單晶爐工藝操作規(guī)范

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1、XX光電材料有限公司文件編號(hào)Q/WS9308-8-2008TDR-80單晶爐工藝操作規(guī)范(簡(jiǎn)要)版本號(hào)：A/0頁(yè)碼：共9頁(yè)生效日期：2008年4月21日取單晶作業(yè)　1　準(zhǔn)備　作業(yè)內(nèi)容注意事項(xiàng)1)按規(guī)定穿好服裝，戴好勞保手套　2）準(zhǔn)備好有關(guān)工具和取晶欄　2　　　　　　　　　　　　　取出單晶　　　　　　　　　1）確認(rèn)爐內(nèi)恢復(fù)常壓，打開(kāi)副室小門(mén)　2）按下副室升按鈕，升起副室爐筒*一次升到位3）把副室爐筒慢慢側(cè)移，同時(shí)把接晶盤(pán)移到*晶棒受到撞擊會(huì)造成單晶下方，穩(wěn)住晶棒，避免使其受到撞擊籽晶或細(xì)頸斷裂4）把取晶欄放在晶

2、棒正下方，移開(kāi)接晶盤(pán)*晶棒底下嚴(yán)禁站人5）按下晶快降按鈕，將晶棒降入取晶欄，　以籽晶基本不受力為準(zhǔn)　6）按住細(xì)頸，用鉗子將細(xì)頸掐斷，使籽晶上*重錘高速旋轉(zhuǎn)會(huì)造成保留足夠長(zhǎng)（盡量維持原長(zhǎng)的細(xì)頸）.捉住鋼絲繩損傷鋼絲繩使重錘慢慢旋轉(zhuǎn)，取消擰力后再放手　7）籽晶如需更換，把舊籽晶取下放入待清洗*注意重錘溫度很高籽晶盒　8）重錘升入副室爐筒，升起爐蓋移到側(cè)面　9）準(zhǔn)時(shí)送入檢測(cè)區(qū)*晶棒嚴(yán)禁磕碰單晶爐拆爐作業(yè)更多免費(fèi)資料下載請(qǐng)進(jìn)：http://www.55top.com好好學(xué)習(xí)社區(qū)1　　準(zhǔn)備　作業(yè)內(nèi)容注意事項(xiàng)1）按規(guī)定穿

3、好服裝，戴好口罩、手套　2）準(zhǔn)備好拆爐工具等　2　　　　取出石墨件1）放好不銹鋼臺(tái)車(chē)　2）戴好耐高溫手套　3）用專用工具依次取出導(dǎo)流筒、保溫大蓋　4）取出的石墨件倒置放在臺(tái)車(chē)上*避免石墨件與金屬直3　　　　取出堝底料1）放好不銹鋼桶　接接觸2）用鉗子夾住石英堝上沿部分提起，放入不*堝底料盡量保持完整銹鋼桶　3）戴好耐高溫手套，把堝底料放入不銹鋼桶4　　　　　取出石墨堝幫1）戴好耐高溫手套　2）把石墨堝一瓣瓣取出，碎渣倒入不銹鋼桶*碎渣避免掉入堝桿波紋　3）取出堝托、堝桿，取堝桿時(shí)用專用工具擰管內(nèi)掉不銹鋼螺絲　

4、4）取出的石墨件放在不銹鋼臺(tái)車(chē)上，轉(zhuǎn)移到　規(guī)定區(qū)域，使其自然冷卻　單晶爐清掃作業(yè)1　準(zhǔn)備　作業(yè)內(nèi)容注意事項(xiàng)1、準(zhǔn)備好工具和吸塵管它氧化雜質(zhì)。2、戴好口罩　更多免費(fèi)資料下載請(qǐng)進(jìn)：http://www.55top.com好好學(xué)習(xí)社區(qū)2　　　　　　　　　　　　清掃管道及過(guò)濾罐　　1）打開(kāi)抽氣管道后蓋，使管內(nèi)自然冷卻　2）慢慢打開(kāi)真空球閥給過(guò)濾罐充氣，充滿后　關(guān)閉球閥　3)擰下大罐蓋螺絲，慢慢取下蓋子，抽出過(guò)*注意被大罐蓋砸傷濾網(wǎng)，用吸管將其吸凈，并將罐內(nèi)殘留物*粉塵為SiO2及其它　吸凈,然后裝好過(guò)濾網(wǎng)氧化雜質(zhì)。4

