《單晶爐操作規(guī)范》doc版

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1、熱檢冷檢1.目的為單晶生產(chǎn)作業(yè)提供指導(dǎo)，規(guī)范操作，保證產(chǎn)品質(zhì)量。2.范圍本作業(yè)指導(dǎo)書適用于拉晶崗位。3.安全要求3.1單晶車間的安全注意事項(xiàng)1.車間內(nèi)的機(jī)器設(shè)備，無操作資格者勿動(dòng)。2.未裝磁場(chǎng)的單晶爐，操作人員要注意防范掉進(jìn)爐子旁邊的縫隙里，對(duì)于已經(jīng)裝上磁場(chǎng)的，要注意不要帶手機(jī)、磁卡（如銀行卡身、份證）等靠近。也不能拿鐵器、鋼器靠近磁場(chǎng)，否則會(huì)造成人身傷害和設(shè)備損壞。3.嚴(yán)禁在車間內(nèi)打鬧，上班時(shí)要杜絕擅離職守、睡覺等。4.在副室與喉口間、爐蓋與主室之間，只要存在可能壓砸的地方，任何人嚴(yán)禁將身體的任

2、何部位置于兩者的空隙之間。5.拉晶中的爐臺(tái)，嚴(yán)禁任何人踩踏單晶爐的底盤或?qū)⑸眢w靠在單晶和電控柜上，以免造成爐子震動(dòng)或碰到電器開關(guān)。3.2進(jìn)入泵房的安全注意事項(xiàng)1.確保泵房照明，如果照明燈損壞，要及時(shí)更換。2.必須保持泵房地面干燥和清潔，定期清掃泵房，如將油到地面上時(shí)，要及時(shí)打掃干凈。3.機(jī)械泵皮帶必須安裝防護(hù)罩。4.清潔機(jī)械泵和換油時(shí)，必須在泵的電源開關(guān)上懸掛警示牌，工作完畢后取走警示牌。5洗泵時(shí)嚴(yán)禁將雜物掉入機(jī)械泵腔內(nèi)。3.3拆裝爐1.上班必須穿戴好勞保用品。裝爐時(shí)，還需戴口罩、手套等防護(hù)用品。

3、2.拆爐取晶時(shí)、注意不要被燙傷、劃傷、碰傷。3.晶體出爐后按指定地點(diǎn)擺放，并將晶體上多余的籽晶部份剪掉。4.拆拿及安裝石墨件時(shí)要戴上線手套。3.4乙醇、丙酮的使用1.工業(yè)乙醇及有丙酮害、使用時(shí)，要注意防止其濺入眼內(nèi)。2.嚴(yán)禁用內(nèi)酮擦拭密封圈！注意：乙醇和丙酮都是易燃物，應(yīng)安全使用和妥善保管。4.工藝流程5.4.1工藝流程圖壓力化/溶料抽空/檢漏裝爐拆爐轉(zhuǎn)肩放肩引晶穩(wěn)定化停爐收尾等徑4.2過程控制4.2.1.1取晶體1、停爐5小時(shí)后須先進(jìn)行手動(dòng)熱檢漏并記錄，（真空度<15mTorr）泄漏率應(yīng)<15m

4、Torr(0.55Pa/5min)。泄漏率超出范圍應(yīng)報(bào)修。手動(dòng)熱檢漏操作步驟：在觸摸屏上將電控系統(tǒng)退到手動(dòng)狀態(tài)，關(guān)閉供氣管道上的手動(dòng)球閥，將三個(gè)電磁閥全部打開，然后抽空到極限真空。停泵并保持爐子各閥門狀態(tài)不變，等待約1分鐘，然后開始觀察5分鐘內(nèi)真空的變動(dòng)情況，計(jì)算出泄漏率。最后，將爐子狀態(tài)復(fù)原。2.檢漏完畢后，分階段緩慢降低晶轉(zhuǎn)到零）持續(xù)時(shí)間約3-5分鐘）。禁止將晶轉(zhuǎn)快速或直接降到零！用蘸酒精的普通擦護(hù)紙將爐體外壁從上到下擦拭一遍。包括提拉頭、檢修平臺(tái)、副爐筒、護(hù)蓋、主爐筒。擦拭過程中要小心保護(hù)好

