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《機(jī)械精度對中心偏測量精度的影響》由會員上傳分享，免費(fèi)在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在工程資料-天天文庫。
1、分類號密級udc編號只01中國科學(xué)院研究生院碩士學(xué)位論文機(jī)械精度對中心偏測量精度的影響謝強(qiáng)指導(dǎo)教師魏全忠研究員中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所蔣世磊研究員中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所申請學(xué)位級別碩士學(xué)科專業(yè)名稱光學(xué)工程論文提交日期2008年5月論文答辯日期2008年6月培養(yǎng)單位中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所學(xué)位授予單位中國科學(xué)院研究生院答辯委員會主席本人申明本人鄭重申明：所呈交的學(xué)位論文，是本人在導(dǎo)師的指導(dǎo)下，獨(dú)立進(jìn)行研究所取得的成果。除文中已經(jīng)注明引用的內(nèi)容外，本論文不包含任何其他個人或集體已經(jīng)發(fā)表或撰寫過的科研成果。對本文的研究做出重要貢獻(xiàn)的個人和集體，均已在文中以明確方式標(biāo)明。本人完全意
2、識到本聲明的法律責(zé)任由本人承擔(dān)。論文作者簽名：日期：關(guān)于學(xué)位論文使用授權(quán)的聲明本人完全了解中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所有關(guān)保留、使用學(xué)位論文的規(guī)定，同意中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所保留或向國家有關(guān)部門或構(gòu)送交論文的復(fù)印件和電子版，允許論文被查閱和借閱；本人授權(quán)中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所可以將本學(xué)位論文的全部或部分內(nèi)容編入有關(guān)數(shù)據(jù)庫進(jìn)行檢索，可以采用影印、縮印或其他復(fù)制手段保存論文和匯編本學(xué)位論文。（保密論文在解密后應(yīng)遵守此規(guī)定）論文作者簽名:導(dǎo)師簽名:日期:摘要本論文以CM高精度中心偏測量儀的結(jié)構(gòu)分析為切入點(diǎn)，探討了機(jī)械精度對中心偏測量精度的影響問題。首先介紹了中心偏的測量原理，以及利
3、用這一原理而在實(shí)踐測量中通常運(yùn)用的兩種中心偏測量方法，并對兩種方法的特點(diǎn)、使用范圍、優(yōu)劣進(jìn)行了對比分析。其次對影響測量系統(tǒng)測量精度的誤差因素分別進(jìn)行了分析，明確了該測量系統(tǒng)提高測量精度的主要途徑和方法。介紹了目前高精度中心偏測量儀所采用的工作原理，對影響中心偏測量精度的儀器關(guān)鍵結(jié)構(gòu)，特別是中心偏測量儀的軸系結(jié)構(gòu)，從機(jī)械軸結(jié)構(gòu)和氣浮軸承結(jié)構(gòu)兩方面入手，分析了影響軸系精度的相關(guān)要素。介紹了以標(biāo)準(zhǔn)球?yàn)榕阋r，“翻轉(zhuǎn)”測量高精度軸系回轉(zhuǎn)精度的檢測方法，并利用此方法對CM高精度中心偏測量儀的軸系精度進(jìn)行了測量。重點(diǎn)分析和研究了軸系冋轉(zhuǎn)精度對中心偏測量精度的影響，設(shè)計(jì)了科學(xué)的實(shí)驗(yàn)方法，通過
4、實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)處理與分析，發(fā)現(xiàn)靜止測量時，氣浮軸系晃動對測量精度造成的影響極大，尤其是系統(tǒng)偏心數(shù)值較小時，軸系晃動對測量精度的影響更大，提出了氣浮主軸高的回轉(zhuǎn)精度是消除了高頻誤差分量的誤差均化的綜合表現(xiàn)，這種誤差均化的效果在靜止?fàn)顟B(tài)下表現(xiàn)并不明顯，利用現(xiàn)在的靜止對徑測量方法，在冋轉(zhuǎn)精度極高的中心偏測量儀上不一定能取得高的中心偏測量精度，并提出了采用CCD動態(tài)測量讀數(shù)的方法來提高中心偏測量精度的觀點(diǎn)。關(guān)鍵詞：高精度中心偏測量儀中心偏測量精度機(jī)械軸氣浮軸承作者簽名：ABSTRACTXieqiang(OpticalEngineering)DirectedbyProf.Weiquanzho
5、ng&JiangshileiBeginningwithstructureanalysisofCMhighaccuracycentre-deviationmeasurementsystem,theeffectofmechanicalaccuracyisdiscussedoncentre-deviationmeasurementaccuracy.Firstly,thecentre-deviationmeasuringprincipleisintroduced,twocentre-deviationmeasurementmethodsbasedontheprincipleandus
6、edinpractice,andmakingcomparisonandanalysisingofthecharacteristics,applications,advantagesanddisadvantagesofthetwomethods.Secondly,errorfactorsareanalyzedtoaffectmeasurementaccuracytodefinethemainmethodstoimprovethemeasurementaccuracyofthesystem.Also,presentingandanalyzingtheoperationprinci
7、pleofhigh-precisiontheCentre-deviationmeasuringsystemtodayandthemainstructure,especiallyshaftingstructure,relativefactorsthataffecttheaxessystemmeasurementaccuracyarediscussedfromthemechanicalaxesstructureandairbearingaxisstructure.A“turn”testingmethodis