5、）將過(guò)濾罐密封面和蓋上的密封圈擦干凈，*避免劃傷密封面將大罐蓋螺絲上好　5）此時(shí)抽氣管道內(nèi)已冷卻，用吸管吸凈管道*每爐必須清理內(nèi)附著物，用專用工具對(duì)爐底排氣管道進(jìn)　行疏通,殘?jiān)晌鼔m器吸走，確認(rèn)暢通　6）將管道后蓋密封面和密封圈擦干凈，用工　具將螺絲勻力上緊　3　　　　　　　　爐蓋清掃　　　　1）用刷子和吸塵管清掃內(nèi)壁上的附著物*要全面、仔細(xì)2）用沾酒精的纖維紙將爐蓋內(nèi)壁徹底擦一遍*重點(diǎn)是焊縫、觀察窗、3）檢查是否有打磨不凈的部位，如有再次打小副室翻板閥等部位磨并用纖維紙擦拭干凈　4）內(nèi)壁有孔部位，用酒精纖維

6、紙仔細(xì)擦內(nèi)部*檢查密封圈有無(wú)損壞5）用酒精紙整體擦拭爐蓋內(nèi)壁，確認(rèn)無(wú)污物出槽，翻板冷卻水管有更多免費(fèi)資料下載請(qǐng)進(jìn)：http://www.55top.com好好學(xué)習(xí)社區(qū)6）將管道后蓋密封面和密封圈擦干凈，無(wú)漏水現(xiàn)象7）用專用蓋子將小副室上口蓋上，蓋上翻板注意檢查預(yù)留堵頭是否閥，關(guān)閉副室小門(mén)有漏水現(xiàn)象4　　石墨件清掃1）確認(rèn)石墨件自然冷卻完畢　2）戴好口罩手套，溫度不高可用一次性手套　3)檢查石墨件有無(wú)老化、損壞，必要時(shí)更換　4）用刷子和吸塵管對(duì)石墨件進(jìn)行清掃，然后*有強(qiáng)力附著物時(shí)用研用干纖維紙擦拭干凈磨布打磨，

7、再吸凈5　　　　　　爐內(nèi)清掃　　1）確認(rèn)充分自然冷卻，可以清掃　2）準(zhǔn)備好吸塵罐和刷子　3）爐底和加熱器用刷子和吸塵管吸凈*檢查石墨件有無(wú)損壞4）保溫材料上部吸除干凈5）主爐筒與爐蓋接合部位吸除干凈*清理干凈波紋管內(nèi)雜物，6）檢查加熱器電極螺絲是否松動(dòng)防止螺絲絲口堵塞,卸不7）確認(rèn)爐底內(nèi)排氣口沒(méi)有堵塞下來(lái).每爐清理要徹底6　　　　　　石墨件安裝　　1）石墨件安裝前用吸塵器再吸除一遍　2）用專用工具擰緊不銹鋼螺絲，裝好堝桿*堝桿要擰緊，不要過(guò)緊，3）裝入堝托，與堝桿要完全接觸*堝托要放牢固、平穩(wěn)4）石墨堝依次裝

8、好，與堝托接觸良好*注意帶墊片或彈簧墊5）給定堝轉(zhuǎn)，確認(rèn)無(wú)異常*檢查坩堝與加熱器縫隙勻6）主爐筒與爐蓋外側(cè)用酒精紙擦拭一遍均勻坩堝無(wú)搖頭，擺動(dòng)或更多免費(fèi)資料下載請(qǐng)進(jìn)：http://www.55top.com好好學(xué)習(xí)社區(qū)7）打掃爐前衛(wèi)生，移走無(wú)關(guān)物品，準(zhǔn)備裝料偷停、爬行現(xiàn)象。裝料作業(yè)1　　　裝石英堝　作業(yè)內(nèi)容注意事項(xiàng)1）從指定場(chǎng)所取來(lái)爐料和石英堝*注意相鄰爐的交叉作業(yè)2）戴好口罩、帽子、手套不應(yīng)出有拆