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1、編號本科生畢業(yè)設計外差測距干涉儀分束鏡的制備PreparationofBeamSplittingPrismforRangingHeterodyneInterferometer學生姓名王妍妍專業(yè)光電信息工程學號100212611指導教師付秀華學院光電工程學院二〇一四年六月長春理工大學本科畢業(yè)設計畢業(yè)設計(論文)原創(chuàng)承諾書1．本人承諾：所呈交的畢業(yè)設計(論文)《外差測距干涉儀分束鏡的制備》，是認真學習理解學校的《長春理工大學本科畢業(yè)設計(論文)工作條例》后，在教師的指導下，保質(zhì)保量獨立地完成了任務書
2、中規(guī)定的內(nèi)容，不弄虛作假，不抄襲別人的工作內(nèi)容。2．本人在畢業(yè)設計(論文)中引用他人的觀點和研究成果，均在文中加以注釋或以參考文獻形式列出，對本文的研究工作做出重要貢獻的個人和集體均已在文中注明。3．在畢業(yè)設計(論文)中對侵犯任何方面知識產(chǎn)權(quán)的行為，由本人承擔相應的法律責任。4．本人完全了解學校關于保存、使用畢業(yè)設計(論文)的規(guī)定，即：按照學校要求提交論文和相關材料的印刷本和電子版本；同意學校保留畢業(yè)設計(論文)的復印件和電子版本，允許被查閱和借閱；學?？梢圆捎糜坝?、縮印或其他復制手段保存畢業(yè)設
3、計(論文)，可以公布其中的全部或部分內(nèi)容。以上承諾的法律結(jié)果將完全由本人承擔！作者簽名：年月日長春理工大學本科畢業(yè)設計長春理工大學本科畢業(yè)設計摘要外差干涉儀已廣泛應用于測速、測長、測角、測振等應用，外差測距是通過外差干涉儀來實現(xiàn)的。分束鏡作為外差干涉儀中的重要組成元件，利用薄膜技術(shù)來改善干涉儀的光學性能，其研制成為一個新的研究熱點[1]。本文針對干涉儀分束鏡的使用要求，借助TFCalc膜系設計軟件設計了45°入射600-700nm波段干涉測量所需分束鏡，實現(xiàn)透反比8:2分光。試驗在700箱式真空
4、鍍膜機(TXX700)上完成，利用電子束加離子輔助沉積系統(tǒng)，在K9基底上采用Ta2O5和SiO2作為高低折射率材料交替沉積。經(jīng)過反復試驗，解決了各膜層蒸鍍參數(shù)工藝差異問題，有效控制膜厚監(jiān)控精度，最終研制出附著力好、光學性能穩(wěn)定的分束鏡。關鍵字：分束鏡真空鍍膜離子輔助沉積I長春理工大學本科畢業(yè)設計AbstractHeterodyneinterferometerhasbeenwidelyusedinspeed,lengthmeasurement,anglemeasurement,vibrationm
5、easurementapplications.Heterodynerangingisimplementedthroughheterodyneinterferometer.Asanimportantelementinheterodyneinterferometer,thebeamsplitterprismusethinfilmtechnologytoimprovetheopticalpropertiesoftheinterferometer,Itsdevelopmenthasbecomeanewr
6、esearchtopic.Inthearticle,basedontheuserequirementsofinterferometerbeamsplittingprism,withthehelpofTFCalcdesignsoftware,theratiooftransmittanceandreflectanceforthisbeamsplittingprismin600~750nmband,incidentangle45°,is8:2.Weprepareditby700box-typefull
7、automaticvacuumcoatingmachine(TXX700),withtheelectronbeamandtheionassistancesystem,selectingTa2O5andSiO2ashighandlowrefractiveindexmaterialsrespectively,anddepositingonsubstrateK9.Afterrepeatedtests,solvedthedifferenceproblemoffilmdepositionprocesspa
8、rameters,controlledthicknessmonitoringprecisioneffectivelyandfinallypreparedtheidealbeamsplittingprismwhichishighadhesionandstableopticsproperties.Keywords:beamsplittingprism;vacuumcoating;ion-assisteddepositionI長春理工大學本科畢業(yè)設計長春理工大學本科畢業(yè)設計目錄摘要IAbstractI