5、線路及精密部件，也要防止造成環(huán)境的交叉污染。3.停爐6小時(shí)后，才能充氣拆爐。穿戴好勞保護(hù)用品，準(zhǔn)備好拆爐工具。充氬氣到大氣壓后，必須查看晶體完全提升到副室后方可提升副室。4.將晶體提升到副室圓筒內(nèi)，用托晶盤防護(hù)后，將副室轉(zhuǎn)出。轉(zhuǎn)出時(shí)注意推動(dòng)的速度要緩慢均勻，以防止晶體撞到爐筒上。注意：副室升起后，由于左右可旋轉(zhuǎn)，要注意防止碰壞聶爾根。（測(cè)直徑CCD）5.在晶體下方擺放好取晶框后，撤掉托晶盤，然后降下晶體，在晶體離取晶框底部還有3-5mm距離時(shí)，停止下降，嚴(yán)禁使晶體接觸到取晶框（會(huì)導(dǎo)致上軸鋼絲繩因跳

6、槽而損壞）。剪斷細(xì)頸前，一人扶住取晶框，另一人用手抓住重錘或連桿（禁止觸碰籽晶），然后剪斷細(xì)頸后，要有控制地逐步釋放重錘，防止重錘快速旋轉(zhuǎn)和自由晃動(dòng)，否則會(huì)導(dǎo)致鋼絲繩跳槽或籽晶磕碰損傷。1.檢查鋼絲繩是否完好可用。若有變硬，毛刺或其它損壞情況，則應(yīng)請(qǐng)維修人員去除老化、損壞部分，或換新的，注意鋼絲繩在更換、維修后要及時(shí)校準(zhǔn)限位！2.在晶體上標(biāo)識(shí)晶體編號(hào)，如實(shí)完整填寫《單晶生產(chǎn)隨工單》后，將晶體放置到規(guī)定的地方。提渣蓋了要標(biāo)識(shí)好并妥善保存，待專門人員回收。4.2.1.2拆熱場(chǎng)、冷卻和打掃爐內(nèi)衛(wèi)生。SC

7、籽晶控制板CC坩堝控制板引晶目的：排除位錯(cuò)SR晶轉(zhuǎn)控制板CR堝轉(zhuǎn)控制板收尾目的：減小位錯(cuò)提高成精率SL晶升控制板CL堝升控制板晶向：110兩線111三線FB摻硼料100四線SG摻鉀料1.戴上高溫隔熱手套，將熱屏、保溫蓋取出，放置到石墨件專用小車上。將主爐筒升起旋出（垂直方向上要離開熱系統(tǒng)）。將廢石英、堝底料取出標(biāo)記后放置到規(guī)定地點(diǎn)。然后升高堝位將三瓣石墨堝、石墨堝托、隔熱體、托桿依次取出，拉到冷卻室冷卻。1.注意：（1）取出的熱屏應(yīng)倒扣在小車上、防止高溫下重金屬進(jìn)入石墨中從而造成原料的污染，（2）

8、在升爐筒時(shí)要保護(hù)好熱電錐、防止碰到爐蓋。（3）在以上的操作過程中，要注意人身安全和設(shè)備安全！8”22”2.待熱場(chǎng)溫度降下后，按附錄一《熱場(chǎng)及爐腔清掃規(guī)范》進(jìn)行石墨和爐內(nèi)衛(wèi)生的清理。嚴(yán)禁在高純車間打掃石墨件！計(jì)算鍋跟比＝晶體直徑2e固（2.33g/cm3）200C(固態(tài))鉗鍋內(nèi)徑2e液（2.5g/cm3）14200C(液態(tài))驗(yàn)算鍋跟比＝B2-B1(鍋跟位)A2-A1（晶體位）4.2.3裝爐4.2.3.1安裝熱場(chǎng)1.確認(rèn)熱場(chǎng)打掃干凈，所用石墨件及保溫氈上無揮發(fā)物及浮灰，下底盤清理干凈。