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《微區(qū)微納米壓印技術(shù)及設(shè)備》由會(huì)員上傳分享，免費(fèi)在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在行業(yè)資料-天天文庫。
1、萬方數(shù)據(jù)第17卷第4期2009年4月光學(xué)精密工程opticsandPrecisionEngineeringV01．17No．4Apr．2009文章編號(hào)1004—924X(2009)04一0807一06微區(qū)微納米壓印技術(shù)及設(shè)備申溯，周雷，魏國軍，陳林森(蘇州大學(xué)信息光學(xué)工程研究所，江蘇蘇州215006)摘要：為了實(shí)現(xiàn)在大幅面基底上制作微納結(jié)構(gòu)，開發(fā)了一種新型的分布微區(qū)微納米壓印技術(shù)和相應(yīng)的設(shè)備。介紹了分布微區(qū)微納米壓印的技術(shù)設(shè)想，并以提高壓印穩(wěn)定性和設(shè)計(jì)可旋轉(zhuǎn)壓印頭為目標(biāo)，設(shè)計(jì)了氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置和壓印頭結(jié)構(gòu)。然后，通過實(shí)驗(yàn)檢測(cè)了平臺(tái)運(yùn)動(dòng)精度
2、。并在碳酸聚酯材料上熱壓印了周期為400nm的光柵。最后，以背光模組用光擴(kuò)散片為應(yīng)用實(shí)例，介紹了分布微區(qū)微納米壓印技術(shù)與設(shè)備的可能應(yīng)用領(lǐng)域。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，在1m的行程范圍上，平臺(tái)位移精度可達(dá)loOnm，壓印頭旋轉(zhuǎn)角度為一90?！?0。，壓印深度可由加熱溫度和驅(qū)動(dòng)力大小控制。制作的擴(kuò)散片厚度為125“m，擴(kuò)散半徑為5mm。微區(qū)微納米壓印技術(shù)和設(shè)備特別適合大幅面光學(xué)衍射圖像和平板顯示器件的微結(jié)構(gòu)制作。關(guān)鍵詞：微納米壓?。晃⒔Y(jié)構(gòu)；熱壓??；控制中圖分類號(hào)：TN305．7文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼：ADesignofdistributedmicr伊ar昀IIl
3、icro／nan伊imprintinglitSHENSu，ZHoULei，WEIGuo．jun，CHENI。in—sen(172sfi￡“￡P(guān)o，J竹．廠0，‘優(yōu)口fiD，z(功￡ifnZE孢gi以PPri行g(shù)，SoDc^otuL切iuPr5i￡y，S“z矗D“215006，C^i打口)Abstract：Tofabricatemicro／nanostructuresonalarge—formatsubstrate，anovelmiro—areamicro／nanoimprinting1ithographicsystemwasprese
4、nted，andthedesignofthisimprintingsystemwasintro—duced．Focusedonimprovingstabilityandrealizingtherotationofanimprintingmould，thegascir—cuitandconfigurationoftheimprintingmouldwerediscussedindetail．Byuseofpolycarbonates，thegratingswithaperiodof400nmwerefabricatedandthepre
5、cisionoftheplatformwasgiven．Then，bytakingthefabricationofadiffusingfilminabacklightunitofflatpaneldisplaysasanexample，thepotentialapplIcationofadistributedmicro—areamicro／nano—imprintinglithographicmethodwaspro—posed．Theexperimentalresultsindicatethatthepositioningpreci
6、sionoftheplatfominan1mlongstrokeis1nmandtherotatinganglevariesfrom一90。to90。whentheimprintingdepthiscontrolledbyheatingtemperatureandgaspressure．Adiffusingfilmwithathicknessof125肛mwasfabricated，whosediffusingradiusis5mm．Theseresultssuggeststhattheproposedmicro—areananoim
7、p“ntinglithographicsystemshouldbeespeciallysuitableforfabricationofopticalvariablediffractionimagesanddeVicesusedinflat—paneldisplays．Keywords：nanoimprinting；microstructure；hotembossing；control收稿日期：2008一07—16；修訂日期：2008一08—12．基金項(xiàng)目：蘇州市科技計(jì)劃科技專項(xiàng)資助項(xiàng)目(No．ZXG0802)萬方數(shù)據(jù)光學(xué)精密工程第17
8、卷引言微納米壓印技術(shù)由Princeton大學(xué)S．Y．Chou教授在1995年首先提出[1]，并在近年來取得了很大的發(fā)展。相比于遠(yuǎn)(極)紫外光刻、電子／離子束光刻等微納加工手段，微納米壓印技術(shù)具有操作簡單、極限分辨率高(<
