠房的保溫罩分為（）A上保溫罩B中保溫罩C下保溫罩D保溫蓋8.石墨坩堝是由什么支持的?（）A石墨托桿B石墨托盤C加熱器D下保溫罩四、判斷題1.石墨坩堝即三瓣堝，一定是三瓣合體的。（）2.每次拆爐后，都要例行檢查同心度。（）3.安裝熱場時，托碗必須與坩堝軸對中（）4.安裝熱場時，加熱器必須與托碗對中（）5.安裝熱場

5、時，保溫罩不需要與加熱器對中。（）6.安裝熱場時，保溫蓋不需要與加熱器對中。（）7.熱場也稱溫度場。（）8.新的熱場只需要煅燒一次。（）9.熱場用過之后，再也不需要煅燒。（）五、簡答題1．硅單晶分廠CZ1#廠房是使用的熱場是由那些部件組成(寫出至少10個)？2.溫度梯度的定義？、、、、、分別表示？3.合理的熱場，其溫度分布應(yīng)該滿足如下條件？4.描述一下靜態(tài)熱場的溫度分布？（可畫圖演示）5.請畫出各段的結(jié)晶界面曲線，并說明各過程中的變化情況？