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1、sunyesTFTLCD簡(jiǎn)介與生產(chǎn)工藝流程2021/7/241TFT-LCDProcess2021/7/242sunyesTFTLCD簡(jiǎn)介與生產(chǎn)工藝流程TFT-LCDStructure&PrincipiumTFT—ThinFilmTransistor薄膜電晶體LCD—LiquidCrystalDisplay液晶顯示器由于TFT-LCD具有體積小，重量輕，低輻射，低耗電量，全彩化等優(yōu)點(diǎn)，因此在各類顯示器材上得到了廣泛的應(yīng)用。2021/7/243sunyesTFTLCD簡(jiǎn)介與生產(chǎn)工藝流程TFT-LCD各結(jié)構(gòu)的功能背光板
2、模組:提供光的來(lái)源.上下偏光板，TFTGlassSubstrate，液晶：形成偏振光，控制光線的通過(guò)與否。彩色濾光片：提供TFTLCD紅，綠，藍(lán)(光的三原色)的來(lái)源。ITO透明導(dǎo)電層：提供透明的導(dǎo)電通路。PhotoSpacer：提供一固定高度給彩色濾光片和TFTGlassSubstrate。作為灌入液晶時(shí)的空間.及作為上下兩層Glass的支撐。2021/7/244sunyesTFTLCD簡(jiǎn)介與生產(chǎn)工藝流程TFT-LCD顯示原理液晶簡(jiǎn)介光與液晶分子產(chǎn)生的效果偏光板的特性將偏光板、槽狀表面、液晶組合后產(chǎn)生的光學(xué)效果TF
3、T-LCD顯像原理2021/7/245sunyesTFTLCD簡(jiǎn)介與生產(chǎn)工藝流程TFT-LCD使用的液晶為TN（TwistNematic）型液晶，液晶分子呈橢圓狀。TN型液晶一般是順著長(zhǎng)軸方向串接，長(zhǎng)軸間彼此平行方式排列。當(dāng)接觸到槽裝表面時(shí)，液晶分子就會(huì)順著槽的方向排列于槽中。液晶簡(jiǎn)介2021/7/246sunyesTFTLCD簡(jiǎn)介與生產(chǎn)工藝流程光與液晶分子產(chǎn)生的效果當(dāng)線性偏極光射入上層槽狀表面時(shí)，此光線隨著液晶分子的旋轉(zhuǎn)也產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)。當(dāng)線性偏極光射出下層槽狀表面時(shí)，此光線已經(jīng)產(chǎn)生了90度的旋轉(zhuǎn)。2021/7/247
4、sunyesTFTLCD簡(jiǎn)介與生產(chǎn)工藝流程偏光板的特性作用：將非偏極光（一般光線）過(guò)濾成偏極光。當(dāng)非偏極光通過(guò)a方向的偏光片時(shí)，光線被過(guò)濾成與a方向平行的線性偏極光。右上圖：線性偏極光繼續(xù)前進(jìn)，通過(guò)第二片偏光片時(shí)，光線通過(guò)。右下圖：通過(guò)第二片時(shí)，光線被完全阻擋。2021/7/248sunyesTFTLCD簡(jiǎn)介與生產(chǎn)工藝流程將偏光板、槽狀表面、液晶組合后產(chǎn)生的光學(xué)效果（1）當(dāng)上下偏光片相互垂直時(shí)，若未施加電壓，光線可通過(guò)。2021/7/249sunyesTFTLCD簡(jiǎn)介與生產(chǎn)工藝流程當(dāng)施加電壓時(shí)，光線被完全阻擋。將偏
5、光板、槽狀表面、液晶組合后產(chǎn)生的光學(xué)效果（2）TFTLCD簡(jiǎn)介與生產(chǎn)工藝流程TFT-LCD顯像原理（1）sunyesTFT-LCD顯像原理（2）sunyesTFTLCD簡(jiǎn)介與生產(chǎn)工藝流程2021/7/2412sunyesTFTLCD簡(jiǎn)介與生產(chǎn)工藝流程ColorFilterFabricationProcessTFTArrayProcessLiquidCrystalCellProcessModuleAssemblyProcessTFT-LCDProcess2021/7/2413C/FProcesssunyesTFTLC
6、D簡(jiǎn)介與生產(chǎn)工藝流程2021/7/2414sunyesTFTLCD簡(jiǎn)介與生產(chǎn)工藝流程ITO透明導(dǎo)電層的作用sunyesTFTLCD簡(jiǎn)介與生產(chǎn)工藝流程2021/7/2416sunyesTFTLCD簡(jiǎn)介與生產(chǎn)工藝流程因TFT組件的動(dòng)作類似一個(gè)開關(guān)(Switch)，液晶組件的作用類似一個(gè)電容，藉Switch的ON/OFF對(duì)電容儲(chǔ)存的電壓值進(jìn)行更新/保持。SWON時(shí)信號(hào)寫入(加入、記錄)在液晶電容上，在以外時(shí)間SWOFF，可防止信號(hào)從液晶電容泄漏。在必要時(shí)可將保持電容與液晶電容并聯(lián)，以改善其保持特性。TFTArray等效電
7、路2021/7/2417sunyesTFTLCD簡(jiǎn)介與生產(chǎn)工藝流程這是5次光刻形成TFT圖形，采用底柵背溝道刻蝕的工藝。以玻璃為基板。第一次光刻形成柵線原料為Cr。第二次光刻形成“硅島”——SiNx，a-Si，n+-a-Si層，第三次光刻形成ITO導(dǎo)電膜，第四次光刻形成源極漏極，材料為Cr，并進(jìn)行n+切斷，基本形成TFT。最后第五次光刻形成SiNx保護(hù)膜。TFT-ArrayProcessDataBusLineandS/DMetalSputteringDataBusLineandS/DPatterningUsing4
8、thMASKEtch-Backofn+a-SiUsingS/DLayerasaMASKPassivationSiNxDepositionUsingPECVDPassivationSiNxAtchUsingRIE2021/7/2418sunyesTFTLCD簡(jiǎn)介與生產(chǎn)工藝流程CellProcess(1)2021/7/2419sunyesTFTLCD簡(jiǎn)介與生產(chǎn)工
